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你以為日本只會造材料?整條產(chǎn)線關鍵機臺一大半都是日本的

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1. 先把話說明白:

日本設備不是“配角”,是“整條產(chǎn)線里一大半的關鍵機臺供應商”。

  • 整體半導體制造設備上,日本公司大概拿著約 30% 左右的全球市場份額,僅次于美國,是世界第二大設備供應國。

  • 2023 年全球半導體設備銷售額大概是1060 億美元,日本企業(yè)在里面是僅次于美企的那一極。

換句話說:

ASML 負責那臺最貴的光刻機,日本則把光刻機周邊、薄膜、清洗、量測、測試這整套“生態(tài)位”吃得滿滿的。
2. 按你熟悉的工藝鏈來拆:日本設備強在哪些環(huán)節(jié)? 2.1 光刻周邊:涂膠顯影 + 清洗,日本是“必帶隊友”

Tokyo Electron(TEL)是這里的絕對大佬:

  • coater/developer(涂膠/顯影機臺)上,TEL 的全球市占率接近90%+,幾乎是壟斷。

  • 同時在干法刻蝕、薄膜沉積、清洗、晶圓邦定、probe 等設備上也都有 20~30% 級別的全球份額。

SCREEN則是清洗領域的王者:

  • SCREEN 自己就宣傳:其單片清洗機是“全球 No.1 清洗設備供應商”。

對你在產(chǎn)線上的意義很直觀:

  • 你在光刻前后的涂膠、顯影、去膠、表面處理、單片清洗,

  • 很大概率就是在用 TEL + SCREEN 的機臺寫 recipe。

說白了:ASML 負責“照相”,TEL/SCREEN 負責“化妝 + 洗臉 + 護膚”。沒有這套,光刻機發(fā)揮不出水平。
2.2 薄膜 & 刻蝕:日本設備撐起了大塊產(chǎn)能

還是 TEL 為主:

  • 在全球刻蝕設備里,TEL 約27% 市占;

  • 薄膜沉積(CVD、PVD 等)上約28%+,個別子品類甚至到 30%+。

這意味著:

  • 你在做柵極氧化層、間隔層、阻擋層、硬掩膜、金屬互連這些薄膜相關模塊時,

  • 以及配套的圖形刻蝕、contact/via/metal etch

  • 很大一部分機臺其實都是日本品牌。

對工藝工程師來說,日本廠商的重要性體現(xiàn)在:

  • 工藝窗口協(xié)同:材料 + 設備 + recipe 綁得很緊,很多優(yōu)化是和 TEL 聯(lián)合開發(fā)出來的。

  • 新節(jié)點導入:像 3D NAND 超深孔刻蝕、新一代高 k/金屬柵、Ruthenium 等新材料沉積,TEL 一直在推新機臺和新 recipe。

2.3 光刻機本體:不是 EUV 老大,但 DUV 和封裝端少不了日本

大家都知道EUV 是 ASML 一家獨大,但在DUV 和封裝用光刻上,日本同樣非常關鍵:

  • 全球光刻機主要就是ASML + Nikon + Canon 三家,ASML 雖然占 90% 以上收入,但 Nikon 和 Canon 仍然合起來有大概10% 左右市占,主要集中在 DUV(KrF/ArF)和 i-line 以及封裝/功率器件等應用。

  • Canon、Nikon 也在做針對先進封裝、功率器件、小尺寸晶圓的專用 stepper / scanner,例如 200mm 功率器件、先進封裝用 i-line 機臺。

所以在很多成熟制程、功率器件、模擬/車規(guī)、封裝線上:

  • 你看到的光刻機不一定是 ASML,很可能就是Nikon 或 Canon

2.4 量測 & 缺陷檢測:日本是“顯微鏡 + 放大鏡”

Hitachi High-Tech基本是CD-SEM + e-beam 檢測的頭部玩家:

  • 它長期是CD-SEM 市場的主導廠商,新出的 GS1000、GT2000 等產(chǎn)品就是為EUV/High-NA EUV 時代的 3D 結構、高精度量測做的。

  • 支持寬視場、高靈敏度、低損傷多點量測,幫助 EUV 工藝找缺陷、做 CD 控制。

另外一塊是晶圓檢測/缺陷檢測、表面檢查,Hitachi High-Tech、SCREEN 等也都有布局。

對你來說:

  • CD 失控、線邊粗糙、EUV 隨機缺陷、3D 結構量測

  • 你每天盯的那些 SEM 圖、缺陷圖,大概率就是用日本設備拍出來的。

2.5 測試設備(ATE):最后這關,日本同樣是頭牌

真正把芯片“打分”的那部分:

  • Advantest是全球領先的自動測試設備(ATE)廠商之一,被 TechInsights 連續(xù)多年評為全球測試設備類第一。

  • 報道里提到,它掌握了全球超過一半的高端芯片測試市場,尤其是 SoC、memory、AI 加速器這類高價值芯片測試。

這意味著:

  • 無論你是做前段 Fab 還是后段 OSAT,

  • 最終那幾道功能測試、性能測試、老化測試,

  • 很多都是在 Advantest 的機臺上跑出來的 bin 信息。

所以前面工藝做得再好,最后一刀 “Pass/Fail” 的權力,很多時候在日本測試機臺手里。
3. 為啥全行業(yè)都說“日本設備不可或缺”? 3.1 工藝層面的“不可替代性”

你可以把“工藝”理解成:設備 + 材料 + recipe 的耦合系統(tǒng)。

  • 日本既在材料端強,又在設備端強,兩邊互相綁定:例如 TEL 機臺 + 日本光刻膠/清洗液。

  • 某個關鍵設備一換:

    • 整套工藝窗口、良率、可靠性都要重做

    • 先進節(jié)點(EUV、3D NAND、HBM 等)容錯空間本來就小,更不敢亂換供應商

所以很多 Fab 在做投資決策時,幾乎把日本廠商當成:

“默認選項 + 長期技術伙伴”,不是簡單的“買一臺機器”而已。
3.2 全球供應鏈角度:日本是“第二條腿”

現(xiàn)在的格局大概是這樣:

  • 美國:Applied、Lam、KLA 等,掌握很多關鍵工藝模塊

  • 荷蘭:ASML,EUV 光刻機老大

  • 日本:在30% 左右的制造設備 + 50% 左右的材料上長期占據(jù)優(yōu)勢,形成一個完整的“設備+材料生態(tài)”。

政策和地緣政治層面:

  • 各種報告和智庫分析都把日本定位為“美國主導聯(lián)盟里的關鍵節(jié)點”:設備和材料一起構成對高端制程出口管制的核心抓手。

簡單粗暴一點講:

美國管 IP 和規(guī)則,荷蘭管最貴那臺機,日本管“生產(chǎn)線上的半壁江山設備 + 大部分化學品”。
3.3 行業(yè)景氣:AI + 新一輪擴產(chǎn),日本設備在風口中央
  • 全球晶圓廠投資在 2025 年預計再創(chuàng)新高,設備投入超過1100 億美元,中國、臺灣、韓國、日本都是主要買家。

  • 日本本土也在借 TSMC 熊本廠、Rapidus 等項目復興芯片產(chǎn)業(yè),本地對設備的需求也在穩(wěn)步上升。

  • 對設備廠來說(尤其是 TEL、SCREEN、Advantest 這些),AI、HBM、先進封裝都是實打實的訂單來源。

4. 換成“說人話”的幾個比喻

如果把一座晶圓廠比喻成一個龐大的廚房:

  • ASML:那臺最貴、最復雜的主烤箱(EUV)

  • 美企設備:高端料理機、刀具組合、溫控系統(tǒng)

  • 日本設備

    • 涂膠顯影 = 調(diào)味、上漿工序的自動工作站

    • 清洗機 = 洗菜池 + 洗碗機

    • 刻蝕/薄膜設備 = 各種爐子、油鍋、蒸箱

    • CD-SEM/缺陷檢 = 品控室顯微鏡

    • ATE = 出菜前的試吃官 + 質(zhì)檢官

如果把這些日本設備全抽走:

這家廚房不是“味道差一點”,而是——菜根本做不出來,光有一臺頂級烤箱完全沒用。
5. 對你這種半導體工程師的實際啟示
  1. 做工藝 / 設備的

  • 和日本設備廠的 AE / FAE 高度綁定是常態(tài),

  • 新節(jié)點導入、良率爬坡、成本優(yōu)化,很多時候是和 TEL / SCREEN / Hitachi High-Tech / Advantest 聯(lián)合項目。

做產(chǎn)業(yè)或戰(zhàn)略判斷的

  • 看“先進制程”不能只盯 TSMC、ASML,

  • 要把日本設備產(chǎn)業(yè)當成一個獨立的技術力量來看:它決定了“全世界能把產(chǎn)能開到什么水平、工具有多穩(wěn)定”。

如果你考慮職業(yè)路徑

  • 日本設備廠 = 站在“全行業(yè)工藝交匯點”的位置,

  • 你會接觸到全球主要 Fab 的真實需求,而不是只見到一家廠的內(nèi)部問題。

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