做精密光學(xué)檢測的朋友，大概率都踩過這樣的坑：精心搭建的檢測平臺(tái)，測試數(shù)據(jù)卻頻頻失常，排查后才發(fā)現(xiàn)，罪魁禍?zhǔn)拙故遣黄鹧鄣摹拔⒄駝?dòng)”！

前段時(shí)間搭建高精度光學(xué)檢測平臺(tái)時(shí)，就遇到一個(gè)易被忽視的硬性要求——減振需達(dá)VC-C標(biāo)準(zhǔn)。很多人對它很陌生，常規(guī)測試中極少關(guān)注振動(dòng)影響，但高精度測試與常規(guī)測試的核心區(qū)別，正是對振動(dòng)的嚴(yán)苛控制。

通俗來說，VC-C是國際通用的微振動(dòng)控制標(biāo)準(zhǔn)，核心衡量指標(biāo)是振動(dòng)速度，也就是設(shè)備或平臺(tái)微振動(dòng)時(shí)的晃動(dòng)速率。VC系列分為VC-A至VC-E多個(gè)等級，從寬松到嚴(yán)苛適配不同精密需求，其中VC-C應(yīng)用最廣、要求偏嚴(yán)，12.5μm/s的振動(dòng)速度要求，是精密設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵保障。

VC-C的應(yīng)用不止于光學(xué)平臺(tái)，TFT-LCD廠房核心區(qū)域，只要涉及該級別設(shè)備，建筑柱距等結(jié)構(gòu)都會(huì)有配套要求；專用防微振基礎(chǔ)還需采用鋼模板、C30混凝土，搭配高標(biāo)準(zhǔn)施工，才能實(shí)現(xiàn)理想隔振效果。直白講，VC-C就是微米級精密制造與檢測的“振動(dòng)門檻”。若你從事TFT-LCD制造、高倍光學(xué)顯微鏡觀測或微米級光刻檢測，務(wù)必重點(diǎn)關(guān)注，否則易因振動(dòng)導(dǎo)致測試精度不達(dá)標(biāo)，白費(fèi)功夫。

了解完標(biāo)準(zhǔn)，大家最關(guān)心的就是：精密光學(xué)平臺(tái)如何做好減振？其實(shí)核心就是按需選減振等級（依據(jù)隔振方式和固有頻率劃分），再把握兩個(gè)關(guān)鍵要點(diǎn)。

一是關(guān)注平臺(tái)自身性能，優(yōu)質(zhì)平臺(tái)不僅隔振好，還需高剛度、小形變量，比如100公斤載重下變形偏移≤2微米，臺(tái)面平面度（0.02mm/㎡-0.05mm/㎡）和粗糙度也需達(dá)標(biāo)。

二是評估環(huán)境影響，馬路車流、地鐵運(yùn)行、大型設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)等，都可能產(chǎn)生振動(dòng)干擾，必要時(shí)需搭建獨(dú)立地基；有防電磁需求的，臺(tái)面建議用不導(dǎo)磁不銹鋼。

想起學(xué)校實(shí)驗(yàn)室做航天鏡頭測試時(shí)，為避免行人走路振動(dòng)干擾，特意挖深坑隔離、加固地基?？梢姡芄鈱W(xué)測試中，振動(dòng)無小事，重視VC-C標(biāo)準(zhǔn)、做好減振細(xì)節(jié)，才能讓測試更精準(zhǔn)，少走彎路。