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深度 | 一天吃透【HBM】產(chǎn)業(yè)鏈,存儲芯片的核心(附核心布局公司)

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01 產(chǎn)業(yè)鏈全景圖


02 HBM介紹

存儲芯片是半導(dǎo)體打造的電子記憶倉庫,核心作用就是存放數(shù)據(jù)和程序。半導(dǎo)體存儲市場的賽道上,DRAM 和 NAND Flash 是當之無愧的雙巨頭。前者占據(jù)約 55.9% 的市場份額,后者拿下大概 44.0% 的份額,兩者聯(lián)手,幾乎壟斷了整個存儲市場。

DRAM 是存儲界的一個大家族,HBM 只是這個家族里 GDDR 分支下的一員。整個家族主要分成四大類:傳統(tǒng)型 DRAM(Legacy/SDR)、DDR、LPDDR 和 GDDR。其中 DDR 和 LPDDR 是家族里的頂梁柱,兩者合計占據(jù)了 90% 左右的市場份額,是目前應(yīng)用最廣的成員。


HBM(高帶寬存儲器)是存儲界的立體高速倉庫,它采用 3D 堆疊工藝打造,把多塊 DRAM 芯片像摞書一樣垂直堆疊,再通過 2.5D/3D 先進封裝技術(shù)直接與 GPU 芯片封裝在一起,相當于把倉庫建在工廠旁邊,大幅縮短數(shù)據(jù)傳輸距離,最終形成大容量、高位寬的 DDR 組合陣列,實現(xiàn)遠超傳統(tǒng)存儲的高帶寬與高能效。

作為新一代 CPU/GPU 的核心內(nèi)存芯片,它專門服務(wù)于超級計算機、網(wǎng)絡(luò)交換及轉(zhuǎn)發(fā)設(shè)備這類需要巨量高速數(shù)據(jù)吞吐的場景。


核心優(yōu)勢

HBM 技術(shù)相較于傳統(tǒng)內(nèi)存技術(shù),憑借串行接口與優(yōu)化信號傳輸、3D 堆疊、垂直堆疊結(jié)合 TSV 技術(shù)等手段,具備高帶寬、高容量、低功耗和小尺寸四大優(yōu)勢。



03 上游產(chǎn)業(yè)鏈--制造

制造工藝是 HBM 產(chǎn)業(yè)的核心壁壘,其成熟度直接決定產(chǎn)品上限。

從產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)來看,HBM 產(chǎn)業(yè)的上游環(huán)節(jié)對應(yīng)著建造倉庫所需的基礎(chǔ)物料與專業(yè)設(shè)備:電鍍液、前驅(qū)體、IC 載板等半導(dǎo)體原材料;TSV 設(shè)備、檢測設(shè)備等半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,則是提供高精度塔吊與專業(yè)質(zhì)檢儀器的核心角色。

03-1、關(guān)鍵設(shè)備及材料

HBM 的生產(chǎn)閉環(huán)中 TSV 工藝、鍍銅、TCB 熱壓鍵合、晶圓切割、CMP 及拋光液等核心工藝與材料,相當于手表的機芯、齒輪等關(guān)鍵部件,目前主要由歐美、日本企業(yè)掌控;

國內(nèi)企業(yè)中,華海清科在 CMP 工藝、鼎龍股份在 CMP 拋光液領(lǐng)域已實現(xiàn)突破,相當于在手表表鏡打磨、專用拋光劑這類環(huán)節(jié)站穩(wěn)了腳跟,但在TSV 刻蝕、TCB 熱壓鍵合等更核心的 “機芯制造” 環(huán)節(jié)及相關(guān)材料上仍有明顯差距,整體國產(chǎn)化率仍處于較低水平。


03-2、關(guān)鍵參與公司--盛美上海

公司自主開發(fā)了面向 28nm 及以下先進制程的芯片前道銅互聯(lián)鍍銅技術(shù) Ultra ECP map,以及三維電鍍設(shè)備 Ultra ECD 3d。其多陽極局部電鍍技術(shù),能在極薄的底層金屬膜上實現(xiàn)無空隙的銅填充,且最終銅層厚度均勻,適配各類鍍銅工藝需求。

在三維堆疊電鍍設(shè)備領(lǐng)域,公司推出的 Ultra ECP 3d 設(shè)備,專為填充 3D 硅通孔(TSV)和 2.5D 轉(zhuǎn)接板設(shè)計。

TSV 就像芯片之間的垂直高速電梯,該設(shè)備基于盛美半導(dǎo)體電鍍設(shè)備平臺,能為高寬比超過 10:1 的深孔銅填充提供高性能、無孔洞的鍍銅效果,保障 “電梯通道” 的順暢連接。


03-3、關(guān)鍵參與公司--華海清科

公司提供一套完整的芯片制造 “工具箱”,包含打磨、減薄、清洗等設(shè)備及配套服務(wù),在 HBM 生產(chǎn)中可覆蓋減薄、鍵合等關(guān)鍵環(huán)節(jié),提供一體化工藝設(shè)備支持。


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04 中游產(chǎn)業(yè)鏈--核心工藝

04-1、HBM行業(yè)規(guī)模

高性能計算(HPC)硬件市場就像一條高速擴張的超級算力賽道,機構(gòu)預(yù)測 2025-2035 年將保持 13.6% 的年化增長率,最終市場規(guī)模突破 5810 億美元。

這條賽道上,95% 的 HPC 設(shè)備都需要搭載 HBM 技術(shù)作為核心性能支撐,相當于給超級算力裝上專屬動力引擎,預(yù)計到 2035 年,HBM 的單位銷售額將較 2024 年實現(xiàn) 15 倍的爆發(fā)式增長。


04-2、HBM行業(yè)格局

全球 HBM 供給市場被三星、海力士、美光三家海外巨頭牢牢壟斷,相當于高端存儲領(lǐng)域的 “三分天下” 格局,2024-2025 年這一格局仍將延續(xù),國產(chǎn)產(chǎn)品的市場份額幾乎為零。


根據(jù) Trendforce 數(shù)據(jù),2024 年三家的 TSV 月產(chǎn)能分別為 12 萬片、12 萬片、2.5 萬片,對應(yīng)市場占比 45%、45%、10%;2025 年產(chǎn)能占比將調(diào)整為 47%、41%、12%。


04-3、TSV(硅通孔)環(huán)節(jié)

TSV 工序是 HBM 制造環(huán)節(jié)里的核心技術(shù)難關(guān),相當于給立體堆疊的芯片打通垂直數(shù)據(jù)高速通道,涉及光刻、涂膠、刻蝕等一系列精密操作,也是整條產(chǎn)業(yè)鏈中價值量最高的環(huán)節(jié)。

其本質(zhì)是一種垂直互聯(lián)方案,就像在多層堆疊的芯片 “高樓” 里打通垂直電梯井,再在井內(nèi)填充導(dǎo)電性良好的金屬作為 “電梯軌道”,從而讓信號在各層芯片之間直接高速傳輸,無需繞路。



成本拆分

假設(shè) HBM 毛利率維持在 50% 左右,2024 年 HBM 全生產(chǎn)環(huán)節(jié)的市場空間達 92 億美元。

按照 3D InCites 的數(shù)據(jù),以 4 層 DRAM 存儲芯片加 1 層邏輯芯片的堆疊方案為例,在 99.5% 的封裝良率下,TSV 生產(chǎn)、TSV 顯露、晶圓凸點、TC-NCF 法組裝的成本占比分別為 18%、12%、3%、15%。

其中 TSV 相關(guān)環(huán)節(jié)(含創(chuàng)建與顯露)的成本占比合計達到 30%,對應(yīng)市場規(guī)模約 27.6 億美元,這一環(huán)節(jié)的工藝水平直接決定了 HBM 產(chǎn)品的最終良率。


TSV國內(nèi)供應(yīng)商(設(shè)備)

TSV工藝的國產(chǎn)化鏈條已初步形成,覆蓋了從刻蝕、薄膜沉積、電鍍、拋光等關(guān)鍵設(shè)備,到電鍍液、拋光液、前驅(qū)體等核心材料。


04-4、晶圓微凸點技術(shù)

晶圓微凸點是先進封裝領(lǐng)域的微型橋梁,核心作用是承擔芯片間的電信號傳輸與機械支撐功能,幾乎所有先進封裝方案都離不開這項基礎(chǔ)技術(shù),而凸點制備就是搭建這些 “微型橋梁” 的核心工序。

凸點制備有蒸發(fā)濺射法、電鍍法、化學鍍法等多種技術(shù)路線,相當于搭建橋梁的不同施工方案。HBM 選擇電鍍法作為專屬技術(shù)路徑,其 DRAM 芯片之間的互連,依靠的正是電鍍工藝制成的銅柱微凸點,通過這些微小的導(dǎo)電 “橋墩”,實現(xiàn)芯片層間的穩(wěn)定連接。



04-5、國內(nèi)現(xiàn)狀

國內(nèi)已經(jīng)掌握 HBM 生產(chǎn)所需的 TSV、bumping、堆疊等先進封裝工藝,以武漢新芯的晶圓級三維集成技術(shù)為例,其核心原理就是在垂直方向上堆疊載片或功能晶圓,再通過 TSV、混合鍵合等工藝,為不同芯片層搭建起直接的電氣互連通道,這項技術(shù)已經(jīng)覆蓋了 HBM 生產(chǎn)的三大核心工藝。

但國內(nèi)目前缺乏 HBM 商業(yè)化量產(chǎn)的實戰(zhàn)經(jīng)驗,像工匠掌握了所有工序卻沒有大規(guī)模造器的實操積累。量產(chǎn)良率的高低,恰恰取決于對晶圓級先進封裝工藝的熟練駕馭程度,國內(nèi) HBM 產(chǎn)業(yè)化落地,還需要積累大量的實際生產(chǎn)經(jīng)驗。


05 下游產(chǎn)業(yè)鏈--應(yīng)用場景

AI 服務(wù)器是 HBM 最大需求端,占比 70%,是 AI 大模型的 “數(shù)據(jù)高速通道”,貢獻主要增量;HPC 作為傳統(tǒng)核心場景,95% 設(shè)備依賴 HBM 支撐超算任務(wù)。自動駕駛是未來藍海,以 75% 高增速領(lǐng)跑。

2024 年 HBM 市場約 170 億美元,后續(xù)呈爆發(fā)式增長,需求核心由 AI、超算、汽車電子三大領(lǐng)域驅(qū)動。



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