中微半導(dǎo)體設(shè)備以逾三成的營(yíng)收增速和超過(guò)半百億元的研發(fā)投入，強(qiáng)化了其在國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)地位。

27日，中微半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)布2025年度業(yè)績(jī)快報(bào)：

• 全年?duì)I業(yè)收入約123.85億元，同比增長(zhǎng)約36.62%；
• 歸屬于母公司所有者的凈利潤(rùn)約21.11億元，同比增加約30.69%。
• 公司同期大幅加碼研發(fā)，全年研發(fā)投入約37.44億元，同比增長(zhǎng)約52.65%，占營(yíng)業(yè)收入比例達(dá)30.23%。

業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)由核心刻蝕設(shè)備的規(guī)模擴(kuò)張與新品類(lèi)的快速放量共同驅(qū)動(dòng)。其中，LPCVD和ALD薄膜設(shè)備銷(xiāo)售額約5.06億元，同比增長(zhǎng)約224.23%，增速遠(yuǎn)超刻蝕主業(yè)。公司同時(shí)披露，ICP刻蝕設(shè)備的加工精度和重復(fù)性已達(dá)到單原子水平，標(biāo)志著技術(shù)突破進(jìn)入新階段。

刻蝕設(shè)備保持主引擎地位，薄膜設(shè)備高速起量

刻蝕設(shè)備依然是中微公司的核心收入來(lái)源。2025年刻蝕設(shè)備銷(xiāo)售約98.32億元，同比增長(zhǎng)約35.12%，占全年?duì)I收的比重約為79%。

公司披露，針對(duì)先進(jìn)邏輯器件中段關(guān)鍵刻蝕工藝以及先進(jìn)存儲(chǔ)器件超高深寬比刻蝕工藝，均實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定可靠的大規(guī)模量產(chǎn)。至2025年底，公司累計(jì)已有超過(guò)7,800個(gè)反應(yīng)臺(tái)在國(guó)內(nèi)外170余條客戶芯片及LED生產(chǎn)線全面量產(chǎn)，刻蝕設(shè)備反應(yīng)臺(tái)全球累計(jì)出貨超過(guò)6,800臺(tái)。

薄膜設(shè)備的高速增長(zhǎng)是本期業(yè)績(jī)的另一亮點(diǎn)。LPCVD和ALD設(shè)備銷(xiāo)售額同比增長(zhǎng)約224.23%，公司CDP產(chǎn)品部門(mén)為先進(jìn)存儲(chǔ)器件和邏輯器件開(kāi)發(fā)的十多款導(dǎo)體和介質(zhì)薄膜設(shè)備已順利進(jìn)入市場(chǎng)，LPCVD設(shè)備累計(jì)出貨量突破三百個(gè)反應(yīng)臺(tái)，并且設(shè)備性能據(jù)公司稱已完全達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。

研發(fā)投入高強(qiáng)度擴(kuò)張，利潤(rùn)增速因此受壓

在營(yíng)收高增長(zhǎng)的同時(shí)，公司主動(dòng)選擇以犧牲短期利潤(rùn)換取技術(shù)積累。2025年研發(fā)費(fèi)用達(dá)24.75億元，同比增長(zhǎng)約74.61%；研發(fā)總投入約37.44億元，同比增長(zhǎng)約52.65%，占營(yíng)收比例約30.23%，公司稱遠(yuǎn)高于科創(chuàng)板均值。

公司在公告中將研發(fā)投入大幅增加列為凈利潤(rùn)增速低于營(yíng)收增速的主要原因之一。盡管營(yíng)收增長(zhǎng)帶來(lái)毛利增量約11.28億元，但研發(fā)費(fèi)用同期增長(zhǎng)約10.58億元，幾乎將毛利增量抵消殆盡，從而壓低了經(jīng)營(yíng)利潤(rùn)的彈性。

新品梯隊(duì)持續(xù)擴(kuò)充，EPI和MOCVD進(jìn)入驗(yàn)證節(jié)點(diǎn)

公司在刻蝕和薄膜設(shè)備之外，正積極布局外延設(shè)備和化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域。EPI設(shè)備方面，減壓外延設(shè)備已付運(yùn)至成熟制程及先進(jìn)制程客戶進(jìn)行量產(chǎn)驗(yàn)證，部分先進(jìn)工藝已進(jìn)入量產(chǎn)驗(yàn)證階段；常壓外延設(shè)備現(xiàn)已完成開(kāi)發(fā)，進(jìn)入工藝驗(yàn)證階段。新一代高選擇比預(yù)清潔腔體也已在客戶端進(jìn)行量產(chǎn)驗(yàn)證。

MOCVD設(shè)備方面，公司稱持續(xù)保持國(guó)際氮化鎵基MOCVD設(shè)備市場(chǎng)領(lǐng)先地位，新型八寸碳化硅外延設(shè)備及新型紅黃光LED應(yīng)用設(shè)備已付運(yùn)至國(guó)內(nèi)領(lǐng)先客戶開(kāi)展驗(yàn)證，多款Micro-LED及顯示領(lǐng)域?qū)Ｓ肕OCVD新產(chǎn)品亦進(jìn)入客戶端驗(yàn)證階段。

支撐上述規(guī)模擴(kuò)張的基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)亦已到位。公司在南昌約14萬(wàn)平方米以及上海臨港約18萬(wàn)平方米的生產(chǎn)和研發(fā)基地均已投入使用。公司表示持續(xù)開(kāi)發(fā)關(guān)鍵零部件供應(yīng)商，推動(dòng)供應(yīng)鏈穩(wěn)定安全，設(shè)備交付率保持在較高水準(zhǔn)。

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