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日媒直言:中國(guó)EUV光刻機(jī)卡殼無(wú)解,跟日本合作或是唯一機(jī)會(huì)

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在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)競(jìng)賽中,一件事不斷被提及——EUV(極紫外光)光刻機(jī)是芯片制造的皇冠上的明珠,也是中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)面臨的最大“卡脖子”問(wèn)題之一。

近期包括日本媒體在內(nèi)的多方報(bào)道指出,中國(guó)在EUV光刻機(jī)領(lǐng)域的研發(fā)進(jìn)展雖有突破,但距離真正商用級(jí)別仍有巨大差距。有觀(guān)點(diǎn)甚至暗示:在沒(méi)有外部合作的前提下,中國(guó)單獨(dú)攻克這一技術(shù)難題幾乎無(wú)解,而與日本的技術(shù)協(xié)作可能是實(shí)際、甚至是唯一的機(jī)會(huì)之一。

EUV光刻機(jī)是尖端芯片制造的核心設(shè)備,它利用波長(zhǎng)僅13.5納米的極紫外光在硅片上刻畫(huà)極其微小的電路圖案。沒(méi)有先進(jìn)的EUV設(shè)備,就無(wú)法穩(wěn)定量產(chǎn)7納米乃至更先進(jìn)制程芯片。全球目前最先進(jìn)的EUV設(shè)備完全被荷蘭ASML壟斷生產(chǎn),且集成了來(lái)自日本、德國(guó)等國(guó)家供應(yīng)商的高端部件與技術(shù)。

這一點(diǎn)并非媒體夸張:即便現(xiàn)有的DUV(深紫外光)光刻設(shè)備,也依賴(lài)日本、荷蘭和德國(guó)等成熟供應(yīng)鏈,中國(guó)相關(guān)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化程度仍然有限。

日本在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)擁有深厚技術(shù)積累:

日本企業(yè)在高端光刻膠等關(guān)鍵材料市場(chǎng)占主導(dǎo)地位,全球絕大多數(shù)高端EUV光刻膠供應(yīng)來(lái)自日本公司。

日本廠(chǎng)商如佳能、尼康在光刻機(jī)售后服務(wù)和備件方面曾長(zhǎng)期支持中國(guó)市場(chǎng),近期因出口管制與政策調(diào)整,對(duì)中國(guó)設(shè)備服務(wù)有所收緊。日本企業(yè)還擁有精密光學(xué)、關(guān)鍵檢測(cè)設(shè)備等細(xì)分領(lǐng)域的領(lǐng)先技術(shù),部分是構(gòu)成先進(jìn)光刻機(jī)不可或缺的基礎(chǔ)組件。

因此,日本并不是競(jìng)爭(zhēng)者完全,而是在多個(gè)細(xì)分產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)對(duì)中國(guó)形成技術(shù)制約 同時(shí)也是潛在的合作方。

從全球產(chǎn)業(yè)格局來(lái)看,光刻機(jī)不僅僅是一個(gè)設(shè)備,而是一個(gè)由數(shù)千個(gè)高精度部件、高度集成的系統(tǒng)工程,涉及光源、反射鏡、精密控制與材料等核心技術(shù)。這些技術(shù)迄今只有極少數(shù)幾家公司掌握,中國(guó)即便投入巨額資源與人才,也需要多年積累才能完全自主。

在這種現(xiàn)實(shí)下,與擁有部分關(guān)鍵組件和數(shù)十年產(chǎn)業(yè)積累的日本企業(yè)合作,可能比單打獨(dú)斗更實(shí)際、更有效率:日本在光刻膠、精密物鏡、測(cè)量設(shè)備等領(lǐng)域有強(qiáng)技術(shù)基礎(chǔ);日本半導(dǎo)體裝備企業(yè)可能通過(guò)合作模式為中國(guó)提供部分關(guān)鍵技術(shù)或共同研發(fā);相對(duì)西方國(guó)家更為務(wù)實(shí)的產(chǎn)業(yè)合作傳統(tǒng),可以成為突破技術(shù)封鎖的橋梁。

與日本合作不是唯一的選擇,但在現(xiàn)有格局下,確實(shí)是可行路徑之一。

中國(guó)在EUV光刻機(jī)研發(fā)上的努力值得肯定,但現(xiàn)實(shí)也不容回避:真正的EUV量產(chǎn)技術(shù)仍被少數(shù)國(guó)家和企業(yè)掌握;獨(dú)立突破需要長(zhǎng)時(shí)間積累、巨額投入和國(guó)際環(huán)境變化;與日本(乃至其他國(guó)家)在關(guān)鍵技術(shù)和供應(yīng)鏈上開(kāi)展務(wù)實(shí)合作,是現(xiàn)實(shí)路徑之一。

科技競(jìng)爭(zhēng)不是簡(jiǎn)單的“國(guó)產(chǎn)化旗幟越高越好”,而是在全球產(chǎn)業(yè)鏈中找到最有效突破點(diǎn)。與其盲目自夸,不如開(kāi)放務(wù)實(shí)、多方合作,這或許是中國(guó)在半導(dǎo)體核心領(lǐng)域真正走出困境的理性選擇。

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