曾幾何時(shí)，不少人還對(duì)ASML抱有幻想。認(rèn)為中國(guó)作為目前全球最大的芯片需求地區(qū)，以及2022年國(guó)產(chǎn)芯片3241.9億顆的巨大產(chǎn)量加持之下，ASML或許將“反抗”美國(guó)所提出的“美日荷芯片三方協(xié)議”。

但美夢(mèng)總有破碎的一天，6月30日荷蘭正式公布了出口管制細(xì)節(jié)，限制的技術(shù)包括最先進(jìn)的沉積設(shè)備和浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)；用于金屬剝離的原子層沉積（ALD）設(shè)備；設(shè)計(jì)用于硅、碳摻雜硅、硅鍺（SiGe）或碳摻雜SiGe外延生長(zhǎng)的設(shè)備等。

其后ASML則公布了光刻機(jī)領(lǐng)域的管制細(xì)則，TWINSCAN NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)必須取得許可證才可以進(jìn)行銷售。低端的TWINSCAN NXT：1980i則不在管制名單之中。

TWINSCAN NXT：1980i的分辨率為38nm，只有通過(guò)多重曝光技術(shù)的支持才能實(shí)現(xiàn)28nm和14nm制程的芯片工藝。但多重曝光技術(shù)也會(huì)顯著增加制造成本，同時(shí)在良品率以及技術(shù)指標(biāo)上也將大幅落后一次曝光技術(shù)所生產(chǎn)出來(lái)的晶圓。

ASML為什么做出“網(wǎng)開一面”的選擇呢？一方面是ASML出于自身利益的考慮，作為全球最大的光刻機(jī)生產(chǎn)廠商，ASML在光刻機(jī)領(lǐng)域幾乎沒有對(duì)手，因此也成為包括國(guó)內(nèi)芯片廠商在內(nèi)的唯一選擇。ASML故意留下低端光刻機(jī)這一選項(xiàng)，也讓國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體廠商無(wú)法拒絕，即使是低端機(jī)型、哪怕生產(chǎn)成本會(huì)顯著上升，也只能繼續(xù)購(gòu)買。

另一方面則是ASML想要進(jìn)行技術(shù)領(lǐng)域的“卡位”。一旦ASML停止銷售所有類型的光刻機(jī)，那么在無(wú)法購(gòu)入和使用之下，也會(huì)間接推動(dòng)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)廠商加速突破。如今ASLM選擇繼續(xù)銷售TWINSCAN NXT：1980i這種分辨率為38nm級(jí)別的低端光刻機(jī)也讓國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)處于一個(gè)尷尬境地——投入大量研發(fā)制造出來(lái)的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)將直面ASML的競(jìng)爭(zhēng)壓力，同時(shí)一旦國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)取得進(jìn)一步的突破，那么ASML可能解禁更為先進(jìn)的TWINSCAN NXT：2000i型號(hào)，從而一直壓制國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)。

再加上此前美國(guó)和日本已經(jīng)先后宣布出口管制的相關(guān)細(xì)節(jié)，再加上如今最后一方荷蘭的聲明，美日荷三方芯片協(xié)議也開始試圖從半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上中下游形成“合圍”。日本在半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)?3種材料和設(shè)備進(jìn)行管制，荷蘭對(duì)高端光刻機(jī)進(jìn)行出口管制，美國(guó)則對(duì)包括人工智能在內(nèi)的高端芯片進(jìn)行管制。

此時(shí)國(guó)產(chǎn)芯片的發(fā)展也到了一個(gè)關(guān)鍵的分水嶺，不可否認(rèn)此前借助ASML等外國(guó)廠商的幫助，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)也取得了快速的發(fā)展，2022年芯片產(chǎn)量達(dá)到3241.9億顆就是證明。但是隨著美日荷芯片三方協(xié)議達(dá)成，對(duì)于光刻機(jī)等設(shè)備的封鎖也在愈發(fā)嚴(yán)苛，在這個(gè)大前提下“造不如買”的錯(cuò)誤思想也應(yīng)該清醒了。核心技術(shù)只有控制在自己手中才是安全可靠的，否則一旦出現(xiàn)“斷供”的情況，此前幾十年的努力也將面臨一朝散盡。

但“亡羊補(bǔ)牢為時(shí)未晚”，國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)已經(jīng)突破了90nm，28nm也處于驗(yàn)證之中。國(guó)產(chǎn)蝕刻機(jī)已經(jīng)做到了3nm級(jí)別，離子注入機(jī)也實(shí)現(xiàn)了28nm全流程可控。雖然整體依然處于落后的位置，但是在全球最大芯片市場(chǎng)的加持之下，國(guó)產(chǎn)化的芯片設(shè)備已經(jīng)可以看到一絲打破封鎖的曙光。

就像我們?cè)诟哞F、大飛機(jī)、盾構(gòu)機(jī)、特高壓設(shè)備等領(lǐng)域從落后到領(lǐng)先最終在全球市場(chǎng)上取得優(yōu)勢(shì)一樣。芯片雖然是高科技的產(chǎn)物，但依然是一種商品，依賴于市場(chǎng)需求。如今我們擁有全球最大芯片市場(chǎng)，如果能夠?qū)⑹袌?chǎng)轉(zhuǎn)化為技術(shù)，那么也將徹底打破半導(dǎo)體長(zhǎng)期落后的現(xiàn)狀，從而實(shí)現(xiàn)科技產(chǎn)業(yè)的偉大復(fù)興。