深圳商報·讀創(chuàng)客戶端記者 李薇

近日，擬在創(chuàng)業(yè)板上市的成都超純應(yīng)用材料股份有限公司（以下簡稱“超純股份”或“發(fā)行人”）披露了針對第二輪審核問詢函的回復。公司聚焦半導體設(shè)備特殊涂層零部件的研發(fā)與量產(chǎn)，報告期內(nèi)業(yè)務(wù)規(guī)模快速擴張，但其來自5nm及以下先進制程的產(chǎn)品收入增速低于整體收入增速，引發(fā)監(jiān)管關(guān)注。

特殊涂層已規(guī)模應(yīng)用于成熟制程

深交所在問詢函中要求發(fā)行人分析特殊涂層零部件產(chǎn)品能否應(yīng)用于成熟制程領(lǐng)域及優(yōu)劣勢，發(fā)行人產(chǎn)品是否已量產(chǎn)應(yīng)用于成熟制程，如否，請說明具體原因，是否計劃向成熟制程領(lǐng)域拓展，在拓展過程中面臨的主要挑戰(zhàn)。

超純股份在回復中明確指出，特殊涂層零部件不僅適用于先進制程，在成熟制程領(lǐng)域也已實現(xiàn)規(guī)?；瘧?yīng)用。相較于普通涂層零部件，特殊涂層具有超低顆粒污染、耐等離子刻蝕、抗高低溫沖擊等性能優(yōu)勢。盡管初始成本較高，但其能顯著提升晶圓良率，避免因顆粒污染導致的巨大經(jīng)濟損失。

公司測算，對于月產(chǎn)5萬片的12寸晶圓制造廠，每提升一個百分點的良率，每年可帶來數(shù)千萬美元的經(jīng)濟效益。因此，特殊涂層零部件在成熟制程中具備明確的性能與經(jīng)濟效益優(yōu)勢。報告期內(nèi)，公司來自成熟制程的收入占比始終超過74%，2025年達到35,158.02萬元，占比74.30%。

經(jīng)核查，保薦人華泰聯(lián)合認為：特殊涂層零部件在成熟制程領(lǐng)域已經(jīng)開展運用。相較于普通涂層零部件，特殊涂層零部件能夠減少成熟制程量產(chǎn)中的成本痛點，即顆粒污染和微量元素污染引發(fā)的良率下降問題，具有性能優(yōu)勢和經(jīng)濟效益優(yōu)勢。發(fā)行人半導體設(shè)備特殊涂層零部件產(chǎn)品已經(jīng)大規(guī)模運用于成熟制程領(lǐng)域。

5nm以下制程收入增長放緩，受制于國內(nèi)晶圓制造能力

深交所還要求發(fā)行人進一步分析來自5nm及以下先進制程的產(chǎn)品收入呈現(xiàn)下降趨勢的原因，發(fā)行人產(chǎn)品市場需求是否存在較大波動性。

盡管超純股份已實現(xiàn)5nm及以下制程刻蝕設(shè)備關(guān)鍵零部件的量產(chǎn)供應(yīng)，但該部分收入增速低于公司整體水平。2025年，公司5nm及以下制程產(chǎn)品收入為4,893.89萬元，占比10.34%，而2024年和2023年占比分別為19.27%和19.63%。

公司解釋稱，主要原因在于國內(nèi)晶圓制造的量產(chǎn)能力仍集中在7nm及以上制程，5nm及以下制程缺乏規(guī)?；a(chǎn)線支撐。目前，除客戶B外，國內(nèi)尚無其他刻蝕設(shè)備廠商具備5nm及以下制程設(shè)備的量產(chǎn)能力，限制了上游零部件的需求放量。公司強調(diào)，這并非自身技術(shù)問題，而是下游產(chǎn)業(yè)階段性發(fā)展的結(jié)果。

經(jīng)核查，保薦人認為：發(fā)行人5nm及以下先進制程相關(guān)產(chǎn)品收入保持持續(xù)增長態(tài)勢，但其增長速度低于發(fā)行人半導體領(lǐng)域整體收入增速，國內(nèi)先進制程發(fā)展難點在于國內(nèi)起步晚，先進制程設(shè)備廠商少，并且晶圓制造廠商擴產(chǎn)需求集中在7nm以上的設(shè)備等因素。鑒于成熟制程與先進制程雙線并舉格局、下游應(yīng)用、國內(nèi)產(chǎn)業(yè)政策、國產(chǎn)化替代進程的持續(xù)創(chuàng)新等因素，發(fā)行人產(chǎn)品需求不存在較大波動。

技術(shù)壁壘與市場份額：國產(chǎn)替代主賽道上的“隱形冠軍”

深交所要求發(fā)行人說明在產(chǎn)品工藝制程、使用壽命、工藝穩(wěn)定性方面相較于國際競爭對手存在差距的情況、對業(yè)務(wù)拓展的具體影響。

超純股份在回復中詳細闡述了其技術(shù)優(yōu)勢。公司掌握物理氣相沉積、高致密等離子噴涂等特殊涂層工藝，其中國內(nèi)其他半導體零部件廠商尚未掌握穩(wěn)定量產(chǎn)的PVD工藝。根據(jù)弗若斯特沙利文數(shù)據(jù)，2024年在中國半導體設(shè)備特殊涂層零部件本土企業(yè)中，超純股份市場份額排名第一，占比為5.7%。

公司未掌握普通涂層工藝，主要系戰(zhàn)略聚焦高壁壘、低國產(chǎn)化率的特殊涂層賽道。目前，普通涂層國產(chǎn)化率已超50%，而特殊涂層國產(chǎn)化率不足10%，是真正的“卡脖子”環(huán)節(jié)。公司表示，未掌握普通涂層工藝不會影響技術(shù)體系完備性，亦不會導致客戶流失。

研發(fā)投入低于可比公司，公司解釋為工藝密集型特性

深交所要求發(fā)行人補充分析報告期內(nèi)研發(fā)投入規(guī)模相較可比公司偏小的原因、合理性，發(fā)行人如何保持技術(shù)競爭優(yōu)勢。

報告期內(nèi)，超純股份研發(fā)投入規(guī)模低于珂瑪科技、先鋒精科等可比公司。公司解釋稱，其研發(fā)活動屬于工藝密集型，依賴長期試錯和數(shù)據(jù)積累，基底材料可重復使用，材料損耗較低。而同行業(yè)可比公司多涉及基底材料的結(jié)構(gòu)設(shè)計與機械加工，研發(fā)過程具有破壞性，材料消耗較大。

公司早在2011年即與客戶B開展合作，累計上機測試數(shù)萬次，形成了深厚的技術(shù)沉淀。此外，公司早期的特種材料與精密光學業(yè)務(wù)也為半導體涂層業(yè)務(wù)奠定了技術(shù)基礎(chǔ)。

毛利率維持高位，定價權(quán)源于技術(shù)稀缺與產(chǎn)業(yè)協(xié)同

深交所指出，報告期內(nèi)，發(fā)行人產(chǎn)品毛利率較為穩(wěn)定，高于同行業(yè)可比公司平均水平，但未充分解釋發(fā)行人維持高毛利率的原因。

據(jù)查，報告期內(nèi)，超純股份半導體設(shè)備特殊涂層零部件毛利率分別為58.75%、57.96%和59.35%，高于同行業(yè)平均水平。公司表示，高毛利率主要得益于：一是半導體零部件“質(zhì)量優(yōu)先”特性使客戶對價格敏感度較低；二是公司掌握稀缺的特殊涂層工藝，具備較強定價權(quán)；三是公司與下游頭部設(shè)備廠商及晶圓廠形成深度協(xié)同，競爭地位穩(wěn)固。

與富創(chuàng)精密、先鋒精科相比，超純股份的技術(shù)附加值更高；與珂瑪科技、臻寶科技相比，各方均在各自細分領(lǐng)域具備高壁壘與領(lǐng)先地位，毛利率水平相近。

客戶以簽收代替驗收，為行業(yè)慣例

深交所指出，發(fā)行人銷售半導體設(shè)備特殊涂層零部件產(chǎn)品存在簽收或驗收兩種確認方式，但報告期內(nèi)存在收入確認方式與合同約定情況不一致的情形。需要發(fā)行人披露是否存在發(fā)行人確認收入后，客戶后續(xù)要求退換貨或維修的情形，分析前述情形對收入確認時點、金額準確性的影響，是否符合《企業(yè)會計準則》相關(guān)規(guī)定。

針對收入確認方式，超純股份披露，部分客戶合同約定“驗收”，但實際執(zhí)行中以“簽收”確認收入，主要涉及客戶A、魯汶儀器等。公司及中介機構(gòu)認為，該做法符合半導體零部件行業(yè)慣例，與珂瑪科技、先鋒精科等可比公司一致。報告期內(nèi)相關(guān)退換貨金額占比極低，未對收入確認時點及金額準確性造成重大影響。

經(jīng)核查，保薦人、申報會計師認為：公司存在協(xié)議約定驗收、實際按簽收確認收入的情形，主要涉及客戶A、魯汶儀器，該處理方式與同行業(yè)可比公司一致，符合行業(yè)慣例；報告期相關(guān)退換貨金額占比較低，不影響收入確認時點及金額準確性，會計處理符合《企業(yè)會計準則》規(guī)定。