ASML從起步到壟斷的漫長歷程

1984年ASML成立，那時(shí)候它只是飛利浦和ASM國際的合資小公司，員工沒多少，廠房也簡陋，主要靠飛利浦內(nèi)部訂單活著。早期產(chǎn)品性能一般，遠(yuǎn)比不上美國GCA或日本尼康佳能那些老牌選手。

到了1991年，ASML推出PAS 5500系列，引入了對準(zhǔn)技術(shù)，這東西在芯片設(shè)計(jì)簡單時(shí)沒啥優(yōu)勢，但隨著芯片復(fù)雜起來，它幫ASML搶了不少市場份額。1995年公司在阿姆斯特丹和紐約上市，募集資金砸進(jìn)研發(fā)，2000年收購硅谷集團(tuán)，整合了193納米掃描技術(shù)，供應(yīng)給英特爾這樣的客戶。

其實(shí)ASML的EUV研發(fā)從1997年就開始了，花了十幾年才搞定。2009年，他們在IMEC測試22納米SRAM，2013年第一臺(tái)生產(chǎn)級EUV機(jī)器出貨，到2022年已賣出140臺(tái)左右。2023年，高NA EUV原型送到英特爾，價(jià)格高達(dá)2億美元。

這些年ASML的市場份額從2001年的不到30%漲到2023年的80%以上，全靠跟臺(tái)積電三星合作，優(yōu)化浸沒式技術(shù)。ASML這40年就是一步步積累，從落后到領(lǐng)先，靠的是供應(yīng)鏈伙伴如卡爾·蔡司的鏡片支持。

荷蘭半導(dǎo)體專家詳細(xì)講了ASML怎么在2003年推出TWINSCAN ArF浸沒掃描儀，雙臺(tái)設(shè)計(jì)提升產(chǎn)量和精度，甩開佳能尼康。書里還說ASML的成功在于生態(tài)模式，供應(yīng)商齊心協(xié)力，2010年首批EUV掃描儀發(fā)貨，2016年進(jìn)入批量生產(chǎn)。話說這公司從1984到2024，凈收入從起步到數(shù)百億歐元，員工上萬，主要靠EUV壟斷7納米以下芯片制造。

中國企業(yè)光刻機(jī)領(lǐng)域的狠勁投入

中國企業(yè)這幾年在光刻機(jī)上發(fā)力，勁頭比ASML當(dāng)年還大。華為從2019年起組建團(tuán)隊(duì)，協(xié)調(diào)產(chǎn)業(yè)鏈，2023年在上海建研發(fā)中心，投了16.6億美元，招募前ASML員工逆向研究機(jī)器。2025年初，深圳團(tuán)隊(duì)搞出EUV原型，占地一整個(gè)廠房，用激光產(chǎn)生等離子體生成13.5納米光波，雖然還沒量產(chǎn)芯片，但已能運(yùn)行產(chǎn)生極紫外光。這項(xiàng)目涉及數(shù)千工程師，華為當(dāng)核心，聯(lián)手多家研究所。

上海微電子設(shè)備（SMEE）從2002年起專注這塊，早期是科研項(xiàng)目，2023年推出SSA800浸沒式機(jī)器，能做28納米芯片，已交付中芯國際。SMEE的系統(tǒng)支持90納米以上節(jié)點(diǎn)，市場份額在國內(nèi)達(dá)90%，全球35%。

荷蘭專家在訪談里說，中國這種全產(chǎn)業(yè)鏈融合模式歷史上少見，華為從通信跨界，建垂直體系，投入比ASML的漸進(jìn)式多得多。2024年，中國光刻設(shè)備進(jìn)口涌到34億歐元，主要囤DUV機(jī)器，防美國進(jìn)一步管制。

其實(shí)中國進(jìn)展不慢，SMEE的先進(jìn)包裝光刻機(jī)已出貨500臺(tái)，2024年獲EUV專利，聚焦光源和鏡片。華為和SiCarrier合作，開發(fā)浸沒DUV機(jī)器，目標(biāo)趕上ASML。2025年，AMIES從SMEE分拆，展示化合物半導(dǎo)體光刻到晶圓鍵合工具，減低對ASML依賴。中國企業(yè)不光抄，還在創(chuàng)新，比如用穩(wěn)態(tài)微束（SSMB）或放電等離子體（DPP）方法，避開ASML的激光技術(shù)專利。

地緣壓力下的全球競爭格局

從2019年起美國禁ASML賣EUV給中國，2022年擴(kuò)展到EDA軟件，2024年進(jìn)一步限D(zhuǎn)UV。ASML CEO福凱說，這把中國芯片推后10到15年，但中國沒閑著，加速自給ASML走鋼絲，一面遵從美荷法規(guī)，一面保持中國市場，因?yàn)橹袊亲畲筚I家。2024年第三季，中國貢獻(xiàn)ASML近50%營收，主要DUV設(shè)備。

中國反制也來，2025年宣布稀土出口管制，含0.1%以上中國稀土的產(chǎn)品需審批，這直擊ASML機(jī)器，成本150到380百萬美元一臺(tái)。中國控制90%稀土精煉，ASML依賴這供應(yīng)鏈。2025年，中國切斷跟ASML和臺(tái)積電合同，轉(zhuǎn)向本土工具如SMEE的LDP系統(tǒng)。

話說這競爭不光技術(shù)，還牽扯供應(yīng)鏈重塑。ASML跟歐洲日本合作穩(wěn)住，但中國建“曼哈頓項(xiàng)目”式團(tuán)隊(duì)，2025年EUV機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)，雖落后ASML兩代，但縮小差距。2024年SMEE浸沒系統(tǒng)落后ASML20年，但中國專利申請猛增，聚焦EUV光源。ASML壟斷靠創(chuàng)新，但中國狠勁可能改寫格局。ASML40年積累穩(wěn)，但中國企業(yè)比它還狠，未來誰主沉浮，還得看技術(shù)突破和政策博弈。