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美論壇:沒有得到美國的允許,中國為何敢私自研發(fā)DUV光刻板?

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近來,美國主流網(wǎng)絡(luò)社區(qū)掀起了一場激烈論戰(zhàn)。

不少美國網(wǎng)友面露驚愕,直呼中國“膽子太大”,竟在未經(jīng)美方點(diǎn)頭的情況下,自主攻堅(jiān)DUV光刻機(jī)核心系統(tǒng)。

他們百思不解:為何中國不愿循規(guī)蹈矩,偏要獨(dú)立突破這項(xiàng)被西方長期壟斷的尖端裝備?



此事背后的邏輯,其實(shí)清晰而樸素。

并非中國刻意對(duì)抗,而是生存與發(fā)展倒逼出的必然選擇。

這更是主權(quán)國家行使科技自決權(quán)的天然體現(xiàn)。



當(dāng)海外社交平臺(tái)仍在糾結(jié)所謂“未獲授權(quán)”的程序正義時(shí),它們選擇性遺忘了一個(gè)基本常識(shí):人類重大技術(shù)演進(jìn),何曾需要異國背書?中國正以年均15%的國產(chǎn)化躍升速度,強(qiáng)勢(shì)鑿穿美西方構(gòu)筑的技術(shù)高墻,用實(shí)打?qū)嵉难b備成果,終結(jié)“技術(shù)特權(quán)不可撼動(dòng)”的迷思。

昔日外界嘲諷中國“連米粒大小的光學(xué)鏡片都造不出來”的刻薄言論,已被國產(chǎn)28納米DUV整機(jī)系統(tǒng)的成功落地徹底擊穿。面對(duì)美方持續(xù)加碼的禁運(yùn)、斷供與技術(shù)封鎖,中國非但未退縮停步,反而啟動(dòng)“全要素壓強(qiáng)式攻關(guān)”,以一系列可驗(yàn)證、可量產(chǎn)、可迭代的硬核進(jìn)展,瓦解了西方對(duì)半導(dǎo)體底層能力的認(rèn)知霸權(quán)。



白宮曾將光刻機(jī)定義為維系全球芯片權(quán)力秩序的“終極閘門”,卻未曾料到,在設(shè)備禁售、備件斷供、專家撤離的多重圍困下,中國科研力量逆勢(shì)突圍,打通關(guān)鍵工藝鏈。工信部正式將國產(chǎn)氟化氬(ArF)浸沒式光刻機(jī)納入《首臺(tái)(套)重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄》,標(biāo)志著我國已全面掌握覆蓋全球七成以上芯片產(chǎn)能所需的28納米制程制造能力,正在重塑世界半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的地緣技術(shù)版圖。

最近幾周,Reddit與Quora等國際知識(shí)型平臺(tái)上,一則離譜提問意外引爆流量:“中國在沒有取得美國政府書面許可的前提下,憑什么擅自推進(jìn)DUV光刻機(jī)自主研發(fā)?”



這般根植于單極思維的傲慢詰問,不僅暴露部分西方輿論場仍深陷“技術(shù)宗主國”幻覺,更反向印證了一個(gè)令華盛頓高層高度警覺的事實(shí):即便遭遇史上最嚴(yán)苛的出口管制組合拳,中國依然交付了具備量產(chǎn)能力的28納米DUV光刻系統(tǒng)。

回望十年前,國內(nèi)媒體還常以“指甲蓋尺寸的精密部件都要靠進(jìn)口”自嘲;而今,中國正以每年15個(gè)百分點(diǎn)的國產(chǎn)替代增速,持續(xù)撕裂西方精心編織的技術(shù)隔離帶。這場靜默卻驚雷般的科技躍遷,其底層驅(qū)動(dòng)力究竟來自何處?



長期以來,白宮始終將DUV光刻機(jī)定位為調(diào)控全球芯片供應(yīng)鏈命脈的“戰(zhàn)略杠桿”。作為生產(chǎn)智能手機(jī)SoC、智能駕駛域控制器及AI加速芯片不可或缺的母機(jī),其戰(zhàn)略價(jià)值遠(yuǎn)超單一工業(yè)設(shè)備范疇。

在技術(shù)合作蜜月期,中國客戶為荷蘭ASML公司貢獻(xiàn)了其全球營收的四成;截至2021年底,國內(nèi)DUV光刻設(shè)備裝機(jī)規(guī)模已突破120臺(tái),位居全球第二大市場。



然而,隨著中國集成電路產(chǎn)業(yè)快速升級(jí),美方態(tài)度驟然轉(zhuǎn)向。自2022年起,美方單方面將設(shè)備出口審批周期由常規(guī)3—6個(gè)月惡意拉長至18個(gè)月以上;2023年更聯(lián)合荷蘭政府,對(duì)主力型號(hào)NXT:2000i及后續(xù)機(jī)型實(shí)施全域禁運(yùn)。

其打壓手段甚至延伸至售后維保環(huán)節(jié)——通過精準(zhǔn)切斷光學(xué)鏡頭、激光光源、精密位移臺(tái)等核心備件供應(yīng),試圖讓國內(nèi)存量數(shù)億元級(jí)的光刻產(chǎn)線陷入功能性癱瘓。



這種“釜底抽薪”式的封鎖邏輯極為明確:只要卡死上游母機(jī)供給,下游設(shè)計(jì)、制造、封測鏈條就將集體失能,最終迫使中國繼續(xù)接受美方主導(dǎo)的高價(jià)芯片體系。但真實(shí)數(shù)據(jù)給出了截然相反的答案。

進(jìn)入2025年,我國汽車電子芯片采購量同比增長23%,若真按美方節(jié)奏等待“特許許可”,新能源汽車這一萬億級(jí)支柱產(chǎn)業(yè)早已陷入大規(guī)模停產(chǎn)危機(jī)。



中國不僅頂住壓力,更迅速切換至“極限資源動(dòng)員模式”。正如華為創(chuàng)始人任正非所言:“真正的考驗(yàn)不是摧毀你,而是讓你在絕境中淬煉出不可復(fù)制的韌性?!碑?dāng)國家產(chǎn)業(yè)鏈安全面臨系統(tǒng)性威脅時(shí),技術(shù)攻關(guān)早已超越企業(yè)行為,升華為捍衛(wèi)發(fā)展主權(quán)的戰(zhàn)略行動(dòng)。

在國產(chǎn)DUV光刻機(jī)尚未公開亮相前,西方主流媒體與部分國內(nèi)學(xué)術(shù)聲音曾斷言:中國獨(dú)立研制整機(jī)是“現(xiàn)代工業(yè)神話”,注定失敗。



某高校光學(xué)工程教授曾在公開講座中指出,一臺(tái)高端DUV光刻機(jī)集成超10萬個(gè)精密零部件,涉及全球數(shù)十國供應(yīng)鏈協(xié)同,連美國自身都無法實(shí)現(xiàn)100%本土化,中國單點(diǎn)突破無異于“逆天改命”。此類悲觀論調(diào)一度在推特、YouTube評(píng)論區(qū)廣泛傳播,成為西方輿論圍堵中國科技信心的心理錨點(diǎn)。

但這些判斷者忽視了一個(gè)根本現(xiàn)實(shí):中國制造業(yè)增加值占全球比重已達(dá)30%,體量約為美國的兩倍。這份厚積薄發(fā)的工業(yè)底盤,曾在盾構(gòu)機(jī)、神威·太湖之光超算、復(fù)興號(hào)高鐵等領(lǐng)域反復(fù)上演“后發(fā)制人”的經(jīng)典逆轉(zhuǎn)。



轉(zhuǎn)折點(diǎn)發(fā)生在2024年9月,工信部官網(wǎng)發(fā)布新版《首臺(tái)(套)重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄》,國產(chǎn)氟化氬(ArF)浸沒式光刻機(jī)赫然在列,其套刻精度實(shí)測值穩(wěn)定控制在≤8納米區(qū)間。這意味著我國已實(shí)質(zhì)性打通覆蓋全球70%以上芯片應(yīng)用市場的28納米制程全工藝鏈。

那些曾譏諷中國“想用廚房電器組裝光刻機(jī)”的輕慢者,如今不得不直面上海微電子、科益虹源、國望光學(xué)等本土企業(yè),在準(zhǔn)分子激光器、高速雙工件臺(tái)、投影物鏡系統(tǒng)等“卡脖子”環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)批量交付的事實(shí)。美方口中所謂“未經(jīng)許可”的行政禁令,在這套看得見、摸得著、用得上的國產(chǎn)裝備面前,已然喪失全部解釋力與約束力。



中國為何傾舉國之力攻克DUV技術(shù)?答案遠(yuǎn)不止于填補(bǔ)設(shè)備空白——它實(shí)質(zhì)上是中國重構(gòu)全球價(jià)值鏈分配規(guī)則、爭奪標(biāo)準(zhǔn)制定話語權(quán)的核心支點(diǎn)。

一旦實(shí)現(xiàn)28納米及多重曝光(LELE/SAQP)工藝的自主可控,即意味著我國在車規(guī)級(jí)MCU、工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)SoC、邊緣AI控制器等百億級(jí)終端市場擁有了完整技術(shù)主導(dǎo)權(quán)。



過去,ASML設(shè)備定價(jià)權(quán)由荷蘭總部掌控,但實(shí)際交易需經(jīng)美國商務(wù)部許可證審核;如今,隨著國產(chǎn)設(shè)備在中芯國際、長江存儲(chǔ)、合肥長鑫等產(chǎn)線規(guī)?;瘜?dǎo)入,全球DUV設(shè)備價(jià)格體系正經(jīng)歷結(jié)構(gòu)性重估。

國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金三期已專項(xiàng)撥付300億元,聚焦光學(xué)系統(tǒng)、精密運(yùn)動(dòng)控制、真空環(huán)境集成等六大核心模塊開展定向攻堅(jiān)。截至2025年一季度,DUV光刻機(jī)整機(jī)國產(chǎn)化率由2023年初的不足5%躍升至15%,在新型舉國體制支撐下展現(xiàn)出指數(shù)級(jí)技術(shù)迭代效能,再次刷新世界對(duì)“中國攻堅(jiān)效率”的認(rèn)知邊界。



當(dāng)一些美國網(wǎng)民還在論壇里反復(fù)爭論“私自研發(fā)是否合規(guī)”時(shí),他們似乎遺忘了最基礎(chǔ)的科學(xué)倫理:人類知識(shí)積累屬于全人類共有財(cái)富,自主創(chuàng)新本就是每個(gè)主權(quán)國家與生俱來的權(quán)利,無需向任何外部勢(shì)力申領(lǐng)入場券。

從早期依賴進(jìn)口設(shè)備艱難起步,到如今在DUV整機(jī)、EDA工具鏈、特種氣體等多個(gè)細(xì)分賽道實(shí)現(xiàn)局部領(lǐng)先,中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)走過的每一步,都浸透著自主研發(fā)的汗水與智慧。在這個(gè)實(shí)力決定話語權(quán)的時(shí)代,與其期待對(duì)手的仁慈施舍,不如把核心技術(shù)牢牢握在自己手中。



當(dāng)一道道技術(shù)封鎖線被國產(chǎn)裝備接連擊穿,那些圍繞“許可權(quán)”展開的喧囂爭論,終將在歷史進(jìn)程中悄然退場。因?yàn)槲ㄓ性鷮?shí)實(shí)鍛造出來的硬核能力,才是對(duì)一切技術(shù)霸權(quán)最沉穩(wěn)、最持久、也最有力的回應(yīng)。那么,在接下來的14納米、10納米乃至先進(jìn)封裝協(xié)同演進(jìn)中,下一個(gè)讓全球?yàn)橹畟?cè)目的中國突破,又將落子于何處?

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