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日本光刻膠壟斷底氣何在

日本光刻膠壟斷全球90%的高端市場，這瓶被稱為“芯片靈魂”的膠水，從上世紀80年代就被日本企業(yè)死磕——幾代工程師用幾十年時間試出分子級的“祖?zhèn)髅胤健薄?/strong>

EUV光刻膠的金屬雜質含量必須低于0.1ppb，相當于幾個標準游泳池的水里不能混進一粒沙子的金屬雜質；

核心組分專利被JSR和東京應化攥在手里，占了85%；

加上幾十年攢下的完善供應鏈，這三道壁壘讓日本穩(wěn)穩(wěn)卡住全球半導體的脖子。

中國至暗時刻一粒沙致全線停擺

而中國，曾被這瓶“靈魂膠水”死死扼住喉嚨——高端光刻膠100%依賴進口，沒有它，ASML光刻機就是廢鐵，臺積電3納米產線得停擺，國內晶圓廠也一樣。

換個牌子？生產線得調試數月，良率掉一半，停線成本是天文數字。

核心專利攥在別人手里，供應鏈說斷就斷，那種“卡脖子”的疼，中國半導體人最清楚。

中低端市場逆襲起步

中國沒別的路，只能從零開始。

不跟日本硬碰硬，先從中低端市場練手——這是半導體人琢磨出的“循序漸進”。

北京科華、晶瑞電材、彤程新材這些企業(yè)，先從門檻低的KrF光刻膠這些成熟制程產品下手，一點點啃技術，攢人才，賺啟動資金。

在中低端市場摸爬滾打幾年，總算有了些樣子，至少不用再100%依賴進口，為往高端沖攢下了底氣。

實驗室里的繡花攻堅戰(zhàn)

實驗室里的較量，是分子級的“繡花”——光刻膠的分子鏈怎么排列，光敏劑加多少才能精準感光，溶劑純度差0.001%都會讓芯片良率掉一半。

北大團隊守著冷凍電子顯微鏡，一幀幀看光刻膠分子在液態(tài)下的三維結構，以前只能靠經驗試錯，現在能從根上設計分子，缺陷率降了三成。

純度控制是道坎，EUV光刻膠的金屬雜質得低于0.1ppb，實驗室的超凈間里，工程師戴著三層手套調溶液，連呼吸都得輕著來，生怕灰塵飄進去。

配方優(yōu)化更磨人，北京科華的團隊試了兩百多種組合，光敏劑換了八代，才讓光刻膠在硅片上的附著度達標。

這些在分子層面死磕的功夫，沒人看得到，但正是這些不起眼的突破，讓實驗室的樣品離量產越來越近。

光刻膠量產破冰之戰(zhàn)

2025年12月，南大光電在寧波的ArF光刻膠量產線悄悄投產了。

設計產能50噸/年，不算大，但這條線一啟動，就往中芯國際、華虹集團的晶圓廠里送產品——不是實驗室的樣品，是能穩(wěn)定供貨的量產膠。

用在哪兒？90納米到28納米工藝，這些國內主流晶圓廠的成熟制程，終于有了國產ArF光刻膠的身影。

這不是小打小鬧，是國產ArF光刻膠第一次規(guī)?；?，從實驗室的燒杯、試管，到工廠里的反應釜、提純塔，再到半導體產線的涂膠顯影機，這條路走了快十年。

以前日本企業(yè)提起中國光刻膠，總說“實驗室行，量產不行”，現在這條50噸的線，就是撕開的第一道口子——28納米雖不是最頂尖，但足夠讓國內晶圓廠多一個選擇，不用再攥著日本膠的供貨單提心吊膽。

破冰船國產化加速跑

國產光刻膠的市場份額正在加速爬升。

2025年，KrF光刻膠國產化率接近30%，ArF光刻膠也突破10%，不再是實驗室里的樣品，而是實實在在走進了晶圓廠的產線。

企業(yè)的業(yè)績也跟著水漲船高，彤程新材電子材料業(yè)務收入2024年同比增長超50%，晶瑞電材在光刻膠領域從虧損變成盈利。

從實驗室到商業(yè)市場，國產光刻膠正踩著油門往前沖，這股加速的勢頭，讓日本企業(yè)不得不重新打量這個曾經被他們看不起的對手。

追趕賽里的底氣逆襲

中國在EUV光刻膠領域還在樣品測試階段，離日本的量產水平差著5到10年，可追趕的速度比誰都快。

實驗室里，上海新陽的EUV膠已經能在硅片上形成7納米線條，雖然良率只有日本產品的六成，但比去年提升了三成；北京科華的光敏劑分子純度突破99.9999%，離EUV要求的0.1ppb雜質標準只差一步。

挑戰(zhàn)肯定有，產業(yè)生態(tài)還沒搭全，光刻膠配套的顯影液、剝離液大多靠進口；懂EUV膠配方的資深工程師全國也就百十來個，比光刻機工程師還稀缺。

但國家大基金二期投了20億到光刻膠產業(yè)鏈，企業(yè)每年研發(fā)投入占比超20%，連中科院化學所都專門成立了光刻膠實驗室。

日本企業(yè)開始慌了，去年JSR把EUV膠產能擴了30%，東京應化還跑到中國設研發(fā)中心。

可中國半導體人憋著股勁：以前被卡脖子，我們從0做到ArF量產；現在EUV膠，別人走了三十年，我們爭取十年追上來。

這不是空話，實驗室的樣品在變，產線的良率在漲，供應鏈的國產替代清單越來越長——別人能卡脖子，我們就能追上去，這股勁，就是從“陪跑”到“并跑”的底氣。