做 CMP 的人，沒有一個是容易的。

別人看到的是「拋光」，你經(jīng)歷的是——
漿料飛濺、pad 老化、壓力飄、曲線抖、scratch 掉良率、老板催報表、線上小姐姐喊你快點、WAT 圖像陰魂不散。

別人以為 CMP 只是把 wafer “磨平”這么簡單，
只有我們自己知道：
CMP 拋平的不是 wafer，是脾氣、情緒和人生的棱角。

一、CMP 的世界，只有做過的人才懂

CMP 的難，不是某個參數(shù)玄學，
是它同時受太多因素的影響：

• pad 的硬度會變

• conditioner 會鈍

• slurry 會降解

• ring 會偏

• platen 會磨

• head 會松

• ICP、RR、NU、scratch… 每一個都能要你命

CMP 就是“全世界都在想辦法讓你難搞”，你得用理性把它拉回正軌。

也正因為此——CMP PE 是前段工藝線里，最接近黑魔法的人。

二、PE 的本質(zhì)不是調(diào)機，是“讓生產(chǎn)線相信你”

很多新人以為：PE 就是調(diào) recipe、跑試片、寫報告。
其實只說對了一半。

真正的 CMP PE，是這樣的：

• 你調(diào)的不是機臺，是整個流程的穩(wěn)定性；

• 你看的不是曲線，是 wafer 的命運；

• 你交付的不是報表，是別人敢放心量產(chǎn)的底氣。

在線上的小姐姐眼里，PE 是“出了問題要叫的人”；
在老板眼里，PE 是“穩(wěn)定生產(chǎn)的保險絲”；
在 yield/PIE 眼里，PE 是“CMP 這段能不能放心的關(guān)鍵角色”。

說難聽點：你就是 CMP 套件里最貴、也最不能壞掉的那顆零件。

三、每天忙得要死，其實是在對未來投資

做 CMP PE，最常見的感受就是：

• 今天查 scratch 查到懷疑人生

• 明天 RR 飄到你以為機臺在跟你開玩笑

• 后天 pad condition 又不穩(wěn)定

• 還要被問：“為什么你這批又偏了？”

你嘴上說“我也想知道為什么”，
但第二秒，你已經(jīng)又沖到機臺前、翻 log、問 OP、找 yield。

你心里明白：這些看似無窮無盡的 troubleshooting，其實是在幫你搭建屬于自己的“經(jīng)驗庫”。

有一天你會突然發(fā)現(xiàn)：

• 看一眼 wafer map，你就知道可能是哪個 head 的膜壓不均；

• 看一條 NU 的趨勢，你能猜到 pad 該換了；

• 看到 RR 抖，你能判斷是 slurry 還是 pressure tank 的鍋；

那一刻你會明白：CMP 是靠時間換經(jīng)驗的工作，每一次狼狽的救火，都是你未來升職加薪的資本。

四、PE 和機臺是戀愛關(guān)系：你越懂它，它越聽你話

CMP 機臺就是這樣一個“又傲嬌又脆弱”的家伙：

• 你忽視它一天，它用 scratch 教訓你；

• 你忘了 pad 壽命管理，它用 NU 飄給你看；

• 你 slurry 管不好，它用 RR 下滑回擊你；

• 你漏看 log，它在 WAT 上給你放煙花。

但只要你愿意：

• 多看幾次趨勢

• 多跑幾次試片

• 多跟EE、OP溝通

• 多問機臺今天有沒有“小情緒”

你會發(fā)現(xiàn)——機臺其實很聽懂你的人，說白了，它只是不喜歡被忽略。

五、PE 不是技術(shù)工種，是一種“堅韌的性格”

我見過很多 CMP PE，他們的共同特點不是聰明，而是——扛得住、熬得住、站得住。

• 良率掉的時候不慌

• 客戶抱怨的時候不慫

• 線上爆的時候不跑

• 夜里被叫醒也能馬上進入作戰(zhàn)狀態(tài)

說 CMP PE 辛苦的，一點都不夸張。

但我更愿意說：CMP PE 是 fab 里最像“守門人”的角色。

你不站好這一班崗，后面幾十道工序都可能跟著“跳崖”。

這不是情懷，這是事實。

六、給所有剛?cè)胄?CMP PE 的建議

最后，給新人幾句肺腑之言：

1. 不要怕問

CMP 的坑太多，你不問，就會掉進去。

2. 不要怕跑機臺

你對現(xiàn)場熟悉得越早，成長越快。

3. 不要怕數(shù)據(jù)

RR/NU/ICP/摩擦力/扭矩/溫度……
你盯得多了，它們真的會“給你語言”。

4. 不要怕被罵

被罵說明你負責的那段有人重視。
不被罵……那才危險。

5. 不要怕累

CMP 本來就是靠經(jīng)驗吃飯，
你現(xiàn)在累，是在給未來的自己打地基。

七、寫在結(jié)尾：CMP 人有一種特別的底色

CMP PE 的心聲，可以這樣概括：

“我知道我的工作沒人完全懂，但我清楚地知道它的重要�！�

“我解決的問題不一定有人感激，但穩(wěn)定背后都有我在撐著�！�

“我不只是拋光 wafer，我是在替整個產(chǎn)品線掃掉風險�！�

如果你正在這條路上累得夠嗆、被數(shù)據(jù)折磨得想摔鍵盤、被機臺搞到想辭職——
記�。�

CMP 讓你變強，不是一天、兩天，而是在每一次你不想堅持、卻還是堅持的時候。

如果有一天你終于成長成那個別人都愿意請教的 “CMP 大佬”，
你會回頭發(fā)現(xiàn)：

你走過的每一批 wafer 都在幫你鋪路。

CMP 不容易。
PE 不容易。
但堅持下來的人，都會閃閃發(fā)光。

——寫給所有在拋光間里揮汗的你。