近日，經(jīng)區(qū)縣推薦、資格審核和綜合評(píng)定，中共重慶市委宣傳部、中共重慶市委文明辦評(píng)選產(chǎn)生了2025年第二批次“重慶好人”共80名（組）。重慶高新區(qū)黨工委宣傳部推薦的北京理工大學(xué)重慶微電子研究院院長、首席科學(xué)家謝會(huì)開獲評(píng)敬業(yè)奉獻(xiàn)“重慶好人”。

謝會(huì)開，男，1967年2月生，北京理工大學(xué)教授、博士生導(dǎo)師，北京理工大學(xué)重慶微電子研究院院長、首席科學(xué)家。他在微電子領(lǐng)域深耕30余年，懷揣“科技報(bào)國”信念，毅然放棄海外優(yōu)厚條件回到家鄉(xiāng)，從零起步建立北京理工大學(xué)重慶微電子研究院。他帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)攻堅(jiān)克難，在微電子領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)多項(xiàng)重大突破：自主研發(fā)的LTD單軸靜電微振鏡芯片打破國外壟斷，3D工業(yè)相機(jī)填補(bǔ)國內(nèi)空白，F(xiàn)TS-DT-101型微型近紅外光譜儀實(shí)現(xiàn)民生領(lǐng)域應(yīng)用。他牽頭建設(shè)的MEMS先進(jìn)微納工藝研究中心，已成為國內(nèi)領(lǐng)先的MEMS微鏡設(shè)計(jì)與工藝研究平臺(tái)。如今，年近六旬的他依然堅(jiān)持每天工作12小時(shí)，積極推動(dòng)科研成果在山城落地生根。謝會(huì)開曾獲第四屆中國科技產(chǎn)業(yè)化促進(jìn)會(huì)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)卓越貢獻(xiàn)獎(jiǎng)、2024十大重慶科技創(chuàng)新年度人物、西部（重慶）科學(xué)城“金鳳凰”杰出人才等榮譽(yù)。

科技報(bào)國、產(chǎn)業(yè)興渝的微電子領(lǐng)域?qū)＜?/strong>

一毅然歸國，打造國內(nèi)一流科研院所

謝會(huì)開在微電子領(lǐng)域的研究長達(dá)30多年，他本科就讀于北理工微電子專業(yè)，1996年出國深造，在美國卡內(nèi)基梅隆大學(xué)獲得博士學(xué)位，之后在佛羅里達(dá)大學(xué)開啟了18年的教授生涯。在這期間，謝會(huì)開勤奮耕耘，在MEMS領(lǐng)域積累了深厚的科研經(jīng)驗(yàn)，獲得了數(shù)十項(xiàng)美國和國際專利。

事業(yè)如火如荼之際，他收到了回國發(fā)展的邀約。當(dāng)時(shí)，他已成為海外高校終身教授，要做放下一切立即回國的決定并不容易。但對(duì)他來說，能夠?yàn)樽鎳暙I(xiàn)畢生所學(xué)，是他一直滿懷期待的，更何況他的故鄉(xiāng)就是重慶。此外，隨著國際芯片市場(chǎng)風(fēng)云變幻，科技正成為大國競(jìng)爭(zhēng)的核心要素，研究成果在A國商業(yè)化還是在B國，產(chǎn)生的效應(yīng)截然不同。海外游子，思鄉(xiāng)心切，他當(dāng)即決定，回國。

2021年12月，北京理工大學(xué)重慶微電子研究院正式入駐西永微電園科研大樓，謝會(huì)開任院長。一切都需要從零起步，團(tuán)隊(duì)只有十來個(gè)人，人手嚴(yán)重不足；辦公室也才剛開始裝修，設(shè)施設(shè)備同樣需要逐步完善。最讓他著急的還是MEMS研發(fā)線的開工建設(shè)，項(xiàng)目一度停滯，而真正施工起來，方案又不停改動(dòng)，被迫擱淺，整個(gè)方案前前后后改了20多版，耗時(shí)一年半。

在他和團(tuán)隊(duì)的不懈努力和推動(dòng)下，2023年11月，首期投資1.5億元的MEMS工藝線成功通線，成為西部地區(qū)唯一一條世界級(jí)的MEMS全流程工藝研發(fā)線。北京理工大學(xué)重慶微電子研究院也從此躋身國內(nèi)一流微電子科研院所，吸引源源不斷的人才加入其中，扎根重慶。

二攻堅(jiān)克難，成就“小盒子”精彩亮相

“深耕科研鑄利器，學(xué)成歸國報(bào)家國”是謝會(huì)開多年的信念。為推動(dòng)電熱芯片研發(fā)，他傾注了近30年心血：在北理工中關(guān)村校區(qū)，曾為調(diào)試以微鏡芯片為核心的微型近紅外光譜儀至深夜，僅在實(shí)驗(yàn)室外以饅頭、泡面充饑；在重慶北理微電院微納工藝線，常年戴著兩三層塑膠手套開展微鏡芯片流片工作，手掌被汗水浸泡成常態(tài)；北京與重慶1400多公里的距離，因芯片研發(fā)成為他最熟悉的行程軌跡。

在他的帶領(lǐng)下，研究院接連突破關(guān)鍵技術(shù)，成功研發(fā)出LTD單軸靜電微振鏡芯片、LVD線性掃描電熱微鏡、3D工業(yè)相機(jī)等一系列先進(jìn)成果。2024年，謝會(huì)開團(tuán)隊(duì)成功研發(fā)出微型FTS光譜儀，即一個(gè)半個(gè)巴掌大的“小盒子”。采用的全球首款超大位移電熱MEMS微鏡及獨(dú)特的光學(xué)設(shè)計(jì)，是這款擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的光譜儀的“心臟”，微型FTS光譜儀可在食品、農(nóng)業(yè)、石油化工等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

為了讓這顆“心臟”的穩(wěn)定性保持最優(yōu)狀態(tài)，研發(fā)團(tuán)隊(duì)多名核心成員堅(jiān)持不懈尋找適合做芯片的材料，共收集處理了4000多個(gè)樣品數(shù)據(jù)。通過無數(shù)個(gè)日夜數(shù)不清的反復(fù)試驗(yàn)，終于從浩如煙海的備選材料中找到了滿足要求的金屬和介電質(zhì)雙材料組合。

萬丈高樓平地起，在謝會(huì)開的帶領(lǐng)下，北京理工大學(xué)重慶微電子研究院僅用了兩年半時(shí)間，就成為國內(nèi)最前沿的MEMS研究中試平臺(tái)之一。尤其是他一手打造的MEMS先進(jìn)微納工藝研究中心，已是目前國內(nèi)唯一一個(gè)掌握全驅(qū)動(dòng)機(jī)理MEMS微鏡設(shè)計(jì)與工藝的科研機(jī)構(gòu)。

三行穩(wěn)致遠(yuǎn)，讓更多領(lǐng)域用上中國“芯”

謝會(huì)開始終堅(jiān)信：“核心技術(shù)唯有落地產(chǎn)業(yè)化，方能避免淪為‘空中樓閣’?！睘榇?，他帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)錨定消費(fèi)電子對(duì)高效率、小尺寸電源芯片的需求，研發(fā)出CMOS兼容的集成無源功率器件，并推動(dòng)研究院與中電科芯片技術(shù)（集團(tuán)）有限公司、聯(lián)合微電子中心等本地企業(yè)，及華為、萬集科技等行業(yè)頭部企業(yè)開展緊密產(chǎn)學(xué)研合作，讓科研與產(chǎn)業(yè)需求深度綁定。

以北京理工大學(xué)重慶微電子研究院為平臺(tái)，他牽頭的MEMS與智能微系統(tǒng)研究所聚焦智能化、輕量化、微型化多功能集成聲光電系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)，拓展其在物聯(lián)網(wǎng)、自動(dòng)駕駛、生物醫(yī)療、航空航天等領(lǐng)域的應(yīng)用，持續(xù)推動(dòng)產(chǎn)學(xué)研融合向縱深發(fā)展。2024年，團(tuán)隊(duì)建成國內(nèi)領(lǐng)先的MEMS微納工藝線，超凈面積逾1100平方米，具備高精度、高效率加工能力，實(shí)現(xiàn)特色MEMS研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化全鏈條支撐。

如今，年近六旬的他仍每天工作12小時(shí)，帶領(lǐng)200余人團(tuán)隊(duì)建成西部領(lǐng)先的6吋MEMS工藝線，推動(dòng)科研成果在山城落地生根。從農(nóng)家子弟到國際學(xué)者，從實(shí)驗(yàn)室到生產(chǎn)線，謝會(huì)開用三十年如一日的堅(jiān)守詮釋了“把論文寫在祖國大地上”的報(bào)國情懷，為重慶打造“33618”現(xiàn)代制造業(yè)集群體系注入強(qiáng)勁創(chuàng)新動(dòng)能，以持續(xù)創(chuàng)新踐行“科技報(bào)國”初心。