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光刻機(jī)巨頭開始慌了,中國(guó)造不成光刻機(jī),但是要造一個(gè)光刻工廠!

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這幾年ASML日子越來(lái)越不好過(guò)了。2023年初,美國(guó)一輪接一輪推出口管制,荷蘭政府跟著收緊對(duì)華銷售政策,ASML前老板彼得·溫寧克在財(cái)報(bào)會(huì)上就直說(shuō),這種管制反而會(huì)逼著中國(guó)自己搞出東西來(lái)。



這兩年ASML的日子,說(shuō)好也好,說(shuō)糟也糟。

外面看著風(fēng)光,賬面數(shù)據(jù)亮得刺眼,仿佛中國(guó)市場(chǎng)變成了他們的第二臺(tái)“印鈔機(jī)”。

可這份成績(jī)單再亮麗,也擋不住現(xiàn)實(shí)。

美國(guó)從2019年就開始把脖子卡得越來(lái)越緊,目標(biāo)直指先進(jìn)光刻設(shè)備,后來(lái)干脆把荷蘭拖進(jìn)陣線,一層層加碼限制。



按常理講,ASML應(yīng)該在中國(guó)的業(yè)務(wù)大幅縮水,可事實(shí)卻反著來(lái)。

2023年中國(guó)給它貢獻(xiàn)了近一半的營(yíng)收,占比從15%狂飆到46%,到了2024年甚至依舊維持高位。

從外面看像是買瘋了,可背后的邏輯很簡(jiǎn)單:買得越狠,說(shuō)明窗口越快關(guān)。

中國(guó)這邊心里門兒清,只要限制沒(méi)完全落地,能買一點(diǎn)是一點(diǎn),特別是DUV浸潤(rùn)式光刻機(jī),那可是能頂住我們整個(gè)成熟工藝帶的東西。



先進(jìn)制程雖然短期摸不到,但成熟制程如今才是汽車、光伏、電力設(shè)備、機(jī)器人這些行業(yè)的主力芯片。

能囤一臺(tái),是一臺(tái);能付錢,就下手。

這種“趁封鎖徹底落下前猛搶”的態(tài)勢(shì),把ASML推到了虛高的繁榮里。

但ASML高層一點(diǎn)都不輕松,前CEO溫寧克在任上就說(shuō)過(guò),政治力量伸得太長(zhǎng),會(huì)逼中國(guó)這位大客戶自己造競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。



新CEO富凱上臺(tái)后面對(duì)的局面更尷尬,數(shù)據(jù)好到嚇人,但他清楚這都是“透支未來(lái)”的業(yè)務(wù)。

因?yàn)殡S著美國(guó)不斷升級(jí)限制,荷蘭政府從2023年起把NXT:2000i以上的型號(hào)劃入許可證范圍,2024年又把2050i、2100i這些主力型號(hào)禁了。

到了2025年,本來(lái)以為能幸存的1970i、1980i也要被嚴(yán)查。

ASML內(nèi)部預(yù)測(cè)中國(guó)業(yè)務(wù)會(huì)迅速掉回20%,甚至有可能再往下探。



更麻煩的是“服務(wù)和維修”這一條命脈,中國(guó)已經(jīng)裝機(jī)幾千臺(tái),一旦服務(wù)也受限,那這些幾千萬(wàn)一臺(tái)的設(shè)備未來(lái)連換個(gè)密封件都成問(wèn)題,那不僅是買不到新機(jī)的問(wèn)題,而是徹底被趕出一個(gè)國(guó)家的供應(yīng)鏈。

ASML當(dāng)然不愿意走到那一步,但美方壓力又逼他們得時(shí)刻劃紅線,這也是他們現(xiàn)在最怕觸碰的雷。



這么看,ASML的繁榮不是興旺,是透支。不是成長(zhǎng),是倒計(jì)時(shí)。

短期賬面漂亮,但長(zhǎng)期的危險(xiǎn)正在往它腳下堆。

越是賣得多,越說(shuō)明在替別人補(bǔ)缺口,越是限制多,越讓中國(guó)堅(jiān)定“自己干”的決心。



既然買的路遲早被堵死,中國(guó)工程師們自然不會(huì)傻站著等裁決。

EUV光刻機(jī)沒(méi)法買,逆向又像拆核潛艇一樣復(fù)雜,那怎么辦?

方法不是沒(méi)有,把難點(diǎn)換個(gè)角度思考,反而走出了條別人沒(méi)想過(guò)的路子。

ASML的核心護(hù)城河不是整機(jī)本身,而是EUV光源。



一個(gè)小小機(jī)箱里塞進(jìn)幾十千瓦的等離子體光源,那是三十多年技術(shù)積累的結(jié)果,全世界只有ASML、蔡司、一批頂級(jí)材料公司拼起來(lái)才做得到。

想要靠國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈短時(shí)間復(fù)制這種“小型化光源”,那難度堪比登天。

于是我們的工程師干脆繞過(guò)去,你小型化難,那我就不小型化。我不在一臺(tái)機(jī)器里塞光源,我給你建一座“光源工廠”。



這就是清華主導(dǎo)的SSMB(穩(wěn)態(tài)微聚束)路線:把EUV光源做成像發(fā)電站一樣的大型基礎(chǔ)設(shè)施,用一條長(zhǎng)達(dá)一公里的粒子加速環(huán)來(lái)產(chǎn)光,功率能做到千瓦級(jí),比ASML最先進(jìn)的EUV機(jī)還強(qiáng)四倍以上。

清華2017年提出原理,2021年與德國(guó)團(tuán)隊(duì)用實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)登上《Nature》,2022年進(jìn)入工程化預(yù)研,2023年起國(guó)家層面推進(jìn)選址,雄安等地開始評(píng)估建設(shè)可行性。



業(yè)內(nèi)普遍把它稱為“改變規(guī)則”的路線,不是在和ASML比機(jī)器性能,而是跳出它定義的領(lǐng)域,搞成基礎(chǔ)設(shè)施級(jí)工業(yè)工程。

“光刻工廠”的意義不僅是另?xiàng)l技術(shù)路徑,更像是把芯片產(chǎn)業(yè)的高度從“精密設(shè)備”拉到“中國(guó)最擅長(zhǎng)的重工業(yè)”。

如果光源能像電一樣按需輸送,一座工廠能同時(shí)喂幾十臺(tái)光刻工作站,那么我們就能在EUV缺席的情況下跑出自己的高端光刻體系。



這種路線的價(jià)值,在于不用糾纏于那些被西方死死保護(hù)著的微觀領(lǐng)域,而是把問(wèn)題放到宏觀工程里解決。

而“宏觀工程”三個(gè)字,本身就是中國(guó)在全球最擅長(zhǎng)、最穩(wěn)定的底層能力。

不過(guò),光刻工廠的故事是中長(zhǎng)期打法,短期的飯還得吃。

傳統(tǒng)DUV不能斷,材料、光源、控制系統(tǒng)缺了都不行。



所以產(chǎn)業(yè)鏈另一頭在快速補(bǔ)洞,SMEE的28nm機(jī)已經(jīng)到了試產(chǎn)前夕,國(guó)產(chǎn)光刻膠在向高端爬,KrF覆蓋7nm工藝,清華的新型EUV光刻膠突破靈敏度瓶頸,恒坤、南大光電這些企業(yè)加速擴(kuò)線。

整體看就是一句話:能補(bǔ)什么補(bǔ)什么,能做一塊是一塊。



現(xiàn)在整個(gè)局面很明確,西方在賭封鎖,中國(guó)在賭突破。

這不是一家公司、一套設(shè)備的競(jìng)爭(zhēng),而是一條超級(jí)產(chǎn)業(yè)鏈的兵對(duì)兵、將對(duì)將。

封鎖越狠,中國(guó)越是把資源往里壓。

大基金三期一次性砸了288億給材料端,各省加大投入,蘇州、上海、無(wú)錫、合肥、杭州等地,大大小小兩千多家企業(yè)在拼命補(bǔ)位。



國(guó)內(nèi)現(xiàn)在的打法就是“全鏈條一起拉”,缺哪塊補(bǔ)哪塊,不給對(duì)方留下空。

除了主流路線,也有人在走偏鋒突破。

電子束直寫設(shè)備在浙江那邊已經(jīng)能做8nm級(jí)別的小批量研發(fā)芯片,雖然不能上大規(guī)模量產(chǎn),但在科研、專用芯片領(lǐng)域已經(jīng)是一條支線。

杭州一些裝備企業(yè)搞的納米壓印,也有突破窗口。

你做不出EUV,我就做能滿足部分需求的平行路線,只要能撕開一道口子,就是勝利。



這給西方造成了很大的心理壓力,富凱嘴上說(shuō)“中國(guó)落后10到15年”,可他也知道,芯片產(chǎn)業(yè)不是只看2nm、3nm這么簡(jiǎn)單。

汽車、電力、工業(yè)控制、風(fēng)電、光伏、新能源車這些行業(yè)需要的不是2nm,而是28nm、45nm、65nm這些成熟工藝。

中國(guó)要的不是一顆最強(qiáng)的芯片,而是穩(wěn)定、完整、能撐起制造業(yè)底盤的全體系。



成熟制程越穩(wěn)定,產(chǎn)業(yè)越穩(wěn);產(chǎn)業(yè)越穩(wěn),美國(guó)制裁效果越弱。

ASML最怕的不是“少賣幾臺(tái)機(jī)器”,而是中國(guó)把缺口補(bǔ)上之后,整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈形成自主循環(huán)。

它也怕“光刻工廠”跑通,把ASML幾十年的專利體系一腳踢開。

它更怕SMEE的28nm機(jī)量產(chǎn)后,中國(guó)開始自己往20nm、14nm方向迭代。

它最怕的,是中國(guó)從設(shè)備、材料、工藝、光源一路打通,形成自己的規(guī)則。



芯片之爭(zhēng),說(shuō)到底不是設(shè)備之爭(zhēng),而是產(chǎn)業(yè)能力之爭(zhēng)。

美國(guó)賭我們扛不住封鎖,我們賭自己能靠全社會(huì)的力量把產(chǎn)業(yè)鏈拼出來(lái)。

看著現(xiàn)在這種多路并進(jìn)、科研團(tuán)隊(duì)和企業(yè)一起往前沖的勁頭,未來(lái)格局會(huì)怎么變已經(jīng)越來(lái)越明朗。只要這條鏈條一旦咬合成功,全球半導(dǎo)體的秩序就會(huì)跟著改變。



畢竟,從修飛機(jī)到造高鐵,從火箭到電動(dòng)車,從水電站到超大工程,中國(guó)最擅長(zhǎng)的一直是“把不可能變成工程”。

而當(dāng)芯片制造被推回工程領(lǐng)域時(shí),這場(chǎng)比賽誰(shuí)更有優(yōu)勢(shì),就已經(jīng)不難判斷了。



阿斯麥CEO:遏制中國(guó)可能產(chǎn)生意想不到的后果——環(huán)球時(shí)報(bào)



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