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光刻機(jī)巨頭開(kāi)始慌了,中國(guó)造不成光刻機(jī),但是要造一個(gè)光刻工廠!

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說(shuō)起半導(dǎo)體這塊,荷蘭的ASML公司一直是大哥大,靠賣(mài)極紫外光刻機(jī)賺得盆滿(mǎn)缽滿(mǎn),這些機(jī)器是做高端芯片的必備家伙。結(jié)果最近幾年,美國(guó)那邊搞出口管制,ASML有點(diǎn)坐不住了,尤其是看到中國(guó)不走尋常路,不是死磕單臺(tái)機(jī)器,而是直接上馬建大工廠,這事兒讓巨頭們心里直打鼓。

ASML公司老總彼得·溫寧克從2023年開(kāi)始就公開(kāi)表態(tài),說(shuō)美國(guó)主導(dǎo)的出口限制會(huì)逼中國(guó)自己搞定光刻技術(shù)。他在2023年1月的財(cái)報(bào)會(huì)上就直言,中國(guó)人聰明著呢,有那么多工程師,總能找出繞過(guò)壁壘的法子。那時(shí)候,中國(guó)客戶(hù)已經(jīng)占ASML銷(xiāo)售額的15%,丟了這塊市場(chǎng),營(yíng)收得大打折扣。溫寧克不是隨便說(shuō)說(shuō),公司數(shù)據(jù)在那擺著,中國(guó)訂單直接拉動(dòng)增長(zhǎng),要是沒(méi)了,麻煩大了。



接著,2023年4月,他接受路透社采訪,又強(qiáng)調(diào)政治干預(yù)會(huì)拖累整個(gè)行業(yè)。要是繼續(xù)限出口,中國(guó)就自產(chǎn)設(shè)備,不僅砸ASML的飯碗,還讓西方丟掉技術(shù)優(yōu)勢(shì)。第一季度中國(guó)出貨占比不小,需求火熱。他反復(fù)說(shuō),西方想通過(guò)禁技術(shù)轉(zhuǎn)移把中國(guó)隔離,結(jié)果中國(guó)自研勁頭更大,吃虧的還是自己。

下半年,2023年9月,他在論壇上直接點(diǎn)明,完全切斷中國(guó)技術(shù)聯(lián)系沒(méi)門(mén),這種隔離只會(huì)刺激中國(guó)創(chuàng)新,中國(guó)人才多,能找出專(zhuān)利外的新路。出口管制耽誤了些訂單,但中國(guó)客戶(hù)總有辦法維持生產(chǎn)。公司2023年全年?duì)I收276億歐元,中國(guó)占29%,第三季度升至46%。這些話基于財(cái)務(wù)現(xiàn)實(shí),中國(guó)訂單堆著,推高營(yíng)收,但也藏著風(fēng)險(xiǎn),中國(guó)一旦本土化,ASML銷(xiāo)量就滑坡。

2023年10月,他又說(shuō)美國(guó)新限制影響對(duì)華銷(xiāo)售15%,但中國(guó)對(duì)成熟技術(shù)需求強(qiáng)。公司發(fā)現(xiàn)有些產(chǎn)品本來(lái)荷蘭規(guī)則不管,美國(guó)一變就卡住。他覺(jué)得忽略中國(guó)市場(chǎng)規(guī)模是長(zhǎng)遠(yuǎn)隱患,中國(guó)需求拉動(dòng)全球產(chǎn)能。公司在中國(guó)裝的設(shè)備超千臺(tái),需要維護(hù),這成維系關(guān)系的籌碼。要是維護(hù)也限,中國(guó)自研會(huì)更快,比如在光源和光學(xué)上發(fā)力。



這些年,ASML從自信變警覺(jué),溫寧克的話成行業(yè)信號(hào),影響政策和公司調(diào)整。公司加碼中國(guó)本地服務(wù)團(tuán)隊(duì),應(yīng)對(duì)沖擊。他還提中國(guó)半導(dǎo)體基金超千億美元,這不只抬高需求,還加速本土研發(fā)。公司股價(jià)波動(dòng),投資者重看供應(yīng)鏈穩(wěn)不穩(wěn)。他的觀點(diǎn)用數(shù)據(jù)和案例撐腰,提中國(guó)人才和創(chuàng)新潛力,說(shuō)隔離沒(méi)用,只會(huì)讓中國(guó)更強(qiáng)。

2024年1月,他在股東會(huì)上說(shuō)技術(shù)共享是行業(yè)進(jìn)步必需,過(guò)度限會(huì)冒出對(duì)手。公司報(bào)告顯示,2023年中國(guó)訂單 backlog 幫了大忙,但未來(lái)競(jìng)爭(zhēng)猛。2024年4月24日,他退休,接班人是克里斯托夫·富凱,原首席運(yùn)營(yíng)官。退休前最后財(cái)報(bào)會(huì)上,他總結(jié)過(guò)去十年和中國(guó)合作貢獻(xiàn)營(yíng)收,但以后環(huán)境更激烈。

他的離開(kāi)標(biāo)志ASML新階段,繼續(xù)對(duì)付地緣因素。退休后,公司還面對(duì)中國(guó)壓力。2024年,美國(guó)限部分中國(guó)設(shè)備維護(hù),不能用美國(guó)零件,這不影響收益,但長(zhǎng)遠(yuǎn)是信號(hào)。富凱上臺(tái)后,公司預(yù)計(jì)2025年中國(guó)銷(xiāo)售降到20%,但實(shí)際需求強(qiáng),第三季度占42%。公司否認(rèn)是囤貨,說(shuō)是政策和宏觀需求。2025年10月15日,公司報(bào)告凈銷(xiāo)售75億歐元,全年預(yù)計(jì)增長(zhǎng)15%,靠先進(jìn)芯片和AI投資頂著,但中國(guó)部分會(huì)下滑,到2026年更明顯。



中國(guó)這邊,光刻領(lǐng)域卡在專(zhuān)利上,尤其是光源小型化,國(guó)外設(shè)計(jì)難抄。清華大學(xué)從2017年起組隊(duì),專(zhuān)攻穩(wěn)態(tài)微聚束極紫外光源。2021年,完成初步試驗(yàn),用1.064微米激光調(diào)制,脈沖寬度0.8到3納秒,峰值功率22千瓦。

2022年,推出功率超1千瓦方案,測(cè)試光學(xué)腔,穩(wěn)定鎖定4小時(shí),效率56%。這技術(shù)用環(huán)形加速器產(chǎn)13.5納米輻射,能供多臺(tái)設(shè)備,形成大生產(chǎn)體系,占地幾百平方米,中國(guó)地大,不愁地方,就這么繞過(guò)小型化難題。

SSMB EUV思路是用大加速器做光源,帶多臺(tái)光刻機(jī),建超大規(guī)模工廠。光刻像打印,荷蘭賣(mài)打印機(jī),但中國(guó)精密部件難造,那就建印刷廠,一個(gè)大光源管多條線,夠用就行,不賣(mài)設(shè)備,純基建。清華團(tuán)隊(duì)2024年和德國(guó)合作,相位鎖定實(shí)驗(yàn)推進(jìn)。2025年7月24日,在極紫外光刻膠上進(jìn)展,開(kāi)發(fā)聚碲酮基材料,提高分辨率和敏感度,國(guó)內(nèi)KrF/ArF光刻膠自產(chǎn)率不到5%,EUV全進(jìn)口,這步幫大忙。

國(guó)家層面,2025年2月11日,投370億歐元,支持本土極紫外光刻系統(tǒng)。錢(qián)瞄準(zhǔn)破ASML壟斷,系統(tǒng)2025年第三季度試產(chǎn),2026年批量。華為在東莞測(cè)部件,結(jié)合自研芯片。2023年8月29日,華為Mate60系列上市,用中芯國(guó)際7nm芯片,靠DUV多重曝光搞定,證明成熟節(jié)點(diǎn)自給,沒(méi)用EUV,但秀出繞彎子能力。手機(jī)支持5G,性能超預(yù)期,讓外界見(jiàn)識(shí)中國(guó)半導(dǎo)體韌性。



這些進(jìn)展擠壓ASML份額。中國(guó)不再全靠進(jìn)口,自主路寬。ASML 2025年預(yù)計(jì)中國(guó)占25%以上,但長(zhǎng)遠(yuǎn)本土設(shè)備上,巨頭影響力弱。公司呼吁調(diào)出口政策,保合作,別丟市場(chǎng)。中國(guó)用大工廠模式,縮小差距,技術(shù)沒(méi)全超,但速度快,決心足。半導(dǎo)體其他突破如華為手機(jī),超想象,推動(dòng)行業(yè)。

ASML從2023年擔(dān)憂(yōu),到2025年銷(xiāo)售調(diào)整,中國(guó)從追趕到大投資,步步實(shí)。未來(lái),中國(guó)EUV系統(tǒng)變量,格局變。ASML新老板得應(yīng)對(duì),中國(guó)本土化白熱化,但也可能生新機(jī)會(huì)。說(shuō)白了,這不是誰(shuí)贏誰(shuí)輸,技術(shù)擴(kuò)散擋不住,靠限沒(méi)用。

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