前沿導(dǎo)讀

中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備廠商邑文微電子首席科學(xué)家葉國(guó)光在訪談中指出，在如今全球半導(dǎo)體設(shè)備廠商的規(guī)模排名中，荷蘭ASML、美國(guó)應(yīng)用材料、美國(guó)泛林集團(tuán)分別包攬前三名。此前的第一名是應(yīng)用材料，但是隨著中國(guó)企業(yè)在前幾年大量購(gòu)買(mǎi)ASML的設(shè)備，所以現(xiàn)在ASML的規(guī)模變成了第一。

中國(guó)企業(yè)從ASML手中采購(gòu)的設(shè)備至少有1000臺(tái)，其中包含了光刻機(jī)和其他配套設(shè)備，這些設(shè)備有一部分是拿來(lái)造芯片的，還有一部分是拿來(lái)給相關(guān)企業(yè)做研究用的。

千臺(tái)設(shè)備

ASML中國(guó)區(qū)總裁沈波此前在接受《中國(guó)日?qǐng)?bào)》采訪時(shí)指出，2024年第一季度中國(guó)大陸地區(qū)為ASML貢獻(xiàn)了49%的份額，是ASML全球最大的客戶(hù)市場(chǎng)。ASML從1988年將首臺(tái)設(shè)備運(yùn)到中國(guó)之后，截止到2023年年底，ASML在中國(guó)的光刻機(jī)加上測(cè)量機(jī)臺(tái)，其裝機(jī)數(shù)量接近1400臺(tái)。

這1400多臺(tái)設(shè)備，是光刻機(jī)與測(cè)量機(jī)臺(tái)的總裝機(jī)量，至于這里面到底有多少臺(tái)光刻機(jī)，沈波沒(méi)有透露。

參考資料：
荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥發(fā)布最新財(cái)報(bào) 來(lái)自中國(guó)大陸的凈系統(tǒng)銷(xiāo)售額占比高達(dá)49% - 中國(guó)日?qǐng)?bào)網(wǎng)

美國(guó)對(duì)于光刻機(jī)的管控是循序漸進(jìn)的，并沒(méi)有像EUV那樣一開(kāi)始就全面封鎖。

EUV設(shè)備是持續(xù)封鎖的，哪怕是海外企業(yè)在中國(guó)大陸地區(qū)建設(shè)的合資工廠也不被允許獲得該設(shè)備。而上一代的浸潤(rùn)式光刻機(jī)，美國(guó)分兩個(gè)階段實(shí)施封鎖，先封鎖NXT:2000i及以上設(shè)備，隨后又在2024年封鎖了NXT:1970i及以上設(shè)備，只要是新制造的浸潤(rùn)式光刻機(jī)，均不允許運(yùn)送至中國(guó)大陸地區(qū)。

而再差一些的干式DUV光刻機(jī)，美國(guó)沒(méi)有對(duì)其實(shí)施出口管制。

根據(jù)ASML官方發(fā)布的聲明顯示，從發(fā)布禁令到正式實(shí)施，中間有幾個(gè)月的緩沖時(shí)間。ASML可以在這個(gè)緩沖時(shí)間內(nèi)繼續(xù)向中國(guó)企業(yè)交付曾經(jīng)下單但是未交付的產(chǎn)品，不允許在此期間建立新訂單。

這個(gè)緩沖期，讓中國(guó)企業(yè)獲得了一定數(shù)量的光刻機(jī)以及其他配套設(shè)備。這些設(shè)備是中國(guó)企業(yè)在合法合規(guī)的情況下所獲得的產(chǎn)品，并且沒(méi)有違反美國(guó)“長(zhǎng)臂管轄”所制定的出口管制。

參考資料：

• Statement regarding export control regulations Dutch government | ASML
• ASML Q4 2023 - Financial results | ASML

這些設(shè)備有一部分是拿來(lái)制造芯片創(chuàng)造經(jīng)濟(jì)的，還有一部分是拿來(lái)進(jìn)行技術(shù)研究的。

采購(gòu)競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的產(chǎn)品進(jìn)行技術(shù)研究，這本身就是科技行業(yè)內(nèi)非常普遍的情況。早年間的日韓半導(dǎo)體企業(yè)，很大程度上都是采用了這種“逆向工程”的方法才實(shí)現(xiàn)了技術(shù)進(jìn)步。

技術(shù)研究

在日本尼康剛剛涉足光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)時(shí)，背靠日本通產(chǎn)省推動(dòng)的VLSI計(jì)劃（超大規(guī)模集成電路），讓日本NEC公司當(dāng)做中間商，從美國(guó)GCA手里面采購(gòu)了一臺(tái)光刻機(jī)設(shè)備，隨后尼康團(tuán)隊(duì)對(duì)其進(jìn)行了技術(shù)拆解，采用“逆向工程”的方法掌握了光刻機(jī)設(shè)備的制造技術(shù)。

然后尼康便推出了自家的第一臺(tái)光刻機(jī)SR-1，SR-1的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)與美國(guó)GCA的光刻機(jī)高度相似，但是尼康還在銷(xiāo)售光刻機(jī)的同時(shí)提供一定程度的技術(shù)服務(wù)，這讓尼康的光刻機(jī)開(kāi)始在市場(chǎng)上獲得青睞。

據(jù)《人民日?qǐng)?bào)》多年前發(fā)布的專(zhuān)欄報(bào)告指出，“逆向工程”之后的階段是“正向工程”，這個(gè)階段則是相關(guān)企業(yè)依托逆向工程所獲的技術(shù)去開(kāi)發(fā)自家的自主設(shè)備。

從1950年開(kāi)始，日本生產(chǎn)的絕大部分工業(yè)品都存在模仿美國(guó)產(chǎn)品的情況。1970年前后日本進(jìn)入逆向工程階段，隨后在1980年過(guò)渡到正向工程，這才實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和工業(yè)化的大爆發(fā)。

同樣采用逆向工程提升技術(shù)的，還有韓國(guó)三星。

三星的逆向工程與日本存在差異，三星會(huì)將同行的產(chǎn)品拆解之后，分析其功能特性，這個(gè)功能為什么這么設(shè)計(jì)，那個(gè)功能為什么這么設(shè)計(jì)，這樣設(shè)計(jì)有什么用。

在三星搞懂功能之后，便開(kāi)始對(duì)同行的產(chǎn)品進(jìn)行不同程度的“加減”。通過(guò)組合多種現(xiàn)有的技術(shù)，三星制造出了大量暢銷(xiāo)全球的產(chǎn)品。先通過(guò)逆向工程拆解對(duì)手的產(chǎn)品，搞懂對(duì)手的設(shè)計(jì)理念，然后在此之上進(jìn)行自主化的創(chuàng)新設(shè)計(jì)，這是三星產(chǎn)品可以占領(lǐng)全球市場(chǎng)的核心因素。

參考資料：
【三星研究】（六）在逆向工程中追求“興奮”的感覺(jué)--財(cái)經(jīng)--人民網(wǎng)

現(xiàn)在光刻機(jī)設(shè)備的復(fù)雜程度和設(shè)計(jì)難度，已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了曾經(jīng)步進(jìn)光刻機(jī)和投影光刻機(jī)的技術(shù)水平。

如果想用逆向工程的方法去復(fù)制一臺(tái)ASML的先進(jìn)光刻機(jī)，這非常不現(xiàn)實(shí)。ASML光刻機(jī)的子系統(tǒng)零件數(shù)量多，并且每一個(gè)子系統(tǒng)都有相關(guān)的技術(shù)專(zhuān)利，而且目前只有ASML公司擁有將所有子系統(tǒng)整合成整體并讓其持續(xù)運(yùn)行的軟件技術(shù)。

哪怕是通過(guò)逆向工程掌握了其所有子系統(tǒng)的制造技術(shù)，還有軟件運(yùn)行系統(tǒng)這個(gè)難題。運(yùn)行軟件當(dāng)中涉及到晶圓工廠和設(shè)備制造商常年累計(jì)的大量數(shù)據(jù)指標(biāo)，這些數(shù)據(jù)是支撐光刻機(jī)持續(xù)運(yùn)行的核心技術(shù)。

中國(guó)企業(yè)手中的ASML光刻機(jī)，就如同三星當(dāng)年的方法一樣。先研究其技術(shù)設(shè)計(jì)，搞懂技術(shù)邏輯之后，用自己的技術(shù)方法以及供應(yīng)鏈體系制造一臺(tái)國(guó)產(chǎn)的光刻機(jī)，在根源上杜絕被卡脖子的風(fēng)險(xiǎn)。