財(cái)聯(lián)社1月8日訊（編輯 馬蘭）億萬(wàn)富翁馬斯克似乎打算插手芯片制造業(yè)務(wù)，他在本周表示，芯片制造行業(yè)建造潔凈室的方式是錯(cuò)誤的，一旦特斯拉建成自己的2納米制程晶圓廠，他將在廠里吃漢堡、抽雪茄。

馬斯克稱，他認(rèn)為現(xiàn)代晶圓廠的潔凈室設(shè)計(jì)存在問(wèn)題，晶圓應(yīng)該始終處于密封狀態(tài)。但他的設(shè)想顯然與芯片行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)不同。

現(xiàn)代晶圓廠是大型的一體化工廠，其中包括了超潔凈的生產(chǎn)潔凈室，設(shè)有真空泵、氣體處理和排氣系統(tǒng)的子晶圓廠層，用于維護(hù)和公用設(shè)施的專用工具服務(wù)走廊，集中式化學(xué)品輸送和廢物管理基礎(chǔ)設(shè)施，以及辦公和控制區(qū)域。

而潔凈室與晶圓廠其他部分完全隔離，目的是保證該空間空氣中的顆粒數(shù)量不會(huì)影響到芯片的制造工藝。比如EUV和DUV光刻曝光，以及先進(jìn)的柵極形成，都需要在ISO1級(jí)或2級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的潔凈室中進(jìn)行，否則超靈敏的EUV光刻鏡可能會(huì)受到影響，化學(xué)工藝也可能出現(xiàn)問(wèn)題。

ISO1級(jí)代表著每立方米空氣中最多允許10個(gè)體積≥0.1微米的顆粒和2個(gè)更大的顆粒；ISO2級(jí)代表著每立方米空氣中最多允許100個(gè)≥0.1微米的顆粒和38個(gè)更大的顆粒。而ISO3級(jí)門檻更低，但仍常見于先進(jìn)晶圓制造廠，且比生產(chǎn)成熟制程的晶圓廠環(huán)境要潔凈得多。

在這種高標(biāo)準(zhǔn)之下，即使是人類呼吸都可能改變空氣中的微粒含量，更不用提馬斯克所說(shuō)的“吃漢堡和抽雪茄”。如果他真的在特斯拉的晶圓制造廠中作出上述行為，那么該工廠的良率與產(chǎn)量可能都將不保。

另一方面，馬斯克提到的特斯拉晶圓工廠也值得探究。

這位億萬(wàn)富翁曾經(jīng)提議特斯拉建立自己的芯片制造網(wǎng)絡(luò)，并滿足公司的定制芯片需求，隨后，特斯拉與三星就AI5和AI6芯片展開了廣泛的合作。而現(xiàn)在，他又透露，特斯拉計(jì)劃打造TeraFab工廠以生產(chǎn)2納米芯片。

盡管這一說(shuō)法聽起來(lái)激動(dòng)人心，但考慮到特斯拉在芯片制造領(lǐng)域毫無(wú)經(jīng)驗(yàn)，TeraFab更可能會(huì)是特斯拉與現(xiàn)有合作伙伴的一次進(jìn)階合作。