說起中國光刻機(jī)的發(fā)展，很多人第一時間想到的是那些高端技術(shù)壁壘，但其實背后有不少鮮為人知的實打?qū)嵟?。賀榮明這個人，在2002年的時候就被派去負(fù)責(zé)上海微電子裝備公司的組建，這家公司就是專攻光刻機(jī)的。

那個年代，中國在半導(dǎo)體裝備上基本是起步階段，基礎(chǔ)薄弱得不行，國外企業(yè)把核心技術(shù)捂得死死的。賀榮明本來在上海電氣總公司干得風(fēng)生水起，但一頭扎進(jìn)這個領(lǐng)域后，發(fā)現(xiàn)差距大到讓人直搖頭。他沒急著到處求人，而是先從國內(nèi)資源入手，聯(lián)合幾所大學(xué)培養(yǎng)人才，同時還想辦法拉國外專家過來幫忙。這事兒聽起來簡單，做起來可費勁了。

先聊聊公司怎么起步的。2002年3月，上海微電子裝備有限公司在張江高科技園區(qū)掛牌，資金主要是上海市政府和一些地方單位出的。賀榮明當(dāng)董事長兼總經(jīng)理，帶了個小團(tuán)隊，從頭建實驗室和生產(chǎn)線。

早期員工就幾十號人，設(shè)備全靠進(jìn)口，辦公地方也簡陋。賀榮明評估了國內(nèi)精密制造水平，發(fā)現(xiàn)光學(xué)、機(jī)械和軟件控制這些環(huán)節(jié)跟國際比差遠(yuǎn)了。他定了個長遠(yuǎn)計劃，分成技術(shù)引進(jìn)、人才積累和自主研發(fā)三步走。那個時候，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正從代工轉(zhuǎn)向創(chuàng)新，光刻機(jī)作為芯片制造的核心裝備，卡脖子問題特別嚴(yán)重。沒有這個，芯片全產(chǎn)業(yè)鏈就談不上完整。

賀榮明帶隊去德國談合作，因為德國在工業(yè)精密領(lǐng)域牛氣沖天。結(jié)果德國企業(yè)那邊工程師直接潑冷水，說中國基礎(chǔ)太差，就算給全套圖紙也造不出來。這話雖然扎心，但也點醒了賀榮明。他轉(zhuǎn)而專注本土人才，從2003年開始，公司跟上海交通大學(xué)、浙江大學(xué)、華中科技大學(xué)這些學(xué)校合作，開光學(xué)和精密工程專業(yè)。

學(xué)生讀研讀博期間，就能進(jìn)公司實習(xí)，動手做光學(xué)鏡片校準(zhǔn)、激光源調(diào)試這些活兒。公司還給這些年輕人規(guī)劃職業(yè)路子，要么升管理層，要么當(dāng)技術(shù)帶頭人，負(fù)責(zé)具體模塊研發(fā)。到2005年，這招拉來上百畢業(yè)生，團(tuán)隊慢慢壯起來。

2004年，公司拼出第一臺光刻機(jī)樣機(jī)，是投影式的，針對中低端芯片加工。測試時，遇上光學(xué)對準(zhǔn)精度難題，團(tuán)隊反復(fù)調(diào)激光和鏡頭，花了好幾個月。賀榮明協(xié)調(diào)供應(yīng)商，從國內(nèi)買部件，關(guān)鍵的從國外進(jìn)。

2005年，這臺樣機(jī)上生產(chǎn)線，在小半導(dǎo)體廠試跑，證明了從紙上到實物的可行性。但這還只是入門級，離高端遠(yuǎn)著呢。公司接著跟科研院所聯(lián)手，開發(fā)控制軟件。2006年，改進(jìn)版設(shè)備出來，分辨率提到微米級，應(yīng)用范圍廣了點。

2008年，出事兒了。一家外資半導(dǎo)體公司用雙倍工資挖走一批工程師，這些人手里捏著光學(xué)集成和軟件調(diào)試的技術(shù)。公司項目差點兒卡殼，賀榮明趕緊建知識庫系統(tǒng)。規(guī)定每個項目完事兒后，必須交技術(shù)文檔，里頭有設(shè)計參數(shù)、測試數(shù)據(jù)、故障處理辦法。審核通過就存檔，新人上手快多了。就算有人跳槽，知識也留下來。公司還加嚴(yán)保密條款，防敏感信息漏出去。這波操作后，團(tuán)隊擴(kuò)到幾百人，效率上去了。

專利這塊兒，賀榮明從一開始就盯緊了。從2002年起，他就組專利團(tuán)隊，查國際數(shù)據(jù)庫，找空白點申請。

2009年，公司申請了光學(xué)鏡頭涂層和曝光控制的專利。2010年，跟歐洲供應(yīng)商合作，引部件技術(shù)，順帶申請聯(lián)合專利。這給自主開發(fā)打下底子。公司還搭上國家科技項目，拿資金買精密儀器。

2011年，推出90納米制程的光刻機(jī)原型，里頭用了國產(chǎn)光學(xué)模塊，測試分辨率到中游水平。研發(fā)中，團(tuán)隊搞定振動控制，用精密減震平臺。賀榮明推高校聯(lián)合實驗室，共享設(shè)備。

國外專家這事兒，是賀榮明的一大招。他從2000年代中期開始，邀請歐洲和美國的老工程師過來。這些人干光學(xué)幾十年，經(jīng)驗老道。他們定期飛上海，給講座，幫調(diào)試設(shè)備。比如，有德國專家優(yōu)化激光源穩(wěn)定，美國專家教機(jī)械裝配規(guī)范。

公司團(tuán)隊學(xué)到國際操作標(biāo)準(zhǔn)，項目推進(jìn)快了。這幫外國人不是白請的，賀榮明通過政府渠道，給他們提供指導(dǎo)機(jī)會，還簽合作協(xié)議。漸漸地，形成一支混編團(tuán)隊，中國工程師跟國外專家并肩干活，技術(shù)交流頻繁。到2010年代初，這模式幫公司從中低端往中端爬。

2012年，歐洲一家公司在中國申請光刻機(jī)專利，權(quán)利范圍拉得老大，明顯想堵中國路子。上海微電子團(tuán)隊一查，發(fā)現(xiàn)專利漏洞多，描述寬泛，沒細(xì)化實施細(xì)節(jié)。公司向國家知識產(chǎn)權(quán)局提異議，遞證據(jù)。

審兩次后，專利一半被砍。公司馬上補自家技術(shù)，申請修正，把剩的部分納入自家保護(hù)。這招反客為主，把對手的專利變成自家壁壘。從那以后，公司專利池子大了，防國外卡脖子。

公司沒停步。2017年，出后段封裝光刻機(jī)，用在芯片組裝線上。2020年，90納米設(shè)備交付客戶。2021年，據(jù)說搞出28納米光刻機(jī)，差距縮小了。目前，正往更先進(jìn)節(jié)點沖。賀榮明還通過星空科技收購中旗新材，進(jìn)半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，當(dāng)實際控制人。公司2025年部分業(yè)務(wù)拆成芯上微裝，繼續(xù)光刻機(jī)業(yè)務(wù)。現(xiàn)在，上海微電子在自主技術(shù)上站穩(wěn)腳，雖極紫外光刻還需追趕，但在中國半導(dǎo)體裝備里算中堅力量。