你敢信嗎？中國光刻機(jī)能摸到國際中端門檻，背后藏著個“敢啃硬骨頭”的狠人——賀榮明。2002年他剛接手上海微電子時，國外企業(yè)把光刻機(jī)技術(shù)捂得比命還緊，誰能想到他后來不僅拉來一堆外國老專家?guī)兔?，還拿專利反制了想卡我們脖子的外國公司？這事兒聽起來像傳奇，但每一步都是實(shí)打?qū)嵉乃揽摹?/p>

2002年3月，上海微電子在張江高科技園區(qū)掛牌，錢主要是上海政府和地方單位湊的，賀榮明當(dāng)董事長兼總經(jīng)理，帶了幾十號人從頭干起。辦公地方簡陋得像個小作坊，設(shè)備全靠進(jìn)口，國內(nèi)精密制造的光學(xué)、機(jī)械、軟件控制跟國外差了不止一個檔次。他沒急著到處求人，先琢磨怎么扎穩(wěn)根基。

賀榮明先拉上海交大、浙大、華中科大這些名校合作，開了光學(xué)和精密工程專業(yè)。學(xué)生讀研讀博期間就能來公司實(shí)習(xí)，上手做光學(xué)鏡片校準(zhǔn)、激光源調(diào)試這些活兒。公司還給年輕人規(guī)劃路：要么升管理層，要么當(dāng)技術(shù)帶頭人負(fù)責(zé)具體模塊。到2005年，這招就拉來上百畢業(yè)生，團(tuán)隊(duì)慢慢壯起來了。

2004年，團(tuán)隊(duì)拼出第一臺投影式光刻機(jī)樣機(jī)，針對中低端芯片加工。測試時卡在了光學(xué)對準(zhǔn)精度上，團(tuán)隊(duì)反復(fù)調(diào)激光和鏡頭，花了好幾個月才搞定。賀榮明協(xié)調(diào)供應(yīng)商，國內(nèi)能買到的部件就國內(nèi)拿，關(guān)鍵的才從國外進(jìn)。2005年樣機(jī)上生產(chǎn)線試跑，終于證明了從紙上到實(shí)物的可行性，但這只是入門級，離高端還差遠(yuǎn)了。

2008年出了糟心事兒：一家外資半導(dǎo)體公司用雙倍工資挖走一批工程師，這些人手里捏著光學(xué)集成和軟件調(diào)試的核心技術(shù)，項(xiàng)目差點(diǎn)黃了。賀榮明趕緊搞了知識庫系統(tǒng)——每個項(xiàng)目做完必須交技術(shù)文檔，里面有設(shè)計參數(shù)、測試數(shù)據(jù)、故障處理辦法，審核通過就存檔。新人上手快多了，就算有人跳槽，知識也留了下來，還加嚴(yán)了保密條款。后來團(tuán)隊(duì)擴(kuò)到幾百人，效率一下子上去了。

賀榮明從一開始就盯緊了專利。2002年就組了專利團(tuán)隊(duì)，天天查國際數(shù)據(jù)庫找空白點(diǎn)申請。2009年申請了光學(xué)鏡頭涂層和曝光控制的專利，2010年跟歐洲供應(yīng)商合作引進(jìn)部件技術(shù)，順帶申請了聯(lián)合專利。還搭上國家科技項(xiàng)目，拿資金買了不少精密儀器，給自主研發(fā)打了底子。

國外專家是賀榮明的“秘密武器”。2000年代中期，他開始邀請歐洲和美國的老工程師過來，這些人干光學(xué)幾十年，經(jīng)驗(yàn)老到得像“活字典”。他們定期飛上海，給團(tuán)隊(duì)講課，幫著調(diào)試設(shè)備。比如德國專家優(yōu)化了激光源穩(wěn)定度，美國專家教了機(jī)械裝配的規(guī)范流程。公司團(tuán)隊(duì)學(xué)了國際操作標(biāo)準(zhǔn)，項(xiàng)目推進(jìn)快了不少。

這些外國專家不是白請的，賀榮明通過政府渠道給他們提供指導(dǎo)機(jī)會，還簽了合作協(xié)議。漸漸地，形成了混編團(tuán)隊(duì)，中國工程師跟外國專家并肩干活，技術(shù)交流頻繁。到2010年代初，這模式幫公司從中低端往中端爬了一大步。

2012年，歐洲一家公司在中國申請了光刻機(jī)專利，權(quán)利范圍拉得老大，明顯想堵中國的路。上海微電子團(tuán)隊(duì)一查，發(fā)現(xiàn)這專利漏洞多：描述太寬泛，根本沒細(xì)化實(shí)施細(xì)節(jié)。公司趕緊向國家知識產(chǎn)權(quán)局提異議，遞了一堆證據(jù)。審了兩次后，那專利一半被砍了。公司馬上補(bǔ)自家技術(shù)，申請修正專利，把剩下的部分納入自家保護(hù)，反客為主變成了壁壘。從那以后，公司的專利池越來越大，再也不怕國外隨便卡脖子了。

公司沒停步。2017年推出后段封裝光刻機(jī)，用在芯片組裝線上；2020年90納米制程的光刻機(jī)交付客戶；2021年據(jù)說搞出28納米光刻機(jī)，差距縮小了不少。現(xiàn)在正往更先進(jìn)的節(jié)點(diǎn)沖。賀榮明還通過星空科技收購中旗新材，進(jìn)了半導(dǎo)體材料領(lǐng)域當(dāng)實(shí)際控制人，2025年部分業(yè)務(wù)拆成芯上微裝，繼續(xù)深耕光刻機(jī)業(yè)務(wù)。

現(xiàn)在上海微電子在自主技術(shù)上站穩(wěn)了腳，雖然極紫外光刻還需要追趕，但在中國半導(dǎo)體裝備里已經(jīng)算中堅力量了。那些曾經(jīng)看不起我們的外國公司，現(xiàn)在估計也得掂量掂量，畢竟我們不僅有了自己的團(tuán)隊(duì)，還有了能壓制他們的專利。

參考資料：人民日報《中國光刻機(jī)的破局之路》；新華社《上海微電子：自主創(chuàng)新突破半導(dǎo)體裝備瓶頸》