企創(chuàng)進(jìn)企服務(wù)行動(dòng)系列報(bào)道

在芯片制程節(jié)點(diǎn)在納米尺度不斷延伸的今天，“潔凈”與“精準(zhǔn)”是影響芯片制造精度與良率的關(guān)鍵命題。有一位學(xué)者深耕“光-機(jī)-電-液”一體化，聚焦微納尺度流體控制技術(shù)，捕捉極微污染物的蹤跡，為高端集成電路（IC）裝備自主化提供多項(xiàng)關(guān)鍵基礎(chǔ)技術(shù)支撐——他就是浙江大學(xué)“百人計(jì)劃”研究員、博士生導(dǎo)師申英男，一位扎根半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域，以基礎(chǔ)研究創(chuàng)新與關(guān)鍵技術(shù)開(kāi)發(fā)回應(yīng)國(guó)家戰(zhàn)略需求的青年科學(xué)家。

申英男（左一）陪同美國(guó)四院院士J.A.Rogers參觀(guān)超潔凈流控實(shí)驗(yàn)室

身為“流體人”，錨定IC產(chǎn)業(yè)痛點(diǎn)

“流體是我們的‘老本行’；IC制造的上百道工藝以及光刻、濕法刻蝕等核心機(jī)臺(tái)均涉及到超潔凈高精密流體控制問(wèn)題?！鄙暧⒛械目蒲羞x擇，從一開(kāi)始就瞄準(zhǔn)了流體相關(guān)的半導(dǎo)體裝備研發(fā)“卡脖子”環(huán)節(jié)。

他聚焦的高精密超潔凈流體控制、極微污染物檢測(cè)與控制領(lǐng)域，是高端集成電路制造的關(guān)鍵技術(shù)需求。半導(dǎo)體液體工藝介質(zhì)中，十億分之一含量的金屬污染物、小至50納米的顆粒污染物就可能讓芯片性能劣化甚至導(dǎo)致“廢片”，而他的工作正是為這些“看不見(jiàn)、摸不著”的隱患打造一套由“精準(zhǔn)捕網(wǎng)”、測(cè)量手段與預(yù)防策略所構(gòu)成的體系。這種“以產(chǎn)業(yè)痛點(diǎn)為科研起點(diǎn)”的導(dǎo)向，讓他的研究始終扎根實(shí)際，與其所在“啟爾”團(tuán)隊(duì)一道，成為半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域不可或缺的創(chuàng)新力量。

從浙大到普渡、從美國(guó)回國(guó)效力的雙向淬煉

申英男的學(xué)術(shù)之路，體現(xiàn)了本土深耕與國(guó)際前沿研究的融合。他在浙江大學(xué)機(jī)械電子工程專(zhuān)業(yè)完成本博完整培養(yǎng)，并基于本土半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì)，系統(tǒng)掌握機(jī)-電-流體一體化的核心知識(shí)體系，這份扎實(shí)的“浙大底色”讓他始終錨定國(guó)家戰(zhàn)略需求。

博士畢業(yè)后，他赴美國(guó)普渡大學(xué)開(kāi)展博士后研究，并于2023年晉升為普渡大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院研究員（Lead Research Scholar）。海外研學(xué)期間，他持續(xù)深挖微納尺度下的流體控制與顆粒物控制等相關(guān)基礎(chǔ)研究。2024年，他回歸求是園，加盟機(jī)械工程學(xué)院、流體動(dòng)力基礎(chǔ)件與機(jī)電系統(tǒng)全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，持續(xù)身體力行“基礎(chǔ)研究-技術(shù)創(chuàng)新-產(chǎn)業(yè)應(yīng)用”的閉環(huán)探索。

從頂刊論文到產(chǎn)業(yè)實(shí)踐，把成果做到實(shí)處

在半導(dǎo)體裝備相關(guān)流體檢測(cè)與控制技術(shù)領(lǐng)域的多年深耕，讓申英男的研究同時(shí)收獲了學(xué)界與業(yè)界的認(rèn)可。他在Physical Review Letters等發(fā)表論文20余篇，基礎(chǔ)研究成果曾獲美國(guó)物理學(xué)會(huì)亮點(diǎn)論文、英國(guó)皇家物理學(xué)會(huì)《Physics World》、美國(guó)科學(xué)促進(jìn)會(huì)（AAAS）旗下媒體報(bào)道等。

技術(shù)創(chuàng)新方面，他授權(quán)/公開(kāi)發(fā)明專(zhuān)利20余項(xiàng)，含美國(guó)專(zhuān)利1項(xiàng)。在中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)半導(dǎo)體裝備分會(huì)成立大會(huì)的委員特邀報(bào)告、我國(guó)半導(dǎo)體裝備龍頭企業(yè)之一——北方華創(chuàng)“屏芯而論”CTO系列沙龍等場(chǎng)合，他所分享的半導(dǎo)體液體工藝介質(zhì)污染物測(cè)控技術(shù)研究進(jìn)展、難點(diǎn)痛點(diǎn)與未來(lái)趨勢(shì)，成為半導(dǎo)體裝備及其核心零部件領(lǐng)域的學(xué)界與業(yè)界所共同關(guān)注的重要議題之一。

緊貼半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)需求，積極搭建產(chǎn)學(xué)研橋梁

“半導(dǎo)體核心裝備與關(guān)鍵技術(shù)的自主可控與自我發(fā)展，不但需要基礎(chǔ)研究的長(zhǎng)期耕耘，更需要面向產(chǎn)業(yè)需求的不斷聚焦?！弊鳛閲?guó)家級(jí)青年人才計(jì)劃入選者，申英男始終堅(jiān)持將國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略需求作為個(gè)人學(xué)術(shù)研究方向的指引與依歸。

目前，他擔(dān)任DLIS教育部工程研究中心副主任，主持國(guó)家自然科學(xué)基金委原創(chuàng)探索計(jì)劃項(xiàng)目等多項(xiàng)國(guó)家級(jí)項(xiàng)目，深度參與3項(xiàng)國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)，將研究方向與集成電路裝備自主化的迫切需求緊密對(duì)接。他還積極搭建學(xué)界與產(chǎn)業(yè)界溝通橋梁，曾為新生代浙商解讀關(guān)鍵技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)應(yīng)用前景，讓實(shí)驗(yàn)室的基礎(chǔ)研究成果真正服務(wù)于相關(guān)制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展，踐行“把論文寫(xiě)在祖國(guó)大地上”的科研理念。

依托“啟爾”團(tuán)隊(duì)，培養(yǎng)半導(dǎo)體裝備研發(fā)的后備力量

作為博士生導(dǎo)師，他將國(guó)際前沿技術(shù)與產(chǎn)業(yè)實(shí)際需求融入研究生培養(yǎng)過(guò)程，引導(dǎo)學(xué)生“聚焦真問(wèn)題、練就硬本領(lǐng)”?；貒?guó)任職兩年來(lái)，依托流體動(dòng)力基礎(chǔ)件與機(jī)電系統(tǒng)全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，在以付新教授為帶頭人的“啟爾”團(tuán)隊(duì)支持下，他帶領(lǐng)一支由十余名研究生、多名工程師組成的研發(fā)隊(duì)伍，形成了“基礎(chǔ)研究—技術(shù)攻關(guān)—產(chǎn)業(yè)驗(yàn)證”的閉環(huán)科研模式，為集成電路裝備領(lǐng)域培養(yǎng)兼具理論功底與實(shí)踐能力的后備力量。因此，他作為主要完成人之一獲得了2025年中國(guó)機(jī)械行業(yè)產(chǎn)教融合教育教學(xué)創(chuàng)新大賽一等獎(jiǎng)。

從浙大校園到普渡實(shí)驗(yàn)室，再回到求是園繼續(xù)服務(wù)于半導(dǎo)體裝備國(guó)家戰(zhàn)略需求，申英男始終銘記：為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)“流體人”的力量。這位心系國(guó)之重器、扎根產(chǎn)業(yè)需求、探索學(xué)術(shù)前沿的青年學(xué)者，正以不懈努力為我國(guó)集成電路裝備高端化、自主化發(fā)展貢獻(xiàn)自己的力量。

來(lái)源：省青年高層次人才協(xié)會(huì)

責(zé)編：葉　揚(yáng)

美編：鄭娜莉

一審：何百岳

二審：方佳佳

三審：王陸軍