前沿導(dǎo)讀

荷蘭半導(dǎo)體觀察者馬克·海金克在訪談中指出：光刻技術(shù)是一種非常獨(dú)特的比賽，ASML花費(fèi)了40年的時(shí)間鉆研光刻機(jī)，才達(dá)到了如今的水平。但ASML也確實(shí)預(yù)見到了中國(guó)企業(yè)有獨(dú)特的理由在光刻機(jī)上面投入更多的時(shí)間和精力來研發(fā)自己的制造設(shè)備，哪怕是華為這種從沒有涉足過半導(dǎo)體制造技術(shù)的“門外漢”，也在深入研究相關(guān)的設(shè)備技術(shù)，這種情況在整個(gè)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展史上還是第一次出現(xiàn)。

技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)

目前還在研究光刻機(jī)整機(jī)制造的企業(yè)屈指可數(shù)，國(guó)際層面只剩下荷蘭、日本、中國(guó)這三個(gè)國(guó)家的企業(yè)。

早期的芯片產(chǎn)業(yè)，由于其技術(shù)水平?jīng)]有現(xiàn)在這么先進(jìn)，晶體管規(guī)模也不大，所以對(duì)于光刻機(jī)的需求也沒有那么高。隨著時(shí)代的發(fā)展，芯片產(chǎn)業(yè)進(jìn)入到大規(guī)模時(shí)代，光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)也迎來了升級(jí)，進(jìn)入到了追求高分辨率、高制造效率、高穩(wěn)定性的市場(chǎng)格局。

彼時(shí)研發(fā)光刻機(jī)的企業(yè)數(shù)量較多，知名的就是美國(guó)GCA、珀金埃爾默、日本的佳能、尼康、荷蘭飛利浦（ASML母公司）。

這些研發(fā)光刻機(jī)的企業(yè)，要么就是老牌的工業(yè)光學(xué)巨頭，要么就是具有多個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的跨國(guó)工業(yè)集團(tuán)，而中國(guó)的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)在這個(gè)時(shí)期只是當(dāng)做一種科研項(xiàng)目進(jìn)行，并沒有考慮到后續(xù)的商業(yè)化發(fā)展。

美國(guó)是晶體管、集成電路、光刻技術(shù)的發(fā)明國(guó)，早期依靠軍工產(chǎn)業(yè)讓芯片技術(shù)實(shí)現(xiàn)了商業(yè)化發(fā)展。為了滿足軍工行業(yè)的數(shù)量要求，美國(guó)企業(yè)開始研發(fā)可以量產(chǎn)芯片的光刻機(jī)，GCA和珀金埃爾默依靠產(chǎn)業(yè)的先發(fā)優(yōu)勢(shì)，成為了全球光刻機(jī)的第一任市場(chǎng)霸主。

緊接著就是日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的崛起，日本通產(chǎn)省推出了超大規(guī)模集成電路計(jì)劃，從材料、技術(shù)、設(shè)備等多個(gè)領(lǐng)域提升本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

光刻機(jī)是制造芯片的核心設(shè)備，尼康和佳能在光學(xué)領(lǐng)域深耕多年，承擔(dān)了日本光刻機(jī)的研發(fā)工作。并且通產(chǎn)省還聯(lián)合東芝等存儲(chǔ)器制造商參與光刻機(jī)的優(yōu)化工作，帶動(dòng)整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈一起前進(jìn)。

尼康通過對(duì)美國(guó)GCA光刻機(jī)進(jìn)行逆向工程，掌握了其制造邏輯，隨后便“照貓畫虎”開發(fā)了尼康首款光刻機(jī)NSR-1010G。

為了搶占美國(guó)企業(yè)的市場(chǎng)，日本企業(yè)開始注重客戶服務(wù)，不但售賣光刻機(jī)，而且還同時(shí)提供技術(shù)服務(wù)，解決客戶在使用過程中的部分問題。

由于GCA的市場(chǎng)占比極高，而且沒有競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手，這導(dǎo)致GCA管理層開始怠慢客戶，許多制造商對(duì)此非常不滿。而日本企業(yè)正是意識(shí)到了這一點(diǎn)，開始用客戶服務(wù)拉攏人心，一步步奪走了美國(guó)企業(yè)的客戶群體，成為了第二任全球光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)的霸主。

ASML早年是飛利浦集團(tuán)旗下的技術(shù)部門，但是由于其遲遲無法給母公司創(chuàng)造經(jīng)濟(jì)，于是飛利浦將該部門獨(dú)立出來，與荷蘭設(shè)備制造商ASM以及荷蘭政府共同組成新合資公司ASML。

ASML早期的光刻設(shè)備整體性能落后，尤其是在面對(duì)美日兩國(guó)的產(chǎn)品時(shí)，除了價(jià)格其他一點(diǎn)優(yōu)勢(shì)也沒有。哪怕是價(jià)格便宜，也幾乎沒有外來客戶，都是飛利浦自家的工廠使用。

但是隨著PAS系列光刻機(jī)的推出，ASML自家的對(duì)準(zhǔn)技術(shù)開始受到關(guān)注。晶圓臺(tái)對(duì)準(zhǔn)技術(shù)是ASML一直以來的強(qiáng)項(xiàng)，此前因?yàn)樾酒膬?nèi)部設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單，所以對(duì)準(zhǔn)技術(shù)沒有明顯優(yōu)勢(shì)。但是隨著芯片內(nèi)部設(shè)計(jì)越來越復(fù)雜，擁有對(duì)準(zhǔn)技術(shù)的ASML光刻機(jī)開始受到追捧，尼康和佳能的市場(chǎng)空間開始被蠶食。

聯(lián)合發(fā)展

負(fù)責(zé)光刻機(jī)制造的企業(yè)，幾乎都是有精密工業(yè)基礎(chǔ)的企業(yè)。

尼康和佳能是光學(xué)工業(yè)巨頭，也是全球范圍內(nèi)的頂級(jí)攝影器材供應(yīng)商，并且佳能還負(fù)責(zé)制造3D打印、虛擬現(xiàn)實(shí)、掃描儀、印刷機(jī)等工業(yè)設(shè)備。

在日本政府推動(dòng)的超大規(guī)模集成電路計(jì)劃當(dāng)中，與尼康、佳能聯(lián)合開發(fā)設(shè)備的還有東芝等企業(yè)，東芝是存儲(chǔ)芯片制造商，不但掌握存儲(chǔ)芯片的設(shè)計(jì)技術(shù)，而且旗下還有制造工廠和制造生產(chǎn)線，這種合作模式屬于是讓兩個(gè)涉足制造業(yè)技術(shù)的企業(yè)進(jìn)行深度融合。

ASML也是聯(lián)合制造商臺(tái)積電一起開發(fā)設(shè)備，依靠臺(tái)積電的浸潤(rùn)式技術(shù)甩開了日本企業(yè)。

而中國(guó)企業(yè)發(fā)展光刻機(jī)則是拉攏產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)較為頂尖的企業(yè)，以綜合水平較強(qiáng)的企業(yè)為核心，支撐其實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)突破。

華為是目前最符合這個(gè)定位的企業(yè)，同時(shí)涉足通訊產(chǎn)業(yè)與半導(dǎo)體設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)，而且還擁有終端消費(fèi)市場(chǎng)的業(yè)務(wù)板塊。只要將制造生產(chǎn)線和制造設(shè)備環(huán)節(jié)打通，華為就會(huì)變成類似于美國(guó)英特爾、韓國(guó)三星的大型科技集團(tuán)，不但擁有芯片設(shè)計(jì)能力，而且還擁有制造能力，并且還擁有自己的消費(fèi)品牌，走垂直一體化路線。