繆舢/文

一家日本高端光刻激光設(shè)備關(guān)鍵企業(yè)的最新認(rèn)證，正在改寫(xiě)中國(guó)特種氣體產(chǎn)業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)版圖。

8月5日，中船特氣（688146）宣布其光刻氣產(chǎn)品（Kr/Ne、Ar/Ne/Xe）獲得日本GIGAPHOTON株式會(huì)社的合格供應(yīng)商認(rèn)證，有效期直至2030年。這一認(rèn)證不僅是一家公司里程碑式的突破，更折射出中國(guó)光刻氣產(chǎn)業(yè)從“單點(diǎn)突圍”邁向“集群崛起”的關(guān)鍵信號(hào)。

GIGAPHOTON：光刻產(chǎn)業(yè)鏈的技術(shù)明珠

日本GIGAPHOTON株式會(huì)社成立于2000年，專(zhuān)注深紫外（DUV）及極紫外（EUV）光刻光源技術(shù)，是全球僅有的兩家能提供高端光刻激光設(shè)備的企業(yè)之一，另一家Cymer已被ASML收購(gòu)。GIGAPHOTON光源設(shè)備需匹配純度達(dá)6N級(jí)（99.9999%）以上的光刻氣體，此前全球僅林德、法液空等國(guó)際巨頭能穩(wěn)定供應(yīng)。

此次中船特氣通過(guò)GIGAPHOTON認(rèn)證，標(biāo)志著國(guó)產(chǎn)光刻氣純度首次滿(mǎn)足EUV級(jí)制造要求，為打入3nm以下先進(jìn)制程供應(yīng)鏈奠定基礎(chǔ)。

華特氣體：不可撼動(dòng)的先行者

不過(guò)，在光刻氣細(xì)分領(lǐng)域，華特氣體（688268）技術(shù)突破更早，始終保持著技術(shù)領(lǐng)先與認(rèn)證紀(jì)錄。

資料顯示，2014年華特氣體在光刻氣領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)技術(shù)突破，2016年量產(chǎn)相關(guān)產(chǎn)品，并于2017年正式通過(guò)ASML認(rèn)證，這一紀(jì)錄一直保持至今未被打破，是國(guó)內(nèi)唯一通過(guò)ASML認(rèn)證的光刻氣廠(chǎng)商。2021年10月，華特氣體發(fā)布公告，宣布公司四款光刻氣產(chǎn)品（Ar/Ne/Xe、Kr/Ne等）均通過(guò)了日本GIGAPHOTON株式會(huì)社的合格供應(yīng)商認(rèn)證。由此，華特氣體的光刻氣產(chǎn)品成為國(guó)內(nèi)唯一同時(shí)擁有ASML+GIGAPHOTON雙認(rèn)證的國(guó)產(chǎn)企業(yè)。

憑借先發(fā)優(yōu)勢(shì)，華特氣體已進(jìn)入英特爾、美光等國(guó)際大廠(chǎng)供應(yīng)鏈，國(guó)內(nèi)市占率穩(wěn)居第一。

雙雄競(jìng)合：差異化路徑下的國(guó)產(chǎn)合力

值得關(guān)注的是，中船特氣與華特氣體已形成差異化互補(bǔ)型突破格局。華特氣體以ASML認(rèn)證為支點(diǎn)，作為ASML體系內(nèi)唯一中國(guó)氣體商，打通晶圓廠(chǎng)終端客戶(hù)；中船特氣則依托中船集團(tuán)資源，聚焦DUV/EUV光刻氣高端品類(lèi)，此次認(rèn)證后有望切入東京電子、應(yīng)用材料等設(shè)備廠(chǎng)商供應(yīng)鏈。

中船特氣此次獲得日本GIGAPHOTON株式會(huì)社的合格供應(yīng)商認(rèn)證，對(duì)國(guó)產(chǎn)光刻氣行業(yè)的深層影響遠(yuǎn)超單家企業(yè)獲益。不僅為后續(xù)國(guó)產(chǎn)氣體企業(yè)提供技術(shù)范本，縮短認(rèn)證周期，而且華特氣體與中船特氣雙巨頭格局下國(guó)產(chǎn)成本優(yōu)勢(shì)勢(shì)必?cái)D壓外企溢價(jià)空間，爭(zhēng)奪此前被日美企業(yè)壟斷光刻氣定價(jià)權(quán)。

從華特氣體8年前首獲ASML認(rèn)證，到現(xiàn)在中船特氣攻克GIGAPHOTON，從單點(diǎn)突破到系統(tǒng)破局，也正是中國(guó)光刻氣從“替代進(jìn)口”邁向“定義標(biāo)準(zhǔn)”的轉(zhuǎn)折點(diǎn)。在光刻氣“卡脖子”技術(shù)大戰(zhàn)的背景下，華特氣體與中船特氣雙巨頭競(jìng)合態(tài)勢(shì)形成，和隨后更多的中國(guó)企業(yè)相繼突破，光刻氣本土供應(yīng)鏈的黃金時(shí)代才真正開(kāi)啟。