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光刻機(jī)核心零部件供應(yīng)商華卓精科重啟IPO

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朱煜為華卓精科的控股股東、實(shí)際控制人,直接持有公司總股數(shù)的持股37.81%。

證監(jiān)會(huì)網(wǎng)站今日披露,北京華卓精科科技股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“華卓精科”)于 2026 年 2 月 12 日在北京證監(jiān)局辦理輔導(dǎo)備案登記,擬首次公開發(fā)行股票并上市,輔導(dǎo)券商為招商證券。輔導(dǎo)備案文件顯示,華卓精科本次IPO預(yù)計(jì)于2026年4—5月輔導(dǎo)驗(yàn)收。

這已不是華卓精科首次沖刺資本市場(chǎng)。輔導(dǎo)備案報(bào)告顯示,該公司曾于2020 年 6 月申報(bào)科創(chuàng)板 IPO 并獲受理,于 2021 年 9 月通過上市委審議。后基于整體市場(chǎng)環(huán)境及自身資本運(yùn)作發(fā)展規(guī)劃,公司于2024 年 6 月主動(dòng)撤回 IPO 申請(qǐng)。





股東方面,朱煜為華卓精科的控股股東、實(shí)際控制人,直接持有公司總股數(shù)的持股37.81%,通過直接持股、間接持股和一致行動(dòng)協(xié)議控制公司 51.89% 的表決權(quán)。

前次申報(bào)的招股書顯示,朱煜為公司董事、核心技術(shù)人員、首席科學(xué)家,1965年1月出生,2001年畢業(yè)于中國礦業(yè)大學(xué),博士學(xué)歷,機(jī)械設(shè)計(jì)及理論專業(yè)。1983-2004年朱煜任教于中國礦業(yè)大學(xué),先后任講師、副教授;2001-2004年,于清華大學(xué)從事博士后工作;2004年10月至今任清華大學(xué)精儀系制造所/機(jī)械系機(jī)電所長(zhǎng)聘教授,博導(dǎo)。

2007-2013年朱煜任北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司獨(dú)立董事,2016-2019年任北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司獨(dú)立董事;2012-2015年任華卓有限董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理;2015-2015年任華卓精科董事長(zhǎng);2015年9月至今任華卓精科董事、首席科學(xué)家;截至2021年11月,朱煜兼任新冶精特董事、艾西科技執(zhí)行事務(wù)合伙人、艾西博銳執(zhí)行事務(wù)合伙人、沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司獨(dú)立董事、中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司獨(dú)立董事、沈陽富創(chuàng)精密設(shè)備股份有限公司獨(dú)立董事。

朱煜曾擔(dān)任科技部重點(diǎn)領(lǐng)域創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人及02專項(xiàng)技術(shù)副總師;曾先后獲得2015年國家專利優(yōu)秀獎(jiǎng)、2018年國家專利銀獎(jiǎng)、2018年北京市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)等多項(xiàng)榮譽(yù)。

華卓精科成立于2012年5月,注冊(cè)地于北京。主營業(yè)務(wù)為以超精密測(cè)控技術(shù)為基礎(chǔ),研究、開發(fā)以及生產(chǎn)超精密測(cè)控設(shè)備部件、超精密測(cè)控設(shè)備整機(jī)并提供相關(guān)技術(shù)開發(fā)服務(wù)。目前產(chǎn)品包括超精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(光刻機(jī)雙工件臺(tái))、激光退火設(shè)備、晶圓鍵合設(shè)備、晶圓傳輸系統(tǒng)、主被動(dòng)隔振器、靜電卡盤、精密測(cè)量系統(tǒng)等整機(jī)設(shè)備及半導(dǎo)體關(guān)鍵零部件。其中,公司稱其光刻機(jī)雙工件臺(tái)技術(shù)打破國際壟斷,成為全球第二家(僅次于ASML)掌握該核心技術(shù)的企業(yè)。雙工件臺(tái)是光刻機(jī)的核心子系統(tǒng)之一,主要用于承載晶圓并完成高速高精度運(yùn)動(dòng),以提高光刻機(jī)生產(chǎn)效率。該技術(shù)被視為光刻機(jī)三大核心技術(shù)之一,需在高速運(yùn)動(dòng)下實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度(如2nm運(yùn)動(dòng)精度),技術(shù)難度極高。

公開報(bào)道顯示,2026年2月4日,華卓精科自主研發(fā)的D2W芯粒混合鍵合裝備交付武漢客戶,新一代D2W芯粒混合鍵合裝備(UP-D2W-HB)是一款面向HBM制造、Chiplet異構(gòu)集成等前沿應(yīng)用的關(guān)鍵設(shè)備。此外,公司面向HBM芯片制造的核心環(huán)節(jié),已自主研發(fā)出多款系列高端裝備,包括:混合鍵合裝備(UP-UMA HB300)、熔融鍵合裝備(UP-UMA FB300)、激光剝離裝備(UP-LLR-300)、激光退火裝備(UP-DLA-300)等。2025年3月29日,其自主研發(fā)的鍵合設(shè)備獲第四屆北京市人民政府質(zhì)量管理獎(jiǎng)。



2024年5月,公司聘請(qǐng)的會(huì)計(jì)師大華所因在金通靈財(cái)務(wù)造假案中未勤勉盡責(zé),被江蘇證監(jiān)局暫停從事證券服務(wù)業(yè)務(wù)6個(gè)月。最終,在“新國九條”嚴(yán)監(jiān)管背景下,已經(jīng)歷4年長(zhǎng)跑、財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)數(shù)次過期的華卓精科,最終選擇與保薦人一起撤回申請(qǐng)。

而導(dǎo)致其撤回的真正原因,是交易所對(duì)公司科創(chuàng)屬性、業(yè)務(wù)真實(shí)性和獨(dú)立性的質(zhì)疑。

華卓精科激光退火裝備成功出貨第100臺(tái)

去年11月,華卓精科宣布第100臺(tái)激光退火裝備完成檢測(cè)、包裝,正式發(fā)往客戶現(xiàn)場(chǎng)。這標(biāo)志著公司激光退火裝備研發(fā)、制造、銷售、交付和服務(wù)全鏈條能力均已獲得市場(chǎng)高度認(rèn)可,成功邁入新的規(guī)模化應(yīng)用階段。



華卓精科稱,從零到百的跨越,感謝客戶朋友的信任與支持。專業(yè)的溝通、精準(zhǔn)的需求反饋、嚴(yán)苛的標(biāo)準(zhǔn)讓每一臺(tái)裝備在實(shí)戰(zhàn)中淬煉出硬實(shí)力。感恩供應(yīng)商伙伴的同心同行,上下游共同堅(jiān)守“追求卓越”初心,用穩(wěn)定可靠的供應(yīng)鏈,支撐裝備的生產(chǎn)與應(yīng)用。

華卓精科激光退火裝備始終聚焦集成電路高端裝備制造領(lǐng)域先進(jìn)工藝需求,依托深厚的技術(shù)積淀自主研發(fā)高精密激光光學(xué)系統(tǒng)與超高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái);憑借豐富的先進(jìn)制程工藝經(jīng)驗(yàn),為客戶生產(chǎn)線連續(xù)、穩(wěn)定運(yùn)行提供了堅(jiān)實(shí)保障;目前,該系列裝備已在多家客戶端順利通過驗(yàn)證,憑借出色的綜合性能贏得客戶高度肯定,百臺(tái)訂單的獲取正是產(chǎn)品實(shí)力與市場(chǎng)信心的有力證明。

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