球形硅微粉是指通過特定工藝將天然石英或合成二氧化硅加工為球形或類球形的微米級粉體材料，其核心特征為低比表面積、高流動性與優(yōu)異的介電性能。從性能優(yōu)勢來看，相較于不規(guī)則的角形硅微粉，球形硅微粉的球形形貌可大幅降低樹脂體系的粘度，提升填料的填充率，同時具備更低的熱膨脹系數(shù)與良好的絕緣性，能有效適配高端電子封裝材料的嚴(yán)苛要求。

球形硅微粉主流制備技術(shù)

當(dāng)前國內(nèi)制備球形硅微粉的主流技術(shù)有火焰熔融法、等離子體法、化學(xué)合成法、VMC法（爆燃法）等。

火焰熔融法：該技術(shù)是將破碎后的石英粉體送入高溫火焰（溫度可達(dá)1600℃以上），粉體顆粒在高溫下熔融并在表面張力作用下收縮為球形。此方法工藝成熟、產(chǎn)能較高，是目前工業(yè)化量產(chǎn)球形硅微粉的核心技術(shù)，適用于制備中高端電子級產(chǎn)品。

火焰法制備球形硅微粉

等離子體法是一種利用等離子體的高能量來處理材料的技術(shù)。在球形硅微粉的制備中，將經(jīng)過超細(xì)磨和化學(xué)除雜處理的硅微粉置于等離子體反應(yīng)器中，硅微粉由等離子炬的高溫區(qū)快速熔化后，在表面張力的作用下形成球形液滴，經(jīng)快速冷卻后形成球形顆粒。這種方法可以實現(xiàn)硅微粉的純化和球形化，能夠?qū)η蛐味冗M(jìn)行控制，同時減少化學(xué)試劑的使用，具有污染小、效率高、流程短、易于控制的優(yōu)勢，是一種綠色、高效的制備技術(shù)，但初次投入成本較大。

化學(xué)合成法：通過溶膠-凝膠、氣相沉積等化學(xué)手段制備球形硅微粉。采用化學(xué)法制備的球形硅微粉的純度高，粒徑均勻可控，但溶膠-凝膠法和化學(xué)沉淀法等化學(xué)法制得的球形硅微粉易出現(xiàn)團(tuán)聚現(xiàn)象。此外，化學(xué)法用到的原料尤其是普遍使用的表面活性劑的價格較貴，極大增加了生產(chǎn)成本，且存在有機(jī)雜質(zhì)清除困難、工藝流程復(fù)雜、制備條件要求高以及對設(shè)備要求高的問題，因此，化學(xué)法制備球形硅微粉要實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)，還有很長一段路要走。

化學(xué)合成法球硅制備技術(shù) 圖源：錦藝新材招股說明書

VMC法（爆燃法）：由于火焰熔融球硅屬于天然礦物粉體熔融球化，因此在純度和粒徑分布方面存在一定限制，少數(shù)國外領(lǐng)先企業(yè)采用VMC制備方法，即通過金屬硅粉直接與氧氣反應(yīng)，從而制備純度較高、粒度小、粒徑分布相對可控的二氧化硅微球。VMC法采用金屬硅粉制備出的亞微米級球形二氧化硅微粉具有表面光滑、無定型含量高等特點，然而使用的原料金屬硅容易形成粉塵爆燃，生產(chǎn)過程中存在較大的安全隱患。

球形度影響因素：多環(huán)節(jié)“精準(zhǔn)把控”

原料特性，原料粉體的粒徑分布與純度直接影響最終產(chǎn)品的球形度，若原料中存在大顆粒雜質(zhì)或粒徑跨度較大的粉體，易在熔融過程中出現(xiàn)顆粒粘連、變形等問題，導(dǎo)致球形度下降；高純度石英原料可減少雜質(zhì)在高溫下的異常相變，保障球形顆粒的完整性。其次是溫度與停留時間，以火焰熔融法為例，火焰溫度不足會導(dǎo)致粉體熔融不充分，顆粒無法完全收縮為球形；而溫度過高或停留時間過長，則可能引發(fā)顆粒過度燒結(jié)、粒徑變大甚至出現(xiàn)空心結(jié)構(gòu)，均會降低球形度。此外，粉體的進(jìn)料速度與氣流場分布也至關(guān)重要，進(jìn)料過快會使粉體顆粒無法充分接觸高溫區(qū)，進(jìn)料過慢則易造成顆粒聚集；氣流場紊亂會破壞顆粒的自由沉降與收縮過程，引發(fā)顆粒碰撞變形。

球形硅微粉的球形度是衡量其品質(zhì)的核心指標(biāo)，其形成與優(yōu)化受多重因素制約。首先是

向“更完美”的方向突破

化學(xué)法工藝優(yōu)化

針對化學(xué)法存在的團(tuán)聚嚴(yán)重、難量產(chǎn)等問題，需從三方面推進(jìn)優(yōu)化：一是改良顆粒表面修飾技術(shù)，降低顆粒團(tuán)聚概率，同時提升表面光潔度；二是簡化工藝流程、降低制備條件門檻，增強(qiáng)工藝的規(guī)模化適配性；三是建立穩(wěn)定的質(zhì)量控制體系，確保批量生產(chǎn)時球化率、分散度等核心指標(biāo)的一致性。

物理法工藝優(yōu)化

物理法雖具備流程簡單、易規(guī)?；膬?yōu)勢，但存在高溫生產(chǎn)對設(shè)備要求高、依賴天然石英礦源導(dǎo)致生產(chǎn)不可持續(xù)的弊端。對此，一方面需研發(fā)耐高溫、高耐用性的生產(chǎn)設(shè)備，降低設(shè)備投入與后期維護(hù)成本，提升工藝穩(wěn)定性；另一方面要拓展原料來源，開發(fā)非天然石英替代原料的適配工藝，突破礦源限制，構(gòu)建可持續(xù)的原料供應(yīng)與生產(chǎn)體系。

綠色化工藝升級

隨著環(huán)保要求的不斷提升，生產(chǎn)過程的環(huán)境影響與可持續(xù)性成為行業(yè)發(fā)展關(guān)鍵。需重點推進(jìn)三方面升級：一是引入低碳節(jié)能生產(chǎn)工序，減少高溫環(huán)節(jié)的能耗與污染物排放；二是構(gòu)建閉環(huán)生產(chǎn)體系，實現(xiàn)生產(chǎn)廢料的回收再利用，提升資源利用率；三是同步建立環(huán)境友好型工藝標(biāo)準(zhǔn)與評估體系，推動整個球形硅微粉制備行業(yè)向綠色可持續(xù)方向轉(zhuǎn)型。

結(jié)語

作為電子信息與新能源產(chǎn)業(yè)的核心基礎(chǔ)材料，球形硅微粉憑借獨特的性能優(yōu)勢，在半導(dǎo)體封裝、高端覆銅板等領(lǐng)域的地位愈發(fā)關(guān)鍵。但其制備環(huán)節(jié)仍面臨球形度把控、工藝成本、規(guī)模化量產(chǎn)及綠色化生產(chǎn)等多重挑戰(zhàn)。
未來，隨著工藝優(yōu)化技術(shù)的持續(xù)突破、綠色生產(chǎn)體系的逐步構(gòu)建，以及非天然礦源等原料路徑的拓展，球形硅微粉將進(jìn)一步彌補(bǔ)技術(shù)短板，實現(xiàn)品質(zhì)與產(chǎn)能的雙重躍升。這不僅能破解行業(yè)“球而不得”的技術(shù)困局，更將為下游高端制造業(yè)的升級筑牢材料根基，助力相關(guān)產(chǎn)業(yè)在關(guān)鍵材料領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)自主可控與高質(zhì)量發(fā)展。

參考來源：

沈王強(qiáng)等.球形硅微粉的制備與表面改性技術(shù)研究進(jìn)展

李培錕等.超細(xì)球形硅微粉的制備與性能表征

張存君.球形硅微粉的制備與應(yīng)用

李勇等.球形硅微粉制備方法與應(yīng)用研究

中國粉體網(wǎng)《“球”而不得的這種硅微粉，國內(nèi)外都撓破了頭!》

中國粉體網(wǎng)《球形硅微粉產(chǎn)業(yè)化的三種技術(shù)路徑，后兩種我們所知甚少》

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