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阿斯麥CEO:讓中國(guó)繼續(xù)落后,銷往中國(guó)光刻機(jī)落后尖端技術(shù)10年!

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這話不是私下放的狠話,是阿斯麥CEO富凱接受荷蘭媒體采訪時(shí)明說(shuō)的,2024年底說(shuō)出來(lái),滿是居高臨下的味道。誰(shuí)能想到才過(guò)去一年多,這場(chǎng)圍繞光刻機(jī)的博弈就直接升級(jí),連我們手里已有的設(shè)備,都快沒(méi)活路了。



阿斯麥從一開始就沒(méi)給過(guò)我們EUV光刻機(jī),瓦森納協(xié)定框架下卡得很早也很死,當(dāng)年中芯國(guó)際傳出來(lái)的訂單,到現(xiàn)在都沒(méi)見著影。這么多年持續(xù)賣給我們的都是先進(jìn)DUV設(shè)備,我們靠著多種曝光技術(shù),硬生生在7納米制程闖出來(lái)了一條路。只是這條路成本太高良率上不去,本來(lái)就不是長(zhǎng)久之計(jì),這點(diǎn)阿斯麥自己門兒清。

阿斯麥說(shuō)我們會(huì)落后十到十五年,也不是憑空口嗨。他們拉著合作伙伴,花了二十多年才從基礎(chǔ)研究走到成熟的EUV商用設(shè)備,累計(jì)研發(fā)投入超過(guò)100億歐元。從德國(guó)蔡司的超精密光學(xué),到美國(guó)的高功率激光光源,再到自己的系統(tǒng)集成能力,這套技術(shù)護(hù)城河不是砸錢就能直接抄作業(yè)的。

到2026年4月,局勢(shì)徹底變了,封鎖的范圍直接從EUV,擴(kuò)展到了全系列浸沒(méi)式DUV光刻機(jī)。美國(guó)兩黨議員提了新法案,核心就是不光不賣新設(shè)備給我們,連已經(jīng)賣給我們的舊設(shè)備,都禁止全球企業(yè)提供安裝維修、換零件、軟件升級(jí)這些服務(wù)。相當(dāng)于你花大價(jià)錢買了頂級(jí)豪車,壞了之后廠家不給修也不供零件,只能放著慢慢銹成廢鐵,這招釜底抽薪真的夠陰。



法案還直接點(diǎn)名了中芯國(guó)際、華為海思等五家中國(guó)半導(dǎo)體龍頭,要求全面封鎖,還逼著荷蘭日本韓國(guó)在150天內(nèi)對(duì)齊美國(guó)的管制標(biāo)準(zhǔn),不然就啟動(dòng)長(zhǎng)臂管轄制裁。這根本不是商量,是硬按著盟友的頭表態(tài)。之后眾議院外交事務(wù)委員會(huì)投票,兩黨壓倒性通過(guò),看得出來(lái)在對(duì)華封鎖這件事上,美國(guó)兩黨出奇的一致。

有意思的是特朗普當(dāng)時(shí)計(jì)劃五月中旬訪華,國(guó)會(huì)趕在這個(gè)節(jié)點(diǎn)推法案,明擺著就是綁住總統(tǒng)的手腳,怕有人對(duì)我們松口。這份封鎖的政治意志,比很多人想象的要堅(jiān)硬得多??窗⑺果湹呢?cái)報(bào)就能感受到?jīng)_擊,2025年中國(guó)市場(chǎng)占了阿斯麥總銷售額的33%,是全球最大單一市場(chǎng),2026年一季度中國(guó)占比已經(jīng)掉到了19%,下滑速度比預(yù)期快太多。



阿斯麥現(xiàn)在自己也挺擰巴,一邊要跟著美國(guó)的政策走,一邊又滿是顧慮。他們自己也清楚,出口管制搞太狠,反而會(huì)逼我們加速搞自主替代。本來(lái)他們更愿意繼續(xù)賺設(shè)備維護(hù)的服務(wù)費(fèi),攥著自己的技術(shù)不泄露,真把這塊業(yè)務(wù)讓出來(lái),我們自己搞維護(hù)搞逆向,才是他們最擔(dān)心的事。

為了平衡利益,阿斯麥都計(jì)劃在2026年第四季度,推出一款專為中國(guó)市場(chǎng)定制的新型浸沒(méi)式DUV,是老型號(hào)降規(guī)來(lái)的,既符合美國(guó)的出口管制,又能滿足我們存儲(chǔ)廠商的需求。一邊是美國(guó)要把對(duì)華技術(shù)大門焊死,一邊是阿斯麥想方設(shè)法從門縫遞貨,商業(yè)利益和政治意志的撕扯,在這家公司身上體現(xiàn)得明明白白。



我們這邊也沒(méi)停著,自主研發(fā)的進(jìn)度比很多人想的要快。2025年底路透社就報(bào)道,我們的科研團(tuán)隊(duì)在深圳一間保密實(shí)驗(yàn)室,組裝出了首臺(tái)EUV光刻機(jī)原型,已經(jīng)成功產(chǎn)生了極紫外光。雖然這臺(tái)原型機(jī)還做不出能用的芯片,距離量產(chǎn)也遠(yuǎn),但能走到這一步,本身就是對(duì)十年落后論的正面回應(yīng)。

我們自己也拎得清,現(xiàn)在原型機(jī)在高精度光學(xué)系統(tǒng)上還有短板,還沒(méi)法把極紫外光精準(zhǔn)投射到晶圓上。而且EUV有十萬(wàn)多個(gè)零部件,涉及全球五千多家供應(yīng)商協(xié)同,從“能亮”到“能用”,中間還有無(wú)數(shù)子實(shí)打?qū)嵉臄?shù)據(jù)也能說(shuō)明問(wèn)題,2026年前兩個(gè)月,中國(guó)集成電路出口總額高達(dá)433億美元,同比暴漲72.6%。我們的成熟制程芯片不僅沒(méi)被封鎖打垮,反而在全球供應(yīng)鏈里扎得越來(lái)越深,現(xiàn)在已經(jīng)成了全球工業(yè)體系里離不開的一環(huán)。



系統(tǒng)的工程難題要啃。我們的規(guī)劃是十五五期間實(shí)現(xiàn)7納米全國(guó)產(chǎn)化生產(chǎn)線試運(yùn)行,難肯定是真難,但方向從來(lái)沒(méi)偏,命上海微電子的國(guó)產(chǎn)DUV已經(jīng)在28納米制程穩(wěn)定量產(chǎn),現(xiàn)在還在往14納米甚至7納米工藝推進(jìn)驗(yàn)證。這條路看起來(lái)沒(méi)EUV那么光鮮亮眼,卻是整個(gè)中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)的底盤。先穩(wěn)住底盤再往上攻關(guān),這是被逼出來(lái)的務(wù)實(shí)路子,現(xiàn)在已經(jīng)慢慢出效果了。

運(yùn)不能交在別人手里。現(xiàn)在西方的封鎖已經(jīng)進(jìn)入新階段,從限制我們買新設(shè)備,變成慢慢消耗我們現(xiàn)有的產(chǎn)能。美方賭的就是,我們還沒(méi)搞出全面自主替代,現(xiàn)有設(shè)備就已經(jīng)壞得差不多,產(chǎn)能慢慢掉下來(lái),技術(shù)差距自然越拉越大。我們賭的是另一條時(shí)間線,在現(xiàn)有產(chǎn)能衰減之前,把自主替代方案推到能用的狀態(tài),說(shuō)白了就是和時(shí)間賽跑。



阿斯麥說(shuō)我們落后十到十五年,單從技術(shù)層面看,確實(shí)有一定道理。他們已經(jīng)啟動(dòng)了下一代EUV的研究,等我們追上現(xiàn)在的EUV水平,人家說(shuō)不定已經(jīng)跑到更遠(yuǎn)的地方了。這個(gè)差距不用回避,我們得認(rèn)。但芯片競(jìng)爭(zhēng)從來(lái)不是只拼光刻機(jī)這一項(xiàng),成熟制程規(guī)?;?、應(yīng)用生態(tài)豐富度、算法優(yōu)化補(bǔ)工藝短板,哪一個(gè)都是改變競(jìng)爭(zhēng)格局的變量。

封鎖越狠,反噬就越大。當(dāng)初DUV剛限制的時(shí)候,反而引發(fā)了中國(guó)客戶的搶購(gòu)潮,阿斯麥在中國(guó)的銷售額還漲了一波?,F(xiàn)在禁令升級(jí)到維修服務(wù),只會(huì)讓我們往自主設(shè)備、自主維護(hù)砸更多的錢。每次封鎖加碼,都是給中國(guó)半導(dǎo)體自主化按下加速鍵,這個(gè)結(jié)果是華盛頓不想承認(rèn),卻又躲不開的。



這句話放到當(dāng)下是事實(shí)描述,放到更長(zhǎng)的時(shí)間里看,更像是一個(gè)甩到我們面前的挑戰(zhàn),我們不得不接。這場(chǎng)圍繞光刻機(jī)的博弈還遠(yuǎn)沒(méi)到終局,誰(shuí)能沉住氣等到對(duì)方先出錯(cuò),誰(shuí)就能握住主動(dòng)權(quán)。

參考資料:環(huán)球時(shí)報(bào) 美升級(jí)對(duì)華半導(dǎo)體設(shè)備出口管制

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