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光刻機巨頭開始慌了,中國造不成光刻機,但是要造一個光刻工廠!

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說起半導體這塊,荷蘭的ASML公司一直是大哥大,靠賣極紫外光刻機賺得盆滿缽滿,這些機器是做高端芯片的必備家伙。結果最近幾年,美國那邊搞出口管制,ASML有點坐不住了,尤其是看到中國不走尋常路,不是死磕單臺機器,而是直接上馬建大工廠,這事兒讓巨頭們心里直打鼓。

ASML公司老總彼得·溫寧克從2023年開始就公開表態(tài),說美國主導的出口限制會逼中國自己搞定光刻技術。他在2023年1月的財報會上就直言,中國人聰明著呢,有那么多工程師,總能找出繞過壁壘的法子。那時候,中國客戶已經占ASML銷售額的15%,丟了這塊市場,營收得大打折扣。溫寧克不是隨便說說,公司數(shù)據(jù)在那擺著,中國訂單直接拉動增長,要是沒了,麻煩大了。



接著,2023年4月,他接受路透社采訪,又強調政治干預會拖累整個行業(yè)。要是繼續(xù)限出口,中國就自產設備,不僅砸ASML的飯碗,還讓西方丟掉技術優(yōu)勢。第一季度中國出貨占比不小,需求火熱。他反復說,西方想通過禁技術轉移把中國隔離,結果中國自研勁頭更大,吃虧的還是自己。

下半年,2023年9月,他在論壇上直接點明,完全切斷中國技術聯(lián)系沒門,這種隔離只會刺激中國創(chuàng)新,中國人才多,能找出專利外的新路。出口管制耽誤了些訂單,但中國客戶總有辦法維持生產。公司2023年全年營收276億歐元,中國占29%,第三季度升至46%。這些話基于財務現(xiàn)實,中國訂單堆著,推高營收,但也藏著風險,中國一旦本土化,ASML銷量就滑坡。

2023年10月,他又說美國新限制影響對華銷售15%,但中國對成熟技術需求強。公司發(fā)現(xiàn)有些產品本來荷蘭規(guī)則不管,美國一變就卡住。他覺得忽略中國市場規(guī)模是長遠隱患,中國需求拉動全球產能。公司在中國裝的設備超千臺,需要維護,這成維系關系的籌碼。要是維護也限,中國自研會更快,比如在光源和光學上發(fā)力。



這些年,ASML從自信變警覺,溫寧克的話成行業(yè)信號,影響政策和公司調整。公司加碼中國本地服務團隊,應對沖擊。他還提中國半導體基金超千億美元,這不只抬高需求,還加速本土研發(fā)。公司股價波動,投資者重看供應鏈穩(wěn)不穩(wěn)。他的觀點用數(shù)據(jù)和案例撐腰,提中國人才和創(chuàng)新潛力,說隔離沒用,只會讓中國更強。

2024年1月,他在股東會上說技術共享是行業(yè)進步必需,過度限會冒出對手。公司報告顯示,2023年中國訂單 backlog 幫了大忙,但未來競爭猛。2024年4月24日,他退休,接班人是克里斯托夫·富凱,原首席運營官。退休前最后財報會上,他總結過去十年和中國合作貢獻營收,但以后環(huán)境更激烈。

他的離開標志ASML新階段,繼續(xù)對付地緣因素。退休后,公司還面對中國壓力。2024年,美國限部分中國設備維護,不能用美國零件,這不影響收益,但長遠是信號。富凱上臺后,公司預計2025年中國銷售降到20%,但實際需求強,第三季度占42%。公司否認是囤貨,說是政策和宏觀需求。2025年10月15日,公司報告凈銷售75億歐元,全年預計增長15%,靠先進芯片和AI投資頂著,但中國部分會下滑,到2026年更明顯。



中國這邊,光刻領域卡在專利上,尤其是光源小型化,國外設計難抄。清華大學從2017年起組隊,專攻穩(wěn)態(tài)微聚束極紫外光源。2021年,完成初步試驗,用1.064微米激光調制,脈沖寬度0.8到3納秒,峰值功率22千瓦。

2022年,推出功率超1千瓦方案,測試光學腔,穩(wěn)定鎖定4小時,效率56%。這技術用環(huán)形加速器產13.5納米輻射,能供多臺設備,形成大生產體系,占地幾百平方米,中國地大,不愁地方,就這么繞過小型化難題。

SSMB EUV思路是用大加速器做光源,帶多臺光刻機,建超大規(guī)模工廠。光刻像打印,荷蘭賣打印機,但中國精密部件難造,那就建印刷廠,一個大光源管多條線,夠用就行,不賣設備,純基建。清華團隊2024年和德國合作,相位鎖定實驗推進。2025年7月24日,在極紫外光刻膠上進展,開發(fā)聚碲酮基材料,提高分辨率和敏感度,國內KrF/ArF光刻膠自產率不到5%,EUV全進口,這步幫大忙。

國家層面,2025年2月11日,投370億歐元,支持本土極紫外光刻系統(tǒng)。錢瞄準破ASML壟斷,系統(tǒng)2025年第三季度試產,2026年批量。華為在東莞測部件,結合自研芯片。2023年8月29日,華為Mate60系列上市,用中芯國際7nm芯片,靠DUV多重曝光搞定,證明成熟節(jié)點自給,沒用EUV,但秀出繞彎子能力。手機支持5G,性能超預期,讓外界見識中國半導體韌性。



這些進展擠壓ASML份額。中國不再全靠進口,自主路寬。ASML 2025年預計中國占25%以上,但長遠本土設備上,巨頭影響力弱。公司呼吁調出口政策,保合作,別丟市場。中國用大工廠模式,縮小差距,技術沒全超,但速度快,決心足。半導體其他突破如華為手機,超想象,推動行業(yè)。

ASML從2023年擔憂,到2025年銷售調整,中國從追趕到大投資,步步實。未來,中國EUV系統(tǒng)變量,格局變。ASML新老板得應對,中國本土化白熱化,但也可能生新機會。說白了,這不是誰贏誰輸,技術擴散擋不住,靠限沒用。

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