和大家說一個(gè)冷門的知識。全球半導(dǎo)體工廠里，有一種零件，中國的國產(chǎn)化率到現(xiàn)在都不到1%。

不是芯片，不是光刻機(jī)，不是 EDA 軟件。是一顆閥門。

半導(dǎo)體國產(chǎn)化這個(gè)風(fēng)口起來這五年，芯片、光刻機(jī)、刻蝕機(jī)這些大件的故事講了一輪又一輪。很少有人提一個(gè)不起眼的東西:真空閥。

你想象一下芯片是怎么造出來的�？涛g、薄膜沉積、離子注入，這些核心工藝全都在真空腔里完成。腔室跟腔室之間要靠閥門隔開，晶圓從一個(gè)腔傳到另一個(gè)腔要靠閥門開關(guān)，工藝氣體的流量也要靠閥門控制。

一臺刻蝕機(jī)的物料成本里，真空系統(tǒng)能占到一成到三成。聽著不多，可一臺高端刻蝕機(jī)本身就值幾千萬，這個(gè)占比對應(yīng)的絕對金額不是小數(shù)。

這種閥門的全球市場，有一家公司吃掉了七成以上。

瑞士 VAT。

VAT 1965年在瑞士東部一個(gè)叫 Haag 的小鎮(zhèn)成立，創(chuàng)始人叫 Siegfried Schertler。一開始做科研用的真空閥，1988年切進(jìn)半導(dǎo)體行業(yè)，然后一路吃到現(xiàn)在。

到2025年，VAT 全球營收折合人民幣差不多88億。全球半導(dǎo)體真空閥市場，VAT 一家的份額超過七成。剩下不到三成，被美國 MKS Instruments、日本 Ulvac 這幾家分掉。

七成。一個(gè)瑞士小鎮(zhèn)上的公司，卡住了全世界幾乎所有晶圓廠的脖子。

ASML、應(yīng)用材料(Applied Materials)、泛林集團(tuán)(Lam Research)，這三家全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備廠，都是 VAT 的客戶。設(shè)備廠把 VAT 的閥門裝進(jìn)自己的刻蝕機(jī)、沉積設(shè)備里，再賣給臺積電、三星、英特爾這些晶圓廠。

中國的半導(dǎo)體設(shè)備廠也一樣。中微公司做刻蝕機(jī)，北方華創(chuàng)做薄膜設(shè)備，里頭的真空閥，過去大頭也是買 VAT 的。不買不行，沒有替代品能過客戶認(rèn)證。

一顆高端真空閥到底多少錢?公開數(shù)據(jù)里找不到單顆報(bào)價(jià)�？蓮� VAT 的財(cái)報(bào)能算出一個(gè)側(cè)面數(shù)據(jù):全球3200名員工，年?duì)I收88億人民幣，人均產(chǎn)值接近280萬。這個(gè)人效水平，在精密制造行業(yè)屬于頂級。你做個(gè)對比就知道了，國內(nèi)很多制造企業(yè)人均產(chǎn)值五六十萬已經(jīng)算不錯(cuò)了。

為什么這東西這么難做?

半導(dǎo)體制造的真空腔，不是你家抽真空保鮮袋那種真空。芯片工藝要求的真空度極高，比月球表面的真空還要好一萬倍。在這種極端環(huán)境里，每一顆閥門都是關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)。

閥門一旦漏氣，哪怕是極其微量的泄漏，腔室里的工藝氣體被污染，整批晶圓報(bào)廢。先進(jìn)制程的一片12寸晶圓，光片成本就幾千美元，一個(gè)腔室一批跑幾十片。閥門漏一次，幾十萬美元打水漂。

你想想，晶圓廠的采購經(jīng)理面對這種風(fēng)險(xiǎn)，他敢換一個(gè)沒有經(jīng)過充分驗(yàn)證的國產(chǎn)閥門嗎?換了出事，產(chǎn)線停一天的損失可能就幾百萬。不換，最多是多花點(diǎn)錢買 VAT 的。這筆賬誰都會算。

所以半導(dǎo)體真空閥的核心指標(biāo)是漏率，就是單位時(shí)間里允許泄漏的氣體量。高端閥門的漏率要做到10的負(fù)9次方毫巴升每秒甚至更低。簡單說，一年漏進(jìn)去的氣體，連一個(gè)氣泡都湊不出來。

材料是第一關(guān)。閥體要用高純度不銹鋼鍛件，內(nèi)壁要做到鏡面級別的電解拋光。為什么?粗糙度高的表面會吸附氣體分子，一加熱就釋放出來，破壞真空環(huán)境。這個(gè)拋光工藝，精度差一點(diǎn)都不行。

密封是第二關(guān)。半導(dǎo)體工藝?yán)镉玫酱罅扛g性氣體，氟基的、氯基的，閥門的密封件要在這些氣體里長期工作不變形不降解。VAT 在金屬密封和特種彈性體密封上積累了幾十年的配方和工藝。

圈里有句話:VAT 的密封配方，外頭的人連材料成分都摸不全。你拆開一顆 VAT 的閥門，能看到結(jié)構(gòu)，但密封圈用的是什么配比的氟橡膠，金屬波紋管的熱處理參數(shù)是多少，這些你都不知道。

這些東西不在任何公開專利里，全在工廠的工藝手冊里。那本手冊六十年沒出過 Haag 鎮(zhèn)。

清潔度是第三關(guān)。半導(dǎo)體車間是 ISO Class 1級別的潔凈環(huán)境，閥門進(jìn)車間之前要做超聲波清洗、等離子清洗、真空烘烤，一整套下來才能用。這套清洗工藝本身就是技術(shù)壁壘。

三關(guān)疊在一起，構(gòu)成了一道幾十年沒人翻過去的墻。

VAT 2016年在瑞士證券交易所上市，發(fā)行價(jià)45瑞郎。到2026年初，股價(jià)在570到590瑞郎之間晃，翻了十二倍多。這十年剛好趕上全球半導(dǎo)體產(chǎn)能擴(kuò)張，AI 芯片、先進(jìn)存儲、先進(jìn)制程，每一輪擴(kuò)產(chǎn)都意味著更多的設(shè)備，更多的腔室，更多的閥門。

VAT 掙的就是這個(gè)錢。護(hù)城河深到什么程度?設(shè)備廠一旦把 VAT 的閥門設(shè)計(jì)進(jìn)自己的平臺，換供應(yīng)商的成本極高。要重新做工藝驗(yàn)證、可靠性測試、客戶認(rèn)證，整個(gè)流程走下來一到三年。

沒有晶圓廠愿意拿自己的產(chǎn)線冒這個(gè)險(xiǎn)。你換一顆閥門省了幾千塊錢，結(jié)果一個(gè)月后產(chǎn)線出了顆粒污染，停線排查要多久?損失多少?誰來負(fù)責(zé)?這個(gè)帳算不過來。

所以 VAT 的市占率這兩年不降反升。在一個(gè)所有人都在喊國產(chǎn)替代的時(shí)代，這個(gè)趨勢挺刺眼的。

中國這邊有沒有人在做?有。但局面很早期。

目前國內(nèi)做半導(dǎo)體真空閥最有代表性的是一家叫新萊應(yīng)材的公司，股票代碼300260，總部在江蘇昆山。新萊應(yīng)材有個(gè)自主品牌叫 AdvanTorr，做傳輸閥、閘閥、角閥這些品種。

新萊應(yīng)材2025年全年?duì)I收大約30億。聽起來不小，可它的業(yè)務(wù)不只是真空閥，還包括高純氣體系統(tǒng)、潔凈管道、生物醫(yī)藥設(shè)備。真空閥在總營收里占多大比例，年報(bào)里沒有單獨(dú)拆出來，業(yè)內(nèi)估計(jì)占比不算高。

跟 VAT 的88億人民幣營收比，新萊應(yīng)材整個(gè)公司的體量也只有它的三分之一。而 VAT 幾乎全部營收來自真空閥和相關(guān)零部件，專注度不是一個(gè)級別的。

新萊應(yīng)材的客戶名單倒是拿得出手。應(yīng)用材料、泛林集團(tuán)、北方華創(chuàng)、中微公司、至純科技這些設(shè)備廠都跟它有合作。下游的中芯國際、長江存儲也在用它的產(chǎn)品。這說明國產(chǎn)真空閥已經(jīng)進(jìn)了門，在某些場景下能用了。

問題在于，能用跟好用不是一回事。

了解這個(gè)行業(yè)的人有一個(gè)共識:國產(chǎn)真空閥在成熟制程上已經(jīng)能替代一部分了。28納米以上的工藝，對閥門的要求相對沒那么極端，國產(chǎn)貨能頂上。

可一到14納米以下的先進(jìn)制程，特別是 EUV 工藝相關(guān)的場景，差距就出來了。這個(gè)差距不是一星半點(diǎn)的事，是整個(gè)體系性的差距。

先進(jìn)制程對閥門的漏率、響應(yīng)速度、使用壽命、批次一致性，每一項(xiàng)要求都比成熟制程高一到兩個(gè)數(shù)量級。一顆閥門在腐蝕性氣體里連續(xù)開關(guān)幾十萬次不出問題，這個(gè)可靠性數(shù)據(jù)需要長周期驗(yàn)證。

國產(chǎn)產(chǎn)品跑的驗(yàn)證時(shí)間還不夠長，積累的數(shù)據(jù)還不夠多。晶圓廠不敢貿(mào)然在先進(jìn)產(chǎn)線上大面積替換，這是人之常情。

還有一個(gè)容易被忽視的事。半導(dǎo)體零部件的認(rèn)證體系，本身就是一道壁壘。一顆新閥門要進(jìn)到應(yīng)用材料或者泛林的設(shè)備平臺上，認(rèn)證流程可能長達(dá)兩三年。

幾百項(xiàng)測試，材料兼容性、熱循環(huán)穩(wěn)定性、粒子釋放量、壽命加速試驗(yàn)，哪一項(xiàng)不過都得從頭來。這跟手機(jī)行業(yè)不一樣，手機(jī)料號三個(gè)月能出，半導(dǎo)體零部件的認(rèn)證周期是以年計(jì)的。

對于年?duì)I收30億的新萊應(yīng)材來說，每一條認(rèn)證線都是真金白銀的投入，研發(fā)人員、測試設(shè)備、樣品損耗，這些成本是實(shí)打?qū)嵉�。大公司有資源慢慢磨，小公司可能磨到一半就撐不住了。

國內(nèi)還有幾家在做這個(gè)方向。晶盛機(jī)電在搭自己的精密零部件體系，正帆科技在做電子工藝設(shè)備的氣體系統(tǒng)和配套閥組件�？蛇@些公司跟新萊應(yīng)材一樣，真空閥業(yè)務(wù)占總營收的比例都不高，不是主力賽道。

放在更大的視角下看，中國半導(dǎo)體設(shè)備零部件的整體國產(chǎn)化率仍然很低。據(jù)業(yè)內(nèi)的說法，某些關(guān)鍵細(xì)分品類的國產(chǎn)化率不到1%。真空閥就是其中之一。

2023年上海發(fā)布了一份《半導(dǎo)體真空閥門技術(shù)要求規(guī)范》，這是國內(nèi)頭一回在這個(gè)品類上出行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。有標(biāo)準(zhǔn)是好事，說明有人開始正式做這件事了。沒標(biāo)準(zhǔn)的時(shí)候，各家悶頭做，規(guī)格不統(tǒng)一，下游不敢用。

得潑冷水了。

這個(gè)賽道跟芯片設(shè)計(jì)不一樣。芯片設(shè)計(jì)可以靠人才密集投入在幾年內(nèi)追上來，真空閥是精密制造，靠的是材料配方、工藝積累、長周期驗(yàn)證數(shù)據(jù)，這些東西急不來。

VAT 做了六十年。它的材料供應(yīng)商、加工工藝、密封配方、測試標(biāo)準(zhǔn)，是在幾十年的量產(chǎn)中一點(diǎn)一點(diǎn)磨出來的。中國企業(yè)從零開始追，就算路線走對了，要積累出跟 VAT 同等水平的可靠性數(shù)據(jù)，至少還需要十年級別的時(shí)間。

更現(xiàn)實(shí)的問題是，先進(jìn)制程的閥門驗(yàn)證需要先進(jìn)制程的產(chǎn)線來做。中國目前受到出口管制的限制，EUV 光刻機(jī)買不到，最先進(jìn)的工藝節(jié)點(diǎn)跑不起來，驗(yàn)證場景天然缺失。做出來的閥門樣品，找不到合適的產(chǎn)線去跑完整的驗(yàn)證周期。

這是一個(gè)雞生蛋蛋生雞的困局。

樂觀的地方也有。中微公司的刻蝕設(shè)備累計(jì)出貨了超過5000臺反應(yīng)腔，北方華創(chuàng)的薄膜設(shè)備出貨量也在漲。國產(chǎn)設(shè)備廠的體量大了，對零部件的需求就大了，國產(chǎn)閥門就有了更多的實(shí)戰(zhàn)機(jī)會。

在成熟制程這一端，國產(chǎn)替代的空間是實(shí)打?qū)嵉�。中芯國際、華虹半導(dǎo)體、長江存儲這些晶圓廠，成熟節(jié)點(diǎn)的產(chǎn)線在持續(xù)擴(kuò)產(chǎn)。這些產(chǎn)線對真空閥的需求量巨大，而且對國產(chǎn)供應(yīng)鏈的接受度在提高。

這里面有一個(gè)細(xì)節(jié)值得注意。國產(chǎn)設(shè)備廠出貨量越大，裝機(jī)量越多，國產(chǎn)閥門就有更多的實(shí)戰(zhàn)場景去跑數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)跑夠了，可靠性才能被證明。這是一個(gè)正循環(huán)，只是轉(zhuǎn)起來慢。

新萊應(yīng)材的 AdvanTorr 品牌能不能從成熟制程開始，一點(diǎn)一點(diǎn)往先進(jìn)制程滲透，這是接下來幾年要看的事。

半導(dǎo)體零部件這個(gè)賽道，不像整機(jī)那么顯眼，可它是整條產(chǎn)業(yè)鏈的毛細(xì)血管。一臺刻蝕機(jī)里，閥門、泵、管路、法蘭、腔體，幾百種零部件拼在一起才能運(yùn)轉(zhuǎn)。每一種零部件背后都有一家或幾家隱形冠軍。

VAT 就是真空閥這個(gè)品類里的隱形冠軍。一個(gè)瑞士小鎮(zhèn)上三千多人的公司，年?duì)I收88億人民幣，毛利率據(jù)公開財(cái)報(bào)常年超過六成。這種活法，靠的不是規(guī)模，是技術(shù)壁壘。你在中國很難找到毛利率這么高的制造企業(yè)，除非是茅臺。

國內(nèi)做半導(dǎo)體零部件的工程師，在昆山、在上海張江、在無錫、在南通，分散在十幾個(gè)城市。一個(gè)資深的真空工藝工程師，年薪三四十萬，比互聯(lián)網(wǎng)行業(yè)低不少�？蛇@行的好處是穩(wěn)，半導(dǎo)體設(shè)備零部件不受消費(fèi)市場波動(dòng)影響，只要芯片廠還在擴(kuò)產(chǎn)，閥門就有人要。

這個(gè)賽道的窗口期不會一直開著。VAT 不傻，它已經(jīng)在中國設(shè)了生產(chǎn)基地，用本地化策略來鞏固市場份額。國產(chǎn)企業(yè)要想在這個(gè)窗口里站住腳，接下來三五年是關(guān)鍵。

加油！

我是馬力，正在講好中國產(chǎn)業(yè)崛起的故事，幫助更多普通人了解中國的各個(gè)產(chǎn)業(yè)集群，找到屬于自己的機(jī)會。歡迎關(guān)注我。