在半導(dǎo)體行業(yè)，有一句話(huà)幾乎成了標(biāo)準(zhǔn)答案——中國(guó)也在搞光刻機(jī)，但離真正的產(chǎn)品還很遠(yuǎn)。這一次，說(shuō)這句話(huà)的人，是ASML高管。

在最新一次財(cái)報(bào)會(huì)議上，ASML首席財(cái)務(wù)官直言不諱地表示：“我們?cè)缇吐?tīng)說(shuō)中國(guó)企業(yè)在研發(fā)光刻機(jī)，但到目前為止，他們還沒(méi)有拿出任何真正意義上的產(chǎn)品?！边@句話(huà)迅速被西方媒體引用、放大，也被一些人當(dāng)成了最終結(jié)論。仿佛只要ASML點(diǎn)頭，中國(guó)才能算開(kāi)始；只要ASML否定，中國(guó)就永遠(yuǎn)在起跑線(xiàn)上。

但事實(shí)，真的如此嗎？

先把話(huà)說(shuō)明白一點(diǎn)。ASML高管說(shuō)的這句話(huà)，在字面上并非完全錯(cuò)誤：中國(guó)，確實(shí)還沒(méi)有對(duì)標(biāo)ASML EUV的成熟商用產(chǎn)品。但問(wèn)題在于他們刻意忽略了過(guò)程，只強(qiáng)調(diào)終點(diǎn)。在西方話(huà)語(yǔ)體系里，沒(méi)有EUV = 沒(méi)有光刻機(jī)；沒(méi)有對(duì)標(biāo)ASML = 等于零。這是一種非常典型的技術(shù)霸權(quán)邏輯。

ASML高管們心里其實(shí)很清楚一件事：真正危險(xiǎn)的，不是中國(guó)今天有沒(méi)有EUV，而是中國(guó)已經(jīng)被徹底逼上了“必須自己造”的道路。美國(guó)對(duì)中國(guó)的芯片制裁，不是減速器，而是點(diǎn)火器。過(guò)去，中國(guó)大量購(gòu)買(mǎi)ASML設(shè)備，用錢(qián)換時(shí)間；現(xiàn)在，時(shí)間被掐斷了，只能用命換技術(shù)。

結(jié)果是什么？進(jìn)口光刻機(jī)的錢(qián)，開(kāi)始轉(zhuǎn)向研發(fā)投入；被卡脖子的環(huán)節(jié)，開(kāi)始系統(tǒng)性拆解；買(mǎi)設(shè)備的邏輯，轉(zhuǎn)向建體系。這恰恰是ASML前CEO溫寧克反復(fù)警告美國(guó)政府的原因：“一旦你不賣(mài)給中國(guó)，他們就一定會(huì)自己做。”

中國(guó)光刻機(jī)，真的一無(wú)所有嗎？如果只盯著EUV，答案是“沒(méi)有”。但如果看整個(gè)光刻體系，情況完全不同。

光刻機(jī)不是一臺(tái)機(jī)器，而是一個(gè)系統(tǒng)工程。光刻機(jī)=光源+投影物鏡+雙工件臺(tái)+控制系統(tǒng)+軟件算法+超高精度制造體系。ASML花了30多年，才把這些拼成一臺(tái)EUV。而中國(guó)做的事情是：把這張被鎖死的拼圖，一塊一塊拆開(kāi)重來(lái)。

西方經(jīng)常嘲諷一句話(huà)：中國(guó)光刻機(jī)卡在90nm很多年了。但真實(shí)情況是：上海微電子（SMEE）已形成成熟的i-line、KrF光刻機(jī)量產(chǎn)能力，ArF干式、ArF浸沒(méi)式持續(xù)推進(jìn)，在先進(jìn)制程之外，封裝、功率器件、顯示面板、MEMS等已實(shí)現(xiàn)大規(guī)模國(guó)產(chǎn)替代。這不是“實(shí)驗(yàn)室玩具”，而是真實(shí)進(jìn)產(chǎn)線(xiàn)的設(shè)備。只不過(guò)，它們不在最耀眼的EUV舞臺(tái)中央。

中國(guó)在光刻機(jī)光源、精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、控制軟件上的進(jìn)展；國(guó)產(chǎn)供應(yīng)鏈在局部指標(biāo)上已達(dá)到國(guó)際一流水平；一批“去ASML化”的工程師，正在形成完整技術(shù)梯隊(duì)。這些東西，短期看不到終點(diǎn)，但長(zhǎng)期一旦貫通，就是不可逆的趨勢(shì)。

今天的ASML，確實(shí)無(wú)可替代。全球唯一EUV供應(yīng)商、最復(fù)雜工業(yè)系統(tǒng)之一、技術(shù)壁壘極高。但請(qǐng)注意一個(gè)事實(shí)：ASML并不是天生的王者。當(dāng)年日本、美國(guó)，同樣認(rèn)為：光刻機(jī)是“我們永遠(yuǎn)的護(hù)城河”，后來(lái)者不可能追上。結(jié)果呢？ASML，正是當(dāng)年的“后來(lái)者”。

中國(guó)光刻機(jī)，確實(shí)很難，但已經(jīng)不再是不可能。說(shuō)一句實(shí)話(huà)，更容易贏(yíng)得尊重：EUV，中國(guó)現(xiàn)在造不出來(lái)；距離ASML，確實(shí)還有很長(zhǎng)的路。但同樣真實(shí)的是： 中國(guó)已經(jīng)走上了正確但艱難的路徑，光刻機(jī)不再是“單點(diǎn)幻想”，而是體系工程，時(shí)間，正在從“西方優(yōu)勢(shì)”，變成“最大變量”。ASML高管說(shuō)：“中國(guó)還沒(méi)有一款產(chǎn)品問(wèn)世?！钡珰v史往往證明真正改變格局的，從來(lái)不是第一句話(huà)，而是后面那幾十年沉默的積累。

你可以輕視中國(guó)今天的光刻機(jī)，但別低估一個(gè)被逼到墻角的產(chǎn)業(yè)。西方的傲慢，源自過(guò)去的成功；中國(guó)的執(zhí)拗，來(lái)自現(xiàn)實(shí)的封鎖。也許十年內(nèi)，ASML依然站在頂峰；但有一點(diǎn)已經(jīng)無(wú)法改變：中國(guó)，不會(huì)再把命門(mén)，交到別人手里。而這，才是ASML高管真正焦慮，卻不愿明說(shuō)的地方。

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