2024 年 9 月，中方將國產(chǎn)氟化氬光刻機(jī)列入推廣目錄，這本是推動產(chǎn)業(yè)升級的正常舉措，卻引發(fā)美荷兩國幾乎同步表態(tài)，言辭間充滿不滿，讓人再次看清半導(dǎo)體領(lǐng)域的長期博弈。

光刻機(jī)對芯片制造到底有多重要，大家心里都有數(shù)。沒有它，就沒法在硅片上精準(zhǔn)刻出電路圖案，芯片性能再強(qiáng)也白搭。全球市場長期被荷蘭ASML公司把持，這家企業(yè)花了幾十年時(shí)間，投入巨資，才在極紫外和深紫外技術(shù)上站穩(wěn)腳跟。它的設(shè)備成了高端芯片生產(chǎn)的主力，可背后也離不開多國供應(yīng)鏈和政策支持。

美國從2019年起就施壓荷蘭，阻止ASML向中國出口極紫外光刻機(jī)，后來范圍一步步擴(kuò)大到深紫外領(lǐng)域。2023年荷蘭先把部分浸沒式機(jī)型納入管制，2024年情況更緊。9月6日，荷蘭政府宣布進(jìn)一步擴(kuò)大出口許可要求，明確NXT:1970i和1980i這兩款主力深紫外浸沒式光刻機(jī)對華出口必須申請?jiān)S可證，第二天就生效。ASML公司當(dāng)天回應(yīng)，說這讓許可發(fā)放方式更協(xié)調(diào)統(tǒng)一，以前有些要向美國申請，現(xiàn)在統(tǒng)一到荷蘭政府手里。

就在這個節(jié)骨眼上，中國工業(yè)和信息化部發(fā)布了2024年版首臺套重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄，把國產(chǎn)氟化氬光刻機(jī)列入其中。設(shè)備參數(shù)寫得清清楚楚：光源193納米，分辨率≤65納米，套刻精度≤8納米。這意味著在成熟制程芯片生產(chǎn)上，我們有了自主選項(xiàng)，不用完全依賴外部。

消息出來沒幾天，美國商務(wù)部也跟著表態(tài)，支持荷蘭的做法，還強(qiáng)調(diào)要維護(hù)供應(yīng)鏈安全。荷蘭那邊議會和官員的公開說法同樣直指中國獨(dú)立發(fā)展給歐洲安全帶來隱患。兩邊聲音幾乎同步傳出，核心指向就是對中國自主研發(fā)光刻機(jī)技術(shù)的強(qiáng)烈不滿。

商務(wù)部新聞發(fā)言人9月8日回應(yīng)得很明確：中方注意到相關(guān)情況，對荷蘭在2023年措施基礎(chǔ)上進(jìn)一步擴(kuò)大管制表示不滿，指出美國不斷泛化國家安全概念，脅迫個別國家加嚴(yán)管制，嚴(yán)重威脅全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈穩(wěn)定，損害相關(guān)國家和企業(yè)正當(dāng)權(quán)益，中方堅(jiān)決反對。

這番表態(tài)讓不少人感慨，這些年我們被卡脖子的滋味太深刻了。從基礎(chǔ)研究到整機(jī)突破，科研團(tuán)隊(duì)投入了多少心血和資源，才在光刻機(jī)這個燒錢又難啃的領(lǐng)域取得實(shí)打?qū)嵉倪M(jìn)展。

2020年前后，國內(nèi)就已經(jīng)有了180納米制程的設(shè)備，雖然跟最先進(jìn)水平還有距離，但那是完全靠自己力量邁出的第一步。到了2024年氟化氬光刻機(jī)進(jìn)入推廣目錄，意味著中低端芯片生產(chǎn)可以更多用上國產(chǎn)方案，每年省下的進(jìn)口開支不是小數(shù)，也讓供應(yīng)鏈安全有了更多底氣。

美荷兩國的批評聲音并沒有讓國內(nèi)停步，反而成了繼續(xù)前行的動力。國家通過大基金等渠道持續(xù)支持集成電路產(chǎn)業(yè)，上下游企業(yè)加強(qiáng)協(xié)作，光源、光學(xué)系統(tǒng)、工件臺這些關(guān)鍵部件的國產(chǎn)化率穩(wěn)步提升。芯片制造廠逐步導(dǎo)入成熟制程的國產(chǎn)設(shè)備，手機(jī)、汽車電子等領(lǐng)域的自主配套能力明顯增強(qiáng)。

進(jìn)入2025年，外部壓力還在繼續(xù)。ASML公司多次提到，受出口管制影響，對華業(yè)務(wù)占比從之前的高點(diǎn)回落，2025年全年預(yù)計(jì)回到歷史正常水平20%左右。公司財(cái)報(bào)和公開表態(tài)里反復(fù)強(qiáng)調(diào)中國仍是重要市場，但現(xiàn)實(shí)就是新增先進(jìn)設(shè)備出口受限，連已售設(shè)備的維護(hù)服務(wù)都面臨更多障礙。荷蘭政府后來又調(diào)整了披露敏感出口數(shù)據(jù)的做法，美國也更新了出口管理?xiàng)l例，把更多實(shí)體和子系統(tǒng)納入限制。

ASML前首席執(zhí)行官彼得·溫寧克在任時(shí)就說過，限制措施只會加速中國自己的研發(fā)步伐。新任領(lǐng)導(dǎo)層雖然立場不同，但市場數(shù)據(jù)擺在那里：中國作為全球最大半導(dǎo)體消費(fèi)市場，需求長期穩(wěn)定，中低端制程芯片的自主生產(chǎn)能力提升，直接帶動了本土設(shè)備企業(yè)的成長。

到2026年初，情況更清楚了。國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)在成熟工藝節(jié)點(diǎn)上自主率持續(xù)提高，部分企業(yè)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)規(guī)模應(yīng)用國產(chǎn)光刻設(shè)備。產(chǎn)業(yè)鏈上下游的協(xié)同越來越順暢，材料、軟件、檢測等配套環(huán)節(jié)也跟得上節(jié)奏。

這不是一夜之間的事，而是多年積累、水到渠成的結(jié)果。