芯東西（公眾號(hào)：aichip001）
作者 ZeR0
編輯 漠影

芯東西1月28日?qǐng)?bào)道，剛剛，廣東深圳半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件供應(yīng)商恒運(yùn)昌在科創(chuàng)板敲鐘上市。

恒運(yùn)昌發(fā)行價(jià)為92.18元/股，發(fā)行市盈率為48.39倍，開(kāi)盤(pán)價(jià)為310元/股，漲幅達(dá)236%。截至9點(diǎn)50分，其股價(jià)最高上漲323%至390元/股，市值為264億元。

恒運(yùn)昌成立于2013年3月，是國(guó)產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)龍頭企業(yè)、國(guó)內(nèi)極少數(shù)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體級(jí)等離子體射頻電源系統(tǒng)量產(chǎn)的企業(yè)，獲評(píng)國(guó)家專(zhuān)精特新重點(diǎn)“小巨人”企業(yè)。

等離子體射頻電源系統(tǒng)是半導(dǎo)體設(shè)備零部件國(guó)產(chǎn)化最難環(huán)節(jié)之一，直接決定設(shè)備工藝能力、產(chǎn)品良率，國(guó)產(chǎn)化率極低。

歷經(jīng)十年，恒運(yùn)昌先后推出CSL、Bestda、Aspen三代產(chǎn)品系列等離子體射頻電源系統(tǒng)，打破了美系兩大巨頭MKS和AE在國(guó)內(nèi)長(zhǎng)達(dá)數(shù)十年的壟斷格局。

根據(jù)弗若斯特沙利文統(tǒng)計(jì)，2024年，中國(guó)大陸半導(dǎo)體領(lǐng)域等離子體射頻電源系統(tǒng)的國(guó)產(chǎn)化率不足12%，恒運(yùn)昌在國(guó)產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)廠商中的市場(chǎng)份額位列第一。

恒運(yùn)昌是首家出貨過(guò)億元和首家實(shí)現(xiàn)等離子體射頻電源系統(tǒng)（支持半導(dǎo)體先進(jìn)制程）量產(chǎn)的國(guó)產(chǎn)廠商，產(chǎn)品系列已交付拓荊科技、中微公司、北方華創(chuàng)、微導(dǎo)納米等國(guó)內(nèi)頭部半導(dǎo)體設(shè)備商，并配套中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等國(guó)內(nèi)晶圓廠。

其量產(chǎn)產(chǎn)品已達(dá)國(guó)際龍頭企業(yè)的次新一代同等技術(shù)水平，可支持7-14nm制程。

國(guó)產(chǎn)薄膜沉積設(shè)備龍頭拓荊科技不僅是恒運(yùn)昌的第一大客戶(hù)，也是其第七大股東，直接持股3.09%，同時(shí)拓荊科技全資子公司上海巖泉持股0.33%。

本次IPO，恒運(yùn)昌募資總額為15.61億元，募資凈額為14.14億元，擬用于沈陽(yáng)半導(dǎo)體射頻電源系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化建設(shè)等項(xiàng)目。

一、年收入超5億元，產(chǎn)品可支撐7-14nm先進(jìn)制程

恒運(yùn)昌主要從事等離子體射頻電源系統(tǒng)、等離子體激發(fā)裝置、等離子體直流電源、各種配件的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售及技術(shù)服務(wù)，并引進(jìn)真空獲得和流體控制等相關(guān)的核心零部件，圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案。

等離子體工藝廣泛應(yīng)用于薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗去膠、鍵合等芯片制造的重要環(huán)節(jié)，并隨著先進(jìn)封裝技術(shù)的發(fā)展應(yīng)用于更多工藝環(huán)節(jié)中。

恒運(yùn)昌聚焦于等離子體射頻電源系統(tǒng)的技術(shù)攻關(guān)，在2021年向中芯國(guó)際交付Bestda等離子體射頻電源，實(shí)現(xiàn)了國(guó)內(nèi)首顆刻蝕設(shè)備用射頻電源的原位替換。

其自主研發(fā)的第二代產(chǎn)品Bestda系列可支撐28nm制程，第三代產(chǎn)品Aspen系列可支撐7-14nm先進(jìn)制程，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白。

2022年、2023年、2024年、2025年1-6月，恒運(yùn)昌營(yíng)收分別為1.58億元、3.25億元、5.41億元、3.04億元，凈利潤(rùn)分別為0.26億元、0.80億元、1.42億元、0.69億元，研發(fā)費(fèi)用分別為0.22億元、0.37億元、0.55億元、0.43億元。

▲2022年~2025年1-6月恒運(yùn)昌營(yíng)收、凈利潤(rùn)、研發(fā)支出變化（芯東西制圖）

自研產(chǎn)品占恒運(yùn)昌整體收入的比例逐年增長(zhǎng)，2025年上半年達(dá)到84.81%。

報(bào)告期各期，恒運(yùn)昌三代等離子體射頻電源和匹配器銷(xiāo)售收入占比情況如下：

同期，該公司主營(yíng)業(yè)務(wù)毛利率為41.49%、45.86%、48.51%、49.01%，與MKS較為接近。

截至2025年6月末，恒運(yùn)昌在手訂單金額為1.07億元，較2024年末下滑22.13%。

二、已量產(chǎn)交付國(guó)內(nèi)頭部半導(dǎo)體設(shè)備商，24款自研產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)千萬(wàn)級(jí)收入

截至2025年6月30日，恒運(yùn)昌共有研發(fā)人員158名，占全部員工比例為42.13%。截至報(bào)告期末，該公司擁有已授權(quán)發(fā)明專(zhuān)利108項(xiàng)，在申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利133項(xiàng)。

其核心技術(shù)包括：1）從測(cè)量、控制、架構(gòu)三方面構(gòu)建的底層通用的3大基石技術(shù)；2）基于3項(xiàng)基石技術(shù)，結(jié)合半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用，特別是先進(jìn)制程中更快速、更精準(zhǔn)、更穩(wěn)定的應(yīng)用訴求和實(shí)現(xiàn)難點(diǎn)，發(fā)展出8大產(chǎn)品化支撐技術(shù)。

2022年、2023年、2024年、2025年1-6月，恒運(yùn)昌產(chǎn)能超負(fù)荷運(yùn)行，產(chǎn)能利用率分別達(dá)到121.34%、102.12%、111.24%、106.35%。

其產(chǎn)品已量產(chǎn)交付拓荊科技、中微公司、北方華創(chuàng)、微導(dǎo)納米、盛美上海等國(guó)內(nèi)頭部半導(dǎo)體設(shè)備商，并配套中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等國(guó)內(nèi)晶圓廠，成為薄膜沉積、刻蝕環(huán)節(jié)國(guó)內(nèi)頭部設(shè)備商的戰(zhàn)略級(jí)供應(yīng)商。

截至2025年6月30日，恒運(yùn)昌與上述客戶(hù)已實(shí)現(xiàn)百萬(wàn)級(jí)收入的自研產(chǎn)品共38款，實(shí)現(xiàn)千萬(wàn)級(jí)收入的自研產(chǎn)品共24款。

2022年、2023年、2024年、2025年1-6月，前五大客戶(hù)產(chǎn)生的收入占恒運(yùn)昌主營(yíng)業(yè)務(wù)收入的比例分別為73.54%、80.39%、90.62%、89.37%，其中向第一大客戶(hù)拓荊科技的銷(xiāo)售收入占比分別為45.23%、58.16%、63.13%、62.06%，客戶(hù)集中度較高。

報(bào)告期內(nèi)，該公司已穩(wěn)定批量供應(yīng)拓荊科技PECVD設(shè)備，是拓荊科技2024年度第一大等離子體射頻電源系統(tǒng)供應(yīng)商、前十大零部件供應(yīng)商。

恒運(yùn)昌在2024年對(duì)中微公司、北方華創(chuàng)、微導(dǎo)納米已實(shí)現(xiàn)收入4288.56萬(wàn)元、2813.65萬(wàn)元、2306.19萬(wàn)元，相比2023年分別翻7倍、25倍、3倍，同比大幅增長(zhǎng)。

除已定型并批量供應(yīng)的產(chǎn)品外，目前恒運(yùn)昌正在為中微公司、微導(dǎo)納米、北方華創(chuàng)、盛美上海的多種機(jī)型開(kāi)發(fā)多款等離子體射頻電源及匹配器，并且為中芯國(guó)際等晶圓廠開(kāi)發(fā)多款原位替換等離子體射頻電源及匹配器。

2025年1-6月，該公司進(jìn)一步拓展新客戶(hù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)屹唐股份、思銳智能、無(wú)錫邑文等細(xì)分領(lǐng)域頭部客戶(hù)的銷(xiāo)售收入突破。

2022年、2023年、2024年、2025年1-6月，恒運(yùn)昌前五名供應(yīng)商采購(gòu)金額占比分別為64.13%、60.18%、58.33%、60.01%。

三、拓荊科技是第七大股東，多位核心技術(shù)人員曾在AE任職

截至招股書(shū)簽署日，恒運(yùn)昌的法定代表人、實(shí)際控制人、董事長(zhǎng)、總經(jīng)理樂(lè)衛(wèi)平合計(jì)控制恒運(yùn)昌72.8727%的股份表決權(quán)。

其控股股東為恒運(yùn)昌投資，第七大股東是拓荊科技，拓荊科技全資子公司上海巖泉也持有恒運(yùn)昌0.33%的股份。

樂(lè)衛(wèi)平出生于1973年，曾任職于湖南省桃源縣郵電局電信設(shè)備廠、 AE（深圳）、AE（上海），是恒運(yùn)昌的核心技術(shù)人員之一。

其他多位核心技術(shù)人員均有AE任職背景，例如，研發(fā)總監(jiān)林偉群曾任AE（深圳）高級(jí)工程師、AE（上海）深圳分公司高級(jí)工程師，職工董事、軟件研發(fā)經(jīng)理姚志毅曾任AE（深圳）工程師、AE（上海）深圳分公司工程師。

恒運(yùn)昌現(xiàn)任董事俞日明是樂(lè)衛(wèi)平配偶的妹夫。

2024年，恒運(yùn)昌董事、監(jiān)事、高級(jí)管理人員與核心技術(shù)人員從該公司領(lǐng)取薪酬的情況如下：

結(jié)語(yǔ)：填補(bǔ)國(guó)產(chǎn)化空白，推動(dòng)核心零部件自給自足

當(dāng)前，國(guó)產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)與MKS、AE等國(guó)際企業(yè)仍有一定差距，產(chǎn)品尚未進(jìn)入國(guó)際半導(dǎo)體市場(chǎng)，主要用于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備商。

作為國(guó)內(nèi)極少數(shù)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)半導(dǎo)體級(jí)等離子體射頻電源系統(tǒng)的企業(yè)，恒運(yùn)昌填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)在高端半導(dǎo)體設(shè)備上應(yīng)用的空白，為半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件的國(guó)產(chǎn)化和自給自足、擺脫海外供應(yīng)鏈依賴(lài)做出重要貢獻(xiàn)。