上海
截至2026年2月26日 13:31，上證科創(chuàng)板半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)(950125)強勢上漲2.27%，成分股歐萊新材上漲19.70%，京儀裝備上漲8.32%，神工股份上漲5.85%，芯源微，拓荊科技等個股跟漲。科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF(588170)上漲2.13%， 沖擊5連漲。
流動性方面，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF盤中換手12.49%，成交10.57億元，市場交投活躍。拉長時間看，截至2月25日，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF近1周日均成交9.75億元。
跟蹤精度方面，截至2026年2月25日，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF近1月跟蹤誤差為0.007%，在可比基金中跟蹤精度最高。
相關(guān)ETF：科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF（588170）及其聯(lián)接基金（A類：024417；C類：024418）：跟蹤指數(shù)是科創(chuàng)板唯一的半導(dǎo)體設(shè)備主題指數(shù)，其中先進(jìn)封裝含量在全市場中最高（約50%），聚焦于科技創(chuàng)新前沿的硬核設(shè)備公司。
半導(dǎo)體設(shè)備ETF華夏（562590）及其聯(lián)接基金（A類：020356；C類：020357），跟蹤中證半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)，其中半導(dǎo)體設(shè)備的含量在全市場指數(shù)中最高（約63%），直接受益于全球芯片漲價潮對“賣鏟人”（設(shè)備商）的確定性需求。
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