光刻機是半導(dǎo)體行業(yè)的核心，沒它芯片就沒法精細刻畫。全球市場基本被荷蘭的ASML一家把持，他們從1984年起步，靠著精密光學(xué)和曝光技術(shù)，占據(jù)了九成份額。高端EUV光刻機更是他們的獨門絕活，能處理7納米以下的制程，價格一臺頂?shù)蒙蠋准茱w機。

其他國家想買，還得看出口管制，尤其是中國，從2019年起美國就開始施壓，禁止ASML賣最先進的EUV給中國企業(yè)。到了2025年，連相對落后的DUV光刻機出口也層層設(shè)卡，荷蘭政府部分撤銷許可證，影響中芯國際這樣的廠家采購。

中國半導(dǎo)體起步不算早，上世紀五十年代才開始摸索，1956年國家科技規(guī)劃就把這塊列為重點。1958年拉出第一根硅單晶，1960年搞出首批鍺晶體管，這些基礎(chǔ)活兒為后來電子產(chǎn)業(yè)鋪路。七十年代產(chǎn)量低，良率不高，八十年代引進外資建廠，但核心設(shè)備一直靠進口。

九十年代市場份額小，技術(shù)落后國際十年。進入2000年后，政策扶持加大，企業(yè)投資建廠，產(chǎn)業(yè)鏈慢慢成型。2010年需求旺盛，但ASML優(yōu)先供其他客戶，中國只能買中端貨。2020年管制升級，外匯流出嚴重，每年上百億美金花在采購上。

國產(chǎn)光刻機路子走得曲折，上海微電子的設(shè)備能到90納米量產(chǎn)，28納米還在研發(fā)階段。2023年推出28納米機型，2025年優(yōu)化后良率超八成，但跟ASML的5納米比還有差距。國產(chǎn)化率低，僅12%，90%靠進口。

產(chǎn)業(yè)鏈上游材料如光刻膠和光學(xué)玻璃，國內(nèi)企業(yè)像恒坤新材募資15億擴產(chǎn)，KrF光刻膠覆蓋7納米，2025年底產(chǎn)能500噸。中下游封裝測試有進展，但整體依賴外供。光刻膠市場2024年80億規(guī)模，2026年預(yù)計152億，政策大基金三期投288億支持材料領(lǐng)域。

美國目的明顯，想遏制中國半導(dǎo)體崛起，2024年新增實體清單，2025年DUV管制擴展到NXT:1970i和1980i型號。中國企業(yè)囤積設(shè)備，2023年ASML向中國交付大量DUV，合規(guī)窗口期內(nèi)搶貨。

分析師擔(dān)心這些機器用于軍事技術(shù)，但中國強調(diào)自主研發(fā)，南京機構(gòu)專注光刻研究。德國提供部分合作，提升光學(xué)能力，但整體環(huán)境惡化，產(chǎn)業(yè)鏈脆弱。光刻機不光是機器，還牽扯光學(xué)薄膜、電子化學(xué)品，整個生態(tài)龐大，中國從這些入手補短板。

中國承認短期造不出頂尖光刻機，尤其是EUV那種復(fù)雜的，但不死磕單臺設(shè)備，轉(zhuǎn)而建完整光刻工廠。這思路一出，2023年9月曝光，就讓ASML高層緊急開會。不是復(fù)制機器，而是用同步輻射裝置（SSMB）當(dāng)中央光源，建一公里長加速器，管多條生產(chǎn)線。

簡單說，像建印刷廠，不賣打印機，純基建模式。清華團隊牽頭，2025年第三季度進入試產(chǎn)，用粒子加速器產(chǎn)生EUV光，繞開ASML壟斷的光源技術(shù)。

工廠方案核心是產(chǎn)業(yè)鏈整合，上游光源統(tǒng)一供應(yīng)，下游多線并行曝光。光源系統(tǒng)決定性能，縮小波長提升分辨率，光學(xué)元件精密加工。材料環(huán)節(jié)，光刻膠涂布均勻，影響圖案清晰。設(shè)備包括雙工件臺，移動硅片穩(wěn)定。

中國工廠補齊薄弱點，上游采購電子特氣，下游芯片切割。2025年上海公司推出28納米機，工廠試產(chǎn)3納米，采用激光誘導(dǎo)放電，顛覆舊方案。

ASML看到這計劃，市場份額波動，2025年上半年中國營收占比超25%，但先進設(shè)備受限。中國不擔(dān)心盈利，定制生產(chǎn)，外匯少流出。巨頭原本得意，以為管制能卡住中國，但工廠模式威脅長遠壟斷。

2025年ASML全年營收增長15%，毛利率52%，內(nèi)部討論中國動態(tài)。股價起伏，高管承認中國芯片落后西方15年，但自主路徑多線突圍，如納米壓印和電子束光刻。浙江團隊首臺商用電子束機，線寬8納米。

信件內(nèi)容曝光，用食物比喻：主機像底，零件像料，光源像熱。每道工序一層一層加，精確控制。工廠目標掌握全流程，從材料到檢驗。ASML不擔(dān)心短期，但長遠市場獨占鰲頭難保。中國從德國獲樣品，加速進程。2025年8月，出貨里程碑，推動產(chǎn)業(yè)。巨頭調(diào)整策略，增加研發(fā)支出，推出新款，但慌張情緒明顯。

中國半導(dǎo)體投資持續(xù)，2025年光刻膠國產(chǎn)化循環(huán)形成，政策技術(shù)需求正向。光谷百億項目沖刺投運，填補通信激光材料空白。產(chǎn)業(yè)鏈全景，上游材料供應(yīng)，下游功率器件應(yīng)用。A股江蘇企業(yè)最多，投資布局增加。全球格局演變，中國突破90納米量產(chǎn)，28納米測試。自給率提升，巨頭加強合作限制。

其他路線如杭州納米壓印設(shè)備，精度高。電子束并行，2025年進展顯著。市場準入受限，但國產(chǎn)替代推進。產(chǎn)業(yè)鏈投資升溫，重點拆解分析。巨頭減輕關(guān)稅影響，公布訂單。中國夢圓，工廠輸出產(chǎn)品。挑戰(zhàn)空前，但薄弱漸強，獨立化可期。

全球封鎖背景下，機遇并存。光刻材料受益面板轉(zhuǎn)移，銷售增長。掩膜版精密組件替代廣闊，公司研發(fā)試產(chǎn)。政策支持保障發(fā)展。挑戰(zhàn)如技術(shù)差距大，市場依賴進口，任重道遠。但繁榮在即，2025市場規(guī)模億元級。預(yù)測2032全球更大。中國份額升，EUV機器試生產(chǎn)，更簡單架構(gòu)。

產(chǎn)業(yè)鏈聯(lián)動發(fā)力，不光主梁，配件跟上。設(shè)備上海微電子600系列，中芯批量。光刻工廠落地，先進芯片生產(chǎn)變“建電站”。ASML模式日子或終結(jié)。2025系列動作，半導(dǎo)體史上協(xié)同攻堅。華為基地等，催生突破。