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光刻膠國(guó)產(chǎn)化率僅10%,8種關(guān)鍵膠成卡脖子瓶頸

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天天看新聞?wù)f咱們半導(dǎo)體材料突圍了,各種概念股也漲得熱火朝天,光刻膠國(guó)產(chǎn)化率據(jù)說(shuō)大幅攀升,那咱們的芯片還會(huì)被別人卡脖子嗎?

這個(gè)問(wèn)題問(wèn)得極好。說(shuō)實(shí)話,如果我們僅僅停留在那些宏大的數(shù)字和沾沾自喜的戰(zhàn)報(bào)里,很容易迷失方向。今天,咱們就借著《大咖談芯》這檔在行業(yè)內(nèi)極其硬核的播客欄目,結(jié)合幾位在半導(dǎo)體材料里摸爬滾打了十幾年的行業(yè)大咖——中國(guó)電子材料行業(yè)半導(dǎo)體材料分會(huì)秘書長(zhǎng)林健、徐州博康董事長(zhǎng)傅志偉、江蘇鑫華半導(dǎo)體總裁田新、華興激光總經(jīng)理羅帥的深度對(duì)談,外加我近期翻閱的國(guó)內(nèi)外產(chǎn)業(yè)資料,給大伙兒徹徹底底地交個(gè)底。

先拋出一個(gè)可能讓很多人后背發(fā)涼的真相:光刻膠的種類成百上千,把它們混在一口鍋里算出一個(gè)“整體國(guó)產(chǎn)化率”毫無(wú)實(shí)際意義。在決定大國(guó)科技命運(yùn)的先進(jìn)制程領(lǐng)域,真正像鋼刀一樣抵在我們咽喉上的,單單就是那八款極其特殊的光刻膠。



要想把光刻膠這事兒聊透,咱們必須先回望一段距離今天并不遙遠(yuǎn)的歷史。

2019年,日本和韓國(guó)之間爆發(fā)了一場(chǎng)震動(dòng)全球科技圈的貿(mào)易摩擦。日本政府突然宣布,對(duì)出口韓國(guó)的三種核心半導(dǎo)體化學(xué)材料實(shí)施嚴(yán)格管控,其中最致命的一項(xiàng),就是光刻膠。

當(dāng)時(shí)的韓國(guó)可是全球首屈一指的存儲(chǔ)芯片帝國(guó),三星、SK海力士在全球市場(chǎng)呼風(fēng)喚雨。面對(duì)日本的突然發(fā)難,整個(gè)韓國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)瞬間陷入停擺危機(jī)。韓國(guó)政府立刻砸出6萬(wàn)億韓元(約合幾百億人民幣)的真金白銀,試圖扶持本土企業(yè)實(shí)現(xiàn)光刻膠的“去日化”。

結(jié)果如何呢?根據(jù)相關(guān)行業(yè)報(bào)告顯示,幾年時(shí)間過(guò)去了,韓國(guó)光刻膠對(duì)日本的依賴度依然居高不下。金錢可以買來(lái)最先進(jìn)的設(shè)備,可以挖來(lái)頂級(jí)的工程師,但唯獨(dú)買不來(lái)材料科學(xué)里最要命的東西——時(shí)間與試錯(cuò)數(shù)據(jù)。

這件事給國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)敲響了震耳欲聾的警鐘。中國(guó)有著全球最龐大的電子消費(fèi)市場(chǎng),有著最完整的代工產(chǎn)業(yè)鏈,但如果我們往上游溯源,走進(jìn)那些極其細(xì)分的材料領(lǐng)域,就會(huì)發(fā)現(xiàn)咱們的根基依然需要拼命夯實(shí)。

正如秘書長(zhǎng)林健在對(duì)談中梳理的那樣,半導(dǎo)體制造前道有七大類核心材料:硅襯底、電子特氣、掩膜版、光刻膠、光刻膠輔助材料、濕化學(xué)品、拋光材料。這其中,光刻膠猶如皇冠上的明珠。很多人在股市里看到帶有“光刻膠”三個(gè)字的公司就覺(jué)得是國(guó)貨之光,實(shí)際上,光刻膠分為PCB(印制電路板)光刻膠、面板光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠。哪怕在半導(dǎo)體光刻膠內(nèi)部,也存在著天壤之別。

目前,咱們國(guó)內(nèi)用于6英寸晶圓的g線、i線光刻膠基本實(shí)現(xiàn)了自給自足。但是,到了8英寸、12英寸晶圓所需的高端產(chǎn)品,情況就變得極為嚴(yán)峻。林健秘書長(zhǎng)給出的數(shù)據(jù)非??陀^:KrF(248納米)光刻膠的國(guó)產(chǎn)化率勉強(qiáng)能達(dá)到10%到20%;ArF(193納米)光刻膠的國(guó)產(chǎn)化率在5%到10%之間徘徊;至于用于7納米以下先進(jìn)制程的EUV(極紫外)光刻膠,因?yàn)樵蹅冞BEUV光刻機(jī)都受限,這部分材料的國(guó)產(chǎn)化率目前依然是零。

這就是血淋淋的現(xiàn)實(shí),剝開(kāi)虛高的整體數(shù)據(jù),高端戰(zhàn)場(chǎng)的突圍依然處于深水區(qū)。

咱們現(xiàn)在很多中低端光刻膠確實(shí)能造了,但在高端領(lǐng)域,由于EUV設(shè)備的封鎖,國(guó)內(nèi)晶圓廠往往需要依靠多重曝光技術(shù)(比如把圖形拆分,經(jīng)過(guò)多次光刻和刻蝕)來(lái)在14納米甚至7納米的制程上實(shí)現(xiàn)突破。這種路線極大地挑戰(zhàn)了ArF光刻膠(尤其是浸沒(méi)式ArF光刻膠)的物理和化學(xué)極限。

傅志偉一針見(jiàn)血地指出,在14納米及以下(主要就是14納米和7納米)的制程節(jié)點(diǎn)上,由于很多工藝是通用的,整個(gè)產(chǎn)線真正高度依賴的光刻膠,滿打滿算總共就只有八種。

大家請(qǐng)注意,這八種光刻膠,目前的量產(chǎn)國(guó)產(chǎn)化率依舊為零。它們?nèi)荚趯?shí)驗(yàn)線上做嚴(yán)苛的驗(yàn)證,連量產(chǎn)的門檻都還沒(méi)跨過(guò)去。好消息是,據(jù)業(yè)內(nèi)透露,這八款核心命門產(chǎn)品中,目前已有三款正在晶圓廠的生產(chǎn)線上進(jìn)行跑線驗(yàn)證。但這絕非一朝一夕之功。

為什么這八款膠這么難搞?這就得深入光刻膠的微觀世界了。光刻膠本質(zhì)上是一種光敏感聚合物,包含單體、樹(shù)脂、光致產(chǎn)酸劑等。要想配制出高端的光刻膠,首先必須擁有極其純凈的“單體”。單體就像是搭建樂(lè)高積木的最基礎(chǔ)零件,它的純度直接決定了最終光刻膠的良率。

傅志偉透露,單體對(duì)雜質(zhì)潔凈度的要求,是成品光刻膠的10倍以上。金屬離子雜質(zhì)含量必須控制在1ppb(十億分之一)以下。這是什么概念?相當(dāng)于在一個(gè)奧運(yùn)標(biāo)準(zhǔn)游泳池里,只能容忍一滴雜質(zhì)。在海外成熟的市場(chǎng)環(huán)境里,從單體提純、樹(shù)脂合成到最終的配膠,通常由五六家頂尖的跨國(guó)公司高度分工,彼此獨(dú)立,中間有著極深的技術(shù)護(hù)城河(Know-how)隔斷。

但在面對(duì)外部封鎖的大背景下,國(guó)內(nèi)企業(yè)想要破局,就必須練就“全能”的本事,把全產(chǎn)業(yè)鏈的Know-how硬生生全部打通。這背后付出的艱辛,遠(yuǎn)非旁人所能想象。

很多人可能會(huì)感到疑惑,咱們國(guó)家現(xiàn)在最不缺的就是資金和政策支持,千軍萬(wàn)馬搞芯片,為什么這幾款光刻膠的驗(yàn)證速度還是這么慢?

這里面藏著半導(dǎo)體材料行業(yè)最殘酷的鐵律:它是一門純粹的經(jīng)驗(yàn)學(xué)科。

一條12英寸的晶圓產(chǎn)線上,每一片晶圓都價(jià)值連城,上面承載著客戶千萬(wàn)級(jí)的訂單。光刻膠哪怕出現(xiàn)極其微小的不穩(wěn)定,整批晶圓就會(huì)瞬間報(bào)廢。在2019年地緣政治危機(jī)爆發(fā)之前,國(guó)內(nèi)的晶圓廠為了保證良率,對(duì)國(guó)產(chǎn)材料幾乎是敬而遠(yuǎn)之的。誰(shuí)愿意拿自己上百億的生產(chǎn)線去給一家名不見(jiàn)經(jīng)傳的國(guó)產(chǎn)材料廠做實(shí)驗(yàn)?zāi)兀?/p>

直到被別人死死卡住脖子,產(chǎn)業(yè)界才如夢(mèng)初醒,真正開(kāi)始敞開(kāi)懷抱給國(guó)產(chǎn)光刻膠提供上機(jī)驗(yàn)證的機(jī)會(huì)。但這僅僅是拿到了入場(chǎng)券。一款高端光刻膠從送樣到最終量產(chǎn),至少需要三年甚至更長(zhǎng)的漫長(zhǎng)周期。這里面需要海量的數(shù)據(jù)積累,需要在使用過(guò)程中不斷試錯(cuò),根據(jù)反饋回來(lái)成千上萬(wàn)個(gè)參數(shù)對(duì)配方進(jìn)行極其微小的微調(diào)。

單靠砸錢根本無(wú)濟(jì)于事,時(shí)間積淀才最關(guān)鍵。要想跨越這道鴻溝,本土材料企業(yè)必須拿出熬鷹般的耐心。



在這場(chǎng)看不見(jiàn)硝煙的突圍戰(zhàn)中,中國(guó)也有著一批像徐州博康這樣“死磕”底層的孤勇者。

早在2005年,傅志偉就開(kāi)始帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)研發(fā)單體。整整熬了7年,到了2012年,他們憑借精湛的提純工藝,硬生生切入了國(guó)際光刻膠巨頭JSR(日本合成橡膠公司)的供應(yīng)鏈,成為其唯一非日本本土的單體供應(yīng)商。這一步棋下得極其隱忍且精妙。掌握了核心原料的話語(yǔ)權(quán),就等于握住了高端光刻膠的鑰匙。

時(shí)至今日,博康已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了“單體—樹(shù)脂、光酸—光刻膠”的全產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋。在最新的業(yè)內(nèi)進(jìn)展中,傅志偉透露了一個(gè)極其振奮人心的細(xì)節(jié):他們剛剛通過(guò)了一家全球最頭部光刻膠公司長(zhǎng)達(dá)三年的驗(yàn)廠,拿下的恰恰是一款用于前沿封裝領(lǐng)域的特殊光刻膠原料大單。

這個(gè)市場(chǎng)爆發(fā)得極快,訂單量從今年的300噸直接飆升到后年的2000噸。反觀國(guó)內(nèi),這款針對(duì)全新封裝場(chǎng)景的高端膠,幾乎還沒(méi)有人觸碰。這屬于新興市場(chǎng),絕非傳統(tǒng)的存量更迭。這說(shuō)明什么?說(shuō)明在某些細(xì)分的尖端原材料領(lǐng)域,中國(guó)企業(yè)不僅沒(méi)有被甩開(kāi),甚至已經(jīng)開(kāi)始悄悄卡位,成為全球頂級(jí)巨頭背后不可或缺的力量。



當(dāng)然,光刻膠只是這場(chǎng)宏大半導(dǎo)體材料戰(zhàn)役的冰山一角。在那場(chǎng)長(zhǎng)達(dá)三十分鐘的播客對(duì)談中,另外兩位企業(yè)家的視角同樣令人深思。

硅基材料依然是行業(yè)的定海神針。江蘇鑫華半導(dǎo)體的總裁田新表示,目前全球95%的芯片依然是基于硅材料制造的。他們生產(chǎn)的電子級(jí)多晶硅,純度達(dá)到了驚人的“十一級(jí)九”(99.9999999%),這代表著工業(yè)化量產(chǎn)物質(zhì)的純度天花板。

目前,國(guó)內(nèi)在成熟制程和小尺寸硅部件上用的硅材料,已經(jīng)完全解決了生存問(wèn)題,市占率超過(guò)50%,品質(zhì)完全對(duì)標(biāo)國(guó)際巨頭。難題在于,國(guó)外的領(lǐng)頭羊(如德國(guó)瓦克)并沒(méi)有停下腳步,他們正在瘋狂研發(fā)匹配3納米及以下先進(jìn)制程的硅材料。中國(guó)企業(yè)過(guò)去十年是在“解決有無(wú)”,解決別人已經(jīng)有的東西;如今步入深水區(qū),面對(duì)前所未見(jiàn)的新制程,我們必須和國(guó)際巨頭并駕齊驅(qū)地搞研發(fā),這種壓力呈現(xiàn)出指數(shù)級(jí)的增長(zhǎng)。

而在另一條賽道上,化合物半導(dǎo)體正借著人工智能的東風(fēng)強(qiáng)勢(shì)崛起。華興激光的總經(jīng)理羅帥提到,硅材料有著天然的物理局限(間接帶隙半導(dǎo)體),發(fā)光效率低,在光通信和高壓高頻器件上力不從心。

隨著AI大模型時(shí)代的爆發(fā),算力狂飆帶來(lái)海量數(shù)據(jù)的傳輸需求,北美數(shù)據(jù)中心大量采購(gòu)800G高速光模塊。這些光模塊里裝配的100G光芯片,大多需要使用磷化銦或砷化鎵等二代半導(dǎo)體外延片。在2024年以前,100G高速外延片的國(guó)產(chǎn)化率連1%都不到,基本被海外壟斷。但僅僅過(guò)去一年時(shí)間,國(guó)內(nèi)企業(yè)快速發(fā)力量產(chǎn),雖然目前份額仍不足10%,且在技術(shù)迭代上落后海外大廠一年半左右,但考慮到中國(guó)擁有全球十大光模塊廠商中的七家,極其繁榮的下游生態(tài)必將反哺上游材料,這個(gè)領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)化狂飆已是弦上之箭。

其實(shí),中國(guó)的半導(dǎo)體材料起步根本不晚。美國(guó)在1953年拉出第一根硅單晶,咱們中國(guó)科學(xué)院在1959年就成功跟進(jìn);1965年,咱們更是成功拉出了第一根砷化鎵單晶,當(dāng)時(shí)的技術(shù)身段與世界頂尖水平幾乎是貼身肉搏。遺憾的是,隨后長(zhǎng)達(dá)二三十年的歷史風(fēng)波,讓我們的產(chǎn)業(yè)斷了層,直接被海外甩開(kāi)了幾代人的距離。

如今,我們?cè)诘谌雽?dǎo)體(碳化硅、氮化鎵)以及第四代半導(dǎo)體(氧化鎵、金剛石)上正在瘋狂追趕。比如我們的8英寸氧化鎵目前已經(jīng)超越了日本企業(yè),位居全球第一;碳化硅的產(chǎn)能也已經(jīng)占據(jù)了全球半壁江山。

我們這代人,正在拼命填補(bǔ)那段失去的歲月。



半導(dǎo)體材料絕不是股市里炒作幾個(gè)漲停板就能大功告成的小游戲,它是重資產(chǎn)、長(zhǎng)周期、極度考驗(yàn)定力的“苦差事”。

面對(duì)那依然處于零國(guó)產(chǎn)化率的八款核心光刻膠,面對(duì)先進(jìn)制程里無(wú)數(shù)個(gè)隱形的絆腳石,我們無(wú)需盲目自大,更沒(méi)必要妄自菲薄。真正可怕的內(nèi)卷,是同質(zhì)化產(chǎn)品在低端市場(chǎng)里打殘酷的價(jià)格戰(zhàn);而唯一能刺破這層內(nèi)卷壁壘的利器,就是死磕底層的原始創(chuàng)新。

正如行業(yè)大咖們所呼吁的那樣,無(wú)論是國(guó)家意志的聚焦,還是民間資本的注入,都請(qǐng)給這些在黑暗中摸索的材料企業(yè)多一點(diǎn)時(shí)間,多一份容錯(cuò)的寬容,營(yíng)造一個(gè)更加良性、耐心的營(yíng)商環(huán)境。

大國(guó)博弈的牌桌上,從來(lái)沒(méi)有捷徑可走。我們既然選擇了科技自立這條最難的路,就必須用幾代人的實(shí)干,以實(shí)力鑄就材料的基石。待到那八款光刻膠真正走向量產(chǎn)、跨出實(shí)驗(yàn)室的那一天,咱們?cè)賮?lái)開(kāi)懷暢飲!

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