前沿導讀

由中芯國際聯(lián)合創(chuàng)始人王陽元、長江存儲董事長&第八屆中國半導體協(xié)會理事長陳南翔等人聯(lián)合撰寫的《構(gòu)建自主可控集成電路產(chǎn)業(yè)體系》報告已經(jīng)發(fā)布在我國的《科技導報》上面。

這些處于中國半導體產(chǎn)業(yè)一線的從業(yè)者們在報告當中提議，建議國內(nèi)組建一個類似于ASML的公司，集成所有技術(shù)去攻克EUV光刻機，然后組建多個大型半導體集團，在EDA工具、制造設(shè)備、配套材料上面與外國企業(yè)進行競爭。

參考資料： 構(gòu)建自主可控的集成電路產(chǎn)業(yè)體系

美國科技媒體Tom's HardWare對此分析稱，中國半導體產(chǎn)業(yè)的這次建議很大膽，思路清晰，但其中還有許多碎片化的問題需要解決。

碎片化問題

首先就是設(shè)備問題，美媒認為，即便中國企業(yè)開發(fā)出了國產(chǎn)先進光刻機，那么也需要多年時間進行優(yōu)化，提升其整體的經(jīng)濟性和可持續(xù)性。只有當原型機的制造效率足夠高，才能進入下一步的規(guī)模化量產(chǎn)。

其次就是制造數(shù)據(jù)，ASML能成功，很大程度上歸功于制造商常年累計的海量制造數(shù)據(jù)，這些數(shù)據(jù)可以幫助企業(yè)更好的優(yōu)化產(chǎn)品并開發(fā)新設(shè)備，這需要常年的技術(shù)積累，也是中國半導體產(chǎn)業(yè)需要重點克服的問題。

ASML的初代EUV原型機在2006年交付給了比利時微電子中心進行測試，但是由于該設(shè)備的激光性能很弱，根本沒辦法制造芯片。后來美國西盟公司開發(fā)出了更高性能的激光，于是ASML就在2010年采用西盟公司的技術(shù)，制造了第二臺EUV原型機TWINSCAN NXE:3100。

2019年，ASML的EUV光刻機實現(xiàn)量產(chǎn)，開始交付給臺積電進行商業(yè)化使用。

從2006年至2019年，ASML一直在解決光刻機的制造效率以及量產(chǎn)問題。解決這個問題只靠ASML一家公司是完成不了的，必須要聯(lián)合供應鏈以及制造工廠，依照彼此之間的技術(shù)數(shù)據(jù)進行優(yōu)化。

ASML高級技術(shù)副總裁喬斯·本肖普在官方資料中表示，當時我們已經(jīng)掌握設(shè)備的原理，但是我們卻難以實現(xiàn)客戶所需的生產(chǎn)效率。要記住，客戶的研發(fā)階段需要時間，這很重要。在EUV推出之后，芯片制造商需要一到兩個節(jié)點才能使這項技術(shù)走向成熟，只有成熟掌握其使用方法，才能基于該設(shè)備量產(chǎn)商用產(chǎn)品。

深入合作

在根據(jù)制造數(shù)據(jù)來優(yōu)化產(chǎn)品之前，首先要完成的工作就是把國產(chǎn)設(shè)備用起來。

我國中科院的陳國良院士，此前在接受采訪時表示：我提出了一個口號，國產(chǎn)機不怕不好用，就怕你不用，只有用了才知道好不好用。你說哪里不行，你提出來，我改。你要是不用，那就因噎廢食了，它永遠不好用。

參考資料： 「鏈接」 https://v.douyin.com/NCbaoeE7b6Y/ kpD:/ 11/04 N@w.SL

陳院士對于國產(chǎn)設(shè)備的認知是非常具有前瞻性眼光的，并且陳院士認為，推動國產(chǎn)設(shè)備發(fā)展的前提是你得先用起來，不能看到國外的產(chǎn)品技術(shù)成熟度高，就一直拿錢買國外的設(shè)備用，從而忽視國產(chǎn)設(shè)備的發(fā)展。

在能獲得國外設(shè)備的前提下，采購國外設(shè)備用是一種合作共贏的模式。但現(xiàn)在國外的許多設(shè)備不賣給你了，你應該怎么辦？許多國產(chǎn)設(shè)備雖然不如國外的技術(shù)先進，但是能在關(guān)鍵時期拿出來用。

2025年，有記者再次就國產(chǎn)設(shè)備問題采訪陳國良院士，咨詢陳院士如今的觀點。

陳院士依然肯定了自己當年的想法，并且還表示在技術(shù)團隊以外的地方講話，我們應該表揚宣傳團隊做出的貢獻。但是在團隊內(nèi)部講話，就要經(jīng)常提出不好的地方讓團隊改進。用這種內(nèi)外結(jié)合的方法，推動國產(chǎn)設(shè)備發(fā)展。

參考資料： 「鏈接」 https://v.douyin.com/eHWwo1u9xV4/

這就又回到了剛才的問題上，單獨依靠制造企業(yè)或者設(shè)備企業(yè)自己的力量是無法完成產(chǎn)品優(yōu)化的，必須聯(lián)合整個產(chǎn)業(yè)鏈一起解決問題。

我國中科院院士、前中科院院長白春禮先生，曾重點分析了中國光刻機與外國光刻機存在的差別。

白院士指出，在六七十年代的時候，中國的光刻機與國外的差距并不大，那時候ASML公司還沒有成立。但是后來進入全球化體系，國外的產(chǎn)品成熟、價格穩(wěn)定、整體設(shè)計也很好，所以我們國內(nèi)的設(shè)備就發(fā)展不起來了。

質(zhì)譜儀、電鏡這類產(chǎn)品我們都能做，但是國外的產(chǎn)品又好又便宜，很多企業(yè)本著經(jīng)濟性原則，選擇采購國外的設(shè)備。但是現(xiàn)在反過來了，外國企業(yè)不賣給我們，那么好，我們自己就必須做了，這種倒逼機制也許會讓我們的產(chǎn)業(yè)更上一層樓。

參考資料： 「鏈接」 https://v.douyin.com/4BMDY_rXrTs/ X@m.Dh VLw:/ 09/04

全球化的半導體產(chǎn)業(yè)鏈可以推動整個行業(yè)發(fā)展，也為合作的雙方創(chuàng)造了各取所需的經(jīng)濟條件，但同時也讓中國本土企業(yè)所開發(fā)的國產(chǎn)設(shè)備變成了第二選擇目標。絕大部分企業(yè)都會考慮到穩(wěn)定性和經(jīng)濟性，優(yōu)先選擇海外成熟設(shè)備，這就導致國產(chǎn)設(shè)備處于一個不溫不火的尷尬境地。

美國的制裁讓中國芯片產(chǎn)業(yè)出現(xiàn)了技術(shù)停滯，國產(chǎn)制造設(shè)備也在這種狀態(tài)下被推上了風口浪尖。此時的產(chǎn)業(yè)鏈才真正意識到國產(chǎn)設(shè)備的重要性，開始大力度推進國產(chǎn)設(shè)備的技術(shù)發(fā)展，深化國內(nèi)企業(yè)之間的合作。

雖然這個深化合作的時間來的晚了一些，但這是建立在推動國產(chǎn)半導體產(chǎn)業(yè)鏈自立自強的前提下所爆發(fā)出來的決心。