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臺灣6.6級地震,力積電兩座晶圓廠受損

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據(jù)中國地震臺網(wǎng)測定,12月27日23時05分,在臺灣宜蘭縣海域(北緯24.67度,東經(jīng)122.06度)發(fā)生里氏6.6級地震,震源深度60公里。

根據(jù)中國臺灣氣象署發(fā)布的報告顯示,此次地震規(guī)模為里氏7.0地震,震源深度72.8公里,震中位于宜蘭縣政府東方32.3公里,最大震度為4級。各地最大震度為宜蘭、新北、花蓮、臺北、基隆、桃園、新竹縣市、臺中、南投、苗栗、云林、臺東、嘉義時、臺南4級,屏東3級、馬祖、澎湖、高雄2級、金門1級。


臺灣電力公司臺電表示,本次地震不影響各水火力及核電廠運作,配電系統(tǒng)部分,地震造成宜蘭東澳變電所跳脫,影響周邊3465戶停電,已于12月27日23時15分全數(shù)復(fù)電。

晶圓代工大廠臺積電回應(yīng)表示,“公司少數(shù)竹科廠區(qū)達疏散標(biāo)準(zhǔn),我們以人員安全為第一優(yōu)先,依緊急應(yīng)變程序進行人員室外疏散與清點中,各廠區(qū)工作安全系統(tǒng)運作正常?!币涝?024年4月的臺灣大地震當(dāng)中,臺積電生產(chǎn)受損,損失達到了9240萬美元。

另一家晶圓代工廠聯(lián)電則指出,經(jīng)過廠區(qū)各單位初步盤點,目前所有在崗人員與廠區(qū)內(nèi)的同仁皆確認人員安全。地震發(fā)生時,各部門皆依指引就地避難或進行疏散,并無傳出任何受傷情事,將持續(xù)關(guān)注后續(xù)情形。

此外,從事邏輯與存儲晶圓代工服務(wù)的力積電則于12月28日對外表示,力積電竹科與竹南的8英寸和12英寸晶圓廠產(chǎn)線均受地震影響,主要為石英相關(guān)設(shè)備與材料,相關(guān)損害仍在評估與盤點,受損細節(jié)尚未完全明朗。目前影響范圍涵蓋產(chǎn)線設(shè)備與關(guān)鍵材料,待盤點結(jié)果出爐后,才能更精準(zhǔn)量化對財務(wù)與產(chǎn)能的沖擊。

資料顯示,石英爐管是半導(dǎo)體制造過程中,位于擴散制程機臺核心的圓柱形容器,能提供相對純凈的空間,確保硅晶圓在加工過程中不被金屬離子污染。由于石英“硬而脆”的特性,地震時的劇烈晃動容易導(dǎo)致爐管與機臺框架發(fā)生碰撞而破碎。

力積電指出,此次地震的嚴(yán)重程度僅次于1999年9月21日大地震和2024年4月3日地震,排在第3。從過往經(jīng)驗看,規(guī)模較小的地震后約2至3天,產(chǎn)線可恢復(fù)正常運作,但此次需視石英爐管備料與實際損壞狀況而定。

力積電表示,石英爐管屬關(guān)鍵流程環(huán)節(jié),修復(fù)與更換所需時間較長,其他機臺將盡快復(fù)歸,但整體復(fù)原時程取決于石英爐管材料供應(yīng)與安裝恢復(fù)。雖然去年4月3日地震后已增加石英材料庫存,仍需評估可用性與匹配度,若有破碎需更換,將延長裝機與校準(zhǔn)的時間,進而影響后續(xù)晶圓交期。

存儲芯片大廠南亞科技則表示,內(nèi)部仍在針對地震災(zāi)損進行完整詳細的確認,還需要多一些時間。

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