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ASML,進軍先進封裝

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ASML跳出EUV舒適區(qū),布局封裝與新型制造工具。

全球芯片制造設備龍頭ASML高層向透露,公司將在現有芯片制造設備產品線之外,規(guī)劃先進封裝工具等多款新產品,以搶占快速增長的人工智能(AI)芯片市場。這一戰(zhàn)略調整標志著這家壟斷極紫外光(EUV)光刻機市場的企業(yè),正加速打破業(yè)務邊界,向半導體產業(yè)鏈更多關鍵環(huán)節(jié)延伸,應對 AI 產業(yè)爆發(fā)式增長帶來的設備需求變革。

ASML正尋求拓展極紫外光(EUV)領域以外的業(yè)務,包括進軍先進封裝工具市場 。該技術可將多個專用芯片通過鍵合工藝實現芯片堆疊/互聯,形成高性能系統級封裝(SiP),對 AI 芯片及高端內存(如 HBM 高帶寬內存)的運行至關重要。隨著 AI 芯片晶體管集成密度持續(xù)提升,單芯片架構已難以滿足性能需求,多芯片堆疊封裝成為突破算力瓶頸的核心方案,而先進封裝在高端 AI 芯片成本中的占比已升至 35% 以上,部分 GPU 封裝成本甚至超過晶圓制造。同時,ASML還計劃將 AI 技術融入即將啟動的新業(yè)務與現有業(yè)務體系,通過技術協同構建差異化競爭優(yōu)勢。

作為全球唯一能商用化生產EUV 光刻機的制造商,ASML的設備是芯片制造企業(yè)推進先進制程的核心支撐。公司已投入數十億美元研發(fā) EUV 系統,下一代機型即將進入量產階段,第三代產品也在緊鑼密鼓地研發(fā)中。EUV 設備的技術壁壘為ASML構建了強大的市場護城河,全球所有 7nm 及以下先進制程芯片的生產均依賴其設備,臺積電、三星、英特爾等行業(yè)巨頭均是其核心客戶。根據 SEMI 報告,2025 年全球半導體制造設備總銷售額預計達 1330 億美元,其中 AI 相關設備銷售額突破 300 億美元,占邏輯電路設備市場的 46%,成為拉動行業(yè)增長的核心動力。

根據ASML公布的信息,這款新設備將幫助臺積電、英特爾等芯片制造商省去芯片制程中多個高成本、高復雜度的步驟,進而生產性能更強、能效更高的芯片。當前,現有 EUV 設備制造復雜 AI 芯片的技術極限正逐漸顯現,隨著制程節(jié)點向 2nm 以下推進,傳統 EUV 設備在分辨率、工藝效率上已難以滿足需求。新一代高數值孔徑(High-NA)EUV 設備對 AI 產業(yè)而言意義重大。 其數值孔徑由傳統 EUV 的 0.33 提升至 0.55,光刻分辨率從傳統EUV的 13nm 提升到 8nm,可實現 16nm 的最小金屬間距,在一維密度上提升 1.7 倍,晶體管密度提升2.9倍(190%),能顯著提升芯片處理速度和存儲容量。該設備不僅能助力提升 OpenAI 的 ChatGPT 等聊天機器人的性能,還能幫助芯片制造商按計劃如期供應 AI 芯片,以滿足持續(xù)攀升的市場需求。ASML已制定路線圖,計劃將新一代 High-NA EUV 系統(EXE:5200)的生產效率提高到每小時200片晶圓,進一步降低先進制程芯片的制造成本。

ASML首席技術官馬爾科?皮特茲(Marco Pieters)近期表示:“我們的眼光不僅著眼于未來 5 年,更是 10 年、甚至 15 年。屆時行業(yè)可能的發(fā)展方向是什么?在封裝和鍵合領域將會有哪些需求?” 這種長遠視角推動ASML加速布局新興賽道。數據顯示,2025 年全球封裝設備銷售額預計增長 19.6% 至 64 億美元,2026 年將繼續(xù)增長 9.2%,CoWoS、HBM 等先進封裝技術成為市場競爭焦點,相關設備需求持續(xù)旺盛。

ASML正加速推進芯片封裝相關設備的研發(fā)工作,同時啟動新一代 AI 處理器制造工具的研發(fā)。皮特茲透露:“我們正在積極研究能夠參與的程度,以及如何為這一業(yè)務創(chuàng)造更多價值?!?擁有ASML軟件研發(fā)背景的皮特茲指出,隨著公司設備運行速度的提升,工程師將能夠運用 AI 技術加速控制軟件的運行效率,同時優(yōu)化芯片制程中的檢測流程,這一技術融合趨勢將大幅提升設備的生產效率和工藝穩(wěn)定性。

皮特茲在調研韓國SK 海力士(SK Hynix)等芯片制造商的發(fā)展計劃后發(fā)現,業(yè)界未來將需要更多新型設備,以支持多層堆疊芯片等產品的制造。當前,三星、SK 海力士、美光等頭部存儲廠商紛紛擴充 HBM 產能,2025 年全球 HBM 相關設備訂單量同比增長 65%,其中刻蝕、沉積類設備訂單占比超 70%,而鍵合設備作為多層堆疊工藝的核心裝備,市場缺口持續(xù)擴大。ASML于去年推出新型掃描設備 XT:260,專為先進封裝、3D集成與Chiplets芯粒制造設計,該設備已獲得多家頭部廠商的訂單,為公司在存儲芯片設備市場奠定了基礎。

皮特茲還表示,公司工程師目前正在同步研發(fā)更多新型設備,“我正著手規(guī)劃未來產品線的可能發(fā)展方向”。隨著 AI 芯片尺寸顯著增大,且功耗突破千瓦級邊界,熱管理和封裝集成成為新的技術挑戰(zhàn),ASML正積極研發(fā)能夠制造更大尺寸芯片的掃描系統與光刻設備。這些設備融合了光學與晶圓處理等復雜技術的專業(yè)能力,將為ASML研發(fā)新一代設備奠定領先基礎。皮特茲強調:“這些(新業(yè)務)將與我們 40 年來的核心業(yè)務并行發(fā)展?!?/p>

值得注意的是,ASML的戰(zhàn)略拓展也面臨行業(yè)競爭與技術挑戰(zhàn)。目前在先進封裝設備領域,東京電子、科磊等廠商已占據一定市場份額,臺積電等客戶也在探索自主研發(fā)部分設備;而 High-NA EUV 設備單臺售價高達 4 億美元,客戶采購決策更為謹慎,需要足夠的市場需求支撐成本分攤。但憑借在半導體設備領域積累的技術優(yōu)勢、客戶資源和供應鏈整合能力,ASML在新賽道的布局仍被行業(yè)普遍看好。

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