12月9日

湖北興福電子材料股份有限公司發(fā)布公告

以4626.78萬元收購

湖北三峽實(shí)驗(yàn)室重大科技成果

“光刻膠用光引發(fā)劑制備

專有技術(shù)及實(shí)驗(yàn)設(shè)備所有權(quán)”

這項(xiàng)半導(dǎo)體領(lǐng)域“卡脖子”技術(shù)走向市場后

將打破該材料

長期被境外企業(yè)壟斷的局面

湖北三峽實(shí)驗(yàn)室光引發(fā)劑項(xiàng)目研發(fā)負(fù)責(zé)人介紹，此次轉(zhuǎn)讓的成果G/I線光刻膠用光引發(fā)劑的關(guān)鍵技術(shù)，主要用于芯片和顯示領(lǐng)域。

湖北三峽實(shí)驗(yàn)室科研人員正在從事半導(dǎo)體光刻膠用光引發(fā)劑試驗(yàn)。（通訊員 李陽 攝）

芯片制造需要幾百種設(shè)備和材料，其中光刻機(jī)和光刻膠是常被提起的“卡脖子”產(chǎn)品。而對光刻膠的感光度和分辨率起決定性作用的，就是光引發(fā)劑?！澳壳?，在國產(chǎn)芯片和顯示領(lǐng)域，光刻膠用光引發(fā)劑幾乎全部依賴美日韓進(jìn)口?！痹撠?fù)責(zé)人表示。

“這是一次市場需求倒逼的研發(fā)創(chuàng)新，企業(yè)出題，實(shí)驗(yàn)室答題。”湖北三峽實(shí)驗(yàn)室主任池汝安透露，微電子新材料是三峽實(shí)驗(yàn)室的研究方向之一，近年來，許多半導(dǎo)體客戶表示，因光引發(fā)劑遭遇限購和斷供，國產(chǎn)光刻膠多次被“卡脖子”，給國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的生產(chǎn)帶來極大壓力。

湖北三峽實(shí)驗(yàn)室外景（資料圖片）

主攻芯片蝕刻電子級磷酸、電子級硫酸等產(chǎn)品的興福電子，希望切入光引發(fā)劑產(chǎn)業(yè)賽道，但從0到1的研發(fā)風(fēng)險(xiǎn)卻成了難題?！耙坏┭邪l(fā)失敗，巨大的投入和時(shí)間成本，將令企業(yè)難以承受?！迸d福電子總工程師賀兆波表示，企業(yè)想到了三峽實(shí)驗(yàn)室。

興福電子提出研發(fā)需求意向后，三峽實(shí)驗(yàn)室當(dāng)即決定開展光引發(fā)劑關(guān)鍵技術(shù)的攻關(guān)。“面向產(chǎn)業(yè)需求做研發(fā)，本就是湖北實(shí)驗(yàn)室的特色和使命?！?/strong>池汝安說。

在歷經(jīng)三年研發(fā)攻堅(jiān)后，今年5月，上海一家光刻膠龍頭企業(yè)回復(fù)三峽實(shí)驗(yàn)室：“送樣各項(xiàng)指標(biāo)與國外進(jìn)口廠商達(dá)到同一水平?！?/p>

隨后，中試樣品在多家光刻膠企業(yè)都通過了初輪驗(yàn)證，相關(guān)技術(shù)終于具備產(chǎn)業(yè)化條件。

光刻膠用光引發(fā)劑成果歷經(jīng)三峽實(shí)驗(yàn)室研發(fā)團(tuán)隊(duì)三年攻堅(jiān)（通訊員 李陽 攝）

池汝安介紹，該成果已進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化前期階段，投產(chǎn)后將成為湖北第一條光刻膠用光引發(fā)劑生產(chǎn)線，對我國光刻膠產(chǎn)業(yè)發(fā)展將起到積極作用。

來源丨湖北日報(bào)

編輯丨胡馨月

編審丨陳勇

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