散英魂寄千萬(wàn)雄鷹翱翔神州，

盡智魄載十億慧芯呼喚華夏。

01

前沿導(dǎo)讀

據(jù)上海微電子公司的負(fù)責(zé)人賀榮明先生，在先進(jìn)事跡的報(bào)告會(huì)中表示：

當(dāng)我提出我們中國(guó)人要做自己光刻機(jī)的時(shí)候，那種外國(guó)專家的眼神除了敬仰，多多少少帶有對(duì)我們科技人員的不屑和蔑視。甚至有一名歐洲的高級(jí)專家，非常嚴(yán)肅地拋給我一句話，中國(guó)人要做光刻機(jī)，就是給你們?nèi)讏D紙，你們也做不出來(lái)。

世界工業(yè)看歐洲，歐洲工業(yè)看德國(guó)。德國(guó)孕育了梅賽德斯奔馳、巴伐利亞發(fā)動(dòng)機(jī)制造廠以及奧迪這三大頂級(jí)的豪華汽車品牌，并且還同時(shí)擁有被譽(yù)為“上帝左手”和“上帝之眼”的西門子和蔡司。

連工業(yè)實(shí)力如此強(qiáng)大的德國(guó)都沒(méi)有制造出光刻機(jī)，中國(guó)企業(yè)到底哪來(lái)的勇氣去研發(fā)光刻機(jī)？

02

設(shè)備發(fā)展

賀榮明先生在談及我國(guó)光刻機(jī)業(yè)務(wù)時(shí)，用“不堪回首”四個(gè)字來(lái)概括曾經(jīng)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的技術(shù)研發(fā)時(shí)期。

2002年，上海微電子公司剛剛成立的時(shí)候，我們沒(méi)有充足的人才團(tuán)隊(duì)，沒(méi)有完善的技術(shù)積累，也沒(méi)有配套的產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈。

賀榮明先生帶領(lǐng)著自家的技術(shù)團(tuán)隊(duì)去找歐美國(guó)家商談合作，但是歐美企業(yè)對(duì)于中國(guó)人造光刻機(jī)這件事持懷疑態(tài)度，并且其認(rèn)為光刻機(jī)設(shè)備是高精度設(shè)備，產(chǎn)業(yè)技術(shù)一直被美國(guó)、荷蘭、日本這三個(gè)國(guó)家把控，中國(guó)想要在這三個(gè)國(guó)家的競(jìng)爭(zhēng)當(dāng)中成為第四股力量，無(wú)異于是說(shuō)笑話。

賀榮明先生在大會(huì)中表示，在受到歐美企業(yè)的冷眼之后，自己和團(tuán)隊(duì)的自尊心受到了極大損傷，同時(shí)整個(gè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)也非常不服氣。在回國(guó)之后的很長(zhǎng)一段時(shí)間內(nèi)，技術(shù)團(tuán)隊(duì)都是帶著一種賭氣的心思在發(fā)展產(chǎn)業(yè)技術(shù)，這也為后續(xù)中國(guó)光刻機(jī)的成功點(diǎn)燃了火種。

2007年，上海微電子公司成功將光刻機(jī)的第一束光源曝光了出來(lái)。

2009年，首臺(tái)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的樣機(jī)制造完成，實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)設(shè)備的制造大躍遷。

上海微電子公司開(kāi)發(fā)的第一款國(guó)產(chǎn)曝光機(jī)是SSB200系列，其主要應(yīng)用于AMOLED和LCD顯示屏的制造。隨后又開(kāi)發(fā)出了SSB300系列的步進(jìn)式光刻機(jī)設(shè)備，應(yīng)用于2-6英寸基底的光刻領(lǐng)域，可以滿足Mini LED、MEMS傳感器等產(chǎn)品的制造。

真正讓國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)打出名氣的產(chǎn)品，是第三代的SSB500系列光刻機(jī)。

該系列產(chǎn)品應(yīng)用于先進(jìn)的芯片封裝領(lǐng)域，可滿足于Flip Chip、Fan-In、Fan-Out WLP/PLP、2.5D、3D等多種封裝形式。

賀榮明先生也在大會(huì)上面，重點(diǎn)強(qiáng)調(diào)了在先進(jìn)封裝領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)。

賀先生表示：

當(dāng)我們?cè)谙冗M(jìn)封裝領(lǐng)域，設(shè)計(jì)了第一臺(tái)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)，戰(zhàn)勝競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手，并且被IC行業(yè)的臺(tái)灣客戶所接受的時(shí)候，臺(tái)灣客戶滿懷真誠(chéng)的對(duì)我說(shuō)：‘真沒(méi)想到我們中國(guó)人也能做出光刻機(jī)，我作為中國(guó)人感到很自豪！’

03

自主技術(shù)

根據(jù)中國(guó)青年網(wǎng)轉(zhuǎn)載《解放日?qǐng)?bào)》的專訪內(nèi)容表示：

賀榮明先生在接受記者采訪時(shí)，直言不諱的說(shuō)到：“歷史賦予了我們這批人研發(fā)中國(guó)光刻機(jī)的任務(wù)，我們也就不該再想別的了。有段時(shí)間，我看著工程師辭職去金融企業(yè)，心里面真是著急，我們國(guó)家怎么能離開(kāi)高端制造業(yè)？”

如今的上海微電子公司，員工多達(dá)上千人，超40%的員工具有碩士及以上學(xué)歷，其平均年齡只有34歲。其中既有一批國(guó)際視野的工程師團(tuán)隊(duì)，也有一批技能嫻熟的工匠團(tuán)隊(duì)。

賀榮明先生對(duì)此表示稱，我們有責(zé)任讓年輕一代超越我們，接替我們繼續(xù)為國(guó)家的高端制造業(yè)拼搏前進(jìn)。

參考資料： 十幾年就做一件事:"智"造中國(guó)自己的光刻機(jī)_中國(guó)青年網(wǎng) http://news.youth.cn/jsxw/201706/t20170628_10183028.htm

根據(jù)北京電子學(xué)會(huì)發(fā)布的專欄報(bào)告指出：

光刻機(jī)算得上是人類在工業(yè)設(shè)備領(lǐng)域的集大成者，其制造難度高、所需供應(yīng)鏈體系龐大，只有少數(shù)幾家公司能夠掌握制造技術(shù)。

DUV浸潤(rùn)式光刻機(jī)的售價(jià)大約是7000萬(wàn)美元，EUV的售價(jià)是DUV的兩倍，上升到了1.5億美元。而最新的High-NA EUV光刻機(jī)，其售價(jià)又是上一代EUV光刻機(jī)的兩倍，超過(guò)了3.4億美元。

參考資料： 公眾號(hào)：北京電子學(xué)會(huì)

國(guó)際層面不斷推出新產(chǎn)品來(lái)延續(xù)摩爾定律，而中國(guó)的浸潤(rùn)式DUV和EUV光刻機(jī)還未正式對(duì)外公布，現(xiàn)階段的光刻機(jī)依然還是制約中國(guó)芯片發(fā)展的核心難題。

ASML能成為光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)的最大贏家，其核心原因有兩點(diǎn)。

一是ASML處于中立位置，服務(wù)于全球客戶，可以獲得包括美國(guó)在內(nèi)的全球科技力量。二是ASML吸納了全球各行各業(yè)的頂尖人才，ASML的研發(fā)人員數(shù)量占總員工數(shù)的40%左右，并且許多技術(shù)都會(huì)外包給其他合作商，既深化了產(chǎn)業(yè)合作，又提升了研發(fā)效率。

中國(guó)企業(yè)在被美國(guó)封鎖產(chǎn)業(yè)鏈的情況下，依然開(kāi)發(fā)出來(lái)了最新一代的干式光刻機(jī)，將設(shè)備分辨率提升到了65nm，推動(dòng)中國(guó)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)再次實(shí)現(xiàn)技術(shù)躍遷。

其開(kāi)發(fā)自主光刻機(jī)的核心動(dòng)力，就是來(lái)自于海外國(guó)家的科技?jí)褐啤Ｏ胍槐黄圬?fù)打壓，唯一的途徑就是掌握自主可控的科技實(shí)力。

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