01.

天車？是什么東西？

對(duì)于不熟悉半導(dǎo)體領(lǐng)域的人來說，它是一個(gè)顯得陌生的名詞。

而對(duì)于熟悉半導(dǎo)體領(lǐng)域的人來說，它是一件讓人艷羨的神器。

表面上，它只是用來搬運(yùn)大尺寸晶圓的運(yùn)輸車，以及背后的一套運(yùn)輸系統(tǒng)。

但實(shí)際上，它的復(fù)雜和精細(xì)程度遠(yuǎn)超想象，這個(gè)看似簡(jiǎn)單的搬運(yùn)系統(tǒng)，是半導(dǎo)體晶圓廠中一項(xiàng)至關(guān)重要的技術(shù)創(chuàng)新，堪稱晶圓廠的“大動(dòng)脈”。

當(dāng)前在全球范圍內(nèi)，天車系統(tǒng)99%被日本大福和村田兩家公司壟斷。

大多數(shù)國內(nèi)廠商與國際產(chǎn)品有較大差距，核心關(guān)鍵基本外采。

基本沒有一家能拿出高端產(chǎn)品來對(duì)標(biāo)日系。

但中國人就是不服輸，眼下在南京江寧區(qū)，已經(jīng)有一家公司悄然崛起。

這家公司名叫道達(dá)智能科技。

國內(nèi)唯一交付客戶5.3米/秒的國產(chǎn)半導(dǎo)體OHT天車，核心指標(biāo)比肩國際一流，這就是他們的底氣。

在國際廠商壟斷的鐵門上，已經(jīng)能看到希望的光亮了。

02.

天車為什么長期被國際廠商壟斷？

因?yàn)樗_實(shí)過于先進(jìn)了。

AMHS系統(tǒng)，又稱天車系統(tǒng)，隨著晶圓廠產(chǎn)能規(guī)模擴(kuò)大、工藝流程復(fù)雜化以及對(duì)潔凈度的極致要求，不占地面空間、在車間上空軌道上運(yùn)行的天車方案逐漸成為行業(yè)標(biāo)配，用以滿足高產(chǎn)能、高穩(wěn)定、高潔凈室的需求。

說白了，就是一套搬運(yùn)系統(tǒng)，但牛就牛在人家是專門搬運(yùn)晶圓的。

五個(gè)特點(diǎn)：

路網(wǎng)密：0.5平方公里面積里，軌道上的速度超過50碼，相當(dāng)于1.2倍的馬拉松速度；

交通忙：頭頂上一般要跑著2000+臺(tái)天車，日搬運(yùn)晶圓數(shù)量超過1300萬片，相當(dāng)于1.3倍的上海地鐵日客流量；

速度快：每秒5.3米的高速直行，1米/秒的轉(zhuǎn)彎速度，10秒內(nèi)完成4米的升降取物操作；

指標(biāo)精：行走定位精度正負(fù)1mm，潔凈等級(jí)達(dá)到Class 100；

價(jià)值高：每臺(tái)天車價(jià)值相當(dāng)于一輛寶馬7系，搭載的晶圓價(jià)值數(shù)十萬到數(shù)百萬。

所有這一切疊加在一起，導(dǎo)致天車系統(tǒng)成為半導(dǎo)體自動(dòng)化領(lǐng)域最復(fù)雜的控制系統(tǒng)，堪稱L5級(jí)的無人駕駛。

這也直接導(dǎo)致了一個(gè)結(jié)果：

天車，是目前國產(chǎn)半導(dǎo)體領(lǐng)域唯二的還沒有上市企業(yè)的裝備，還有一個(gè)就是光刻機(jī)。

要打破這種國際廠商壟斷的局面，沒有其他辦法，最重要的就是修煉好自己的內(nèi)功。

03.

道達(dá)智能，誕生于2017年，總部位于南京江寧區(qū)。

因?yàn)樵瓉砭褪亲龉S自動(dòng)化，他們比其他人更早看到了天車市場(chǎng)的機(jī)遇。

這次在南京江寧區(qū)，我到了他們的辦公樓。

出乎我意料的簡(jiǎn)樸，連副總的辦公室也只有區(qū)區(qū)幾個(gè)平方。

他們告訴我，他們把更多的地方、更多的精力投入到了研發(fā)當(dāng)中，辦公場(chǎng)地都讓給了600米的全場(chǎng)景測(cè)試軌道，國內(nèi)最大。

他們最新研發(fā)的“麒麟”天車，把看似相悖的三要素有機(jī)結(jié)合——快、穩(wěn)、準(zhǔn)，在5.3米/秒的行進(jìn)速度下，把剎停的沖擊力控制在0.3G以下，同時(shí)精準(zhǔn)對(duì)接送料口，誤差不能超過1mm。

這相當(dāng)于把一輛L5級(jí)別的無人駕駛汽車放在天上開，車?yán)镙d著當(dāng)下最薄最脆的晶圓，依次通過2000道工序。

先是拿下了江蘇省潛在獨(dú)角獸，省專精特新，最近又拿下了國家專精特新“小巨人”。

當(dāng)然，技術(shù)過硬只是首要條件，這個(gè)行業(yè)還有一個(gè)潛規(guī)則，也是國際廠商長期壟斷的一個(gè)“秘密”。

晶圓廠采用7×24小時(shí)不間斷生產(chǎn)模式，通常部署有幾百臺(tái)天車，大型晶圓廠單日搬運(yùn)頻次約40萬次甚至更高。如此高強(qiáng)度、高密度的運(yùn)行環(huán)境，晶圓大廠最關(guān)心的只有兩個(gè)字：穩(wěn)定。

也就意味著，一旦采用了哪家的天車系統(tǒng)，輕易絕不會(huì)更換。

這就是壁壘，也是所有國產(chǎn)天車廠商必須面對(duì)的一個(gè)生存困局。

道達(dá)智能沒有一味等待，而是在武漢打開了局面。

投資超200億的長飛先進(jìn)武漢基地，主要聚焦于第三代半導(dǎo)體功率器件研發(fā)與生產(chǎn)，道達(dá)智能已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)交付，軌道長度3500米，天車數(shù)量150臺(tái)，在跑的有70臺(tái)。

數(shù)量不算大，意義卻很大。

它是國產(chǎn)供應(yīng)商在前道晶圓制造廠的最大體量整廠區(qū)域AMHS交付項(xiàng)目，其中無論天車數(shù)量、軌道長度、整廠全區(qū)域均是國產(chǎn)天車系統(tǒng)的里程碑。

其實(shí)憑道達(dá)智能目前的能力，WPS非接觸式供電系統(tǒng)、OHT廠商唯一自研量產(chǎn)，OHT自主實(shí)時(shí)系統(tǒng)，F(xiàn)PGA實(shí)現(xiàn)核心軟件控制算法，大規(guī)模集中控制系統(tǒng)能實(shí)現(xiàn)超過1000臺(tái)天車的集中控制調(diào)度，以及毫秒級(jí)的路徑規(guī)劃，他們完全可以做更多的事情。

只是需要一個(gè)開始，只是需要一個(gè)機(jī)會(huì)。

以及更多的時(shí)間。

所幸，這一切正在實(shí)現(xiàn)。

04.

從一輛躍躍欲試挑戰(zhàn)巨頭的天車，再來看看南京江寧。

天車，其實(shí)本質(zhì)上就是特種機(jī)器人。

而南京江寧，偏偏就是機(jī)器人產(chǎn)業(yè)強(qiáng)得令人側(cè)目。

在江寧，一臺(tái)機(jī)器人能被“玩”出花：

既有埃斯頓（7年中國市場(chǎng)國產(chǎn)品牌出貨量第一）、匯川技術(shù)（年產(chǎn)40萬臺(tái)/套機(jī)器人）兩大行業(yè)龍頭，更有一批單項(xiàng)冠軍、“小巨人”、瞪羚、獨(dú)角獸等“小而精”企業(yè)各顯神通。

泉峰科技的除草機(jī)器人、領(lǐng)鵲科技的建筑機(jī)器人享譽(yù)市場(chǎng)；

南傳智能投資建設(shè)關(guān)節(jié)減速機(jī)生產(chǎn)項(xiàng)目，預(yù)計(jì)年產(chǎn)RV齒輪箱6萬臺(tái)；

神源生科技憑借一塊六維力傳感器，獲得科技部子基金的融資；

因克斯去年的機(jī)器人關(guān)節(jié)模組出貨量超過1萬臺(tái)，領(lǐng)跑國內(nèi)同行……

江寧還有省工業(yè)機(jī)器人及智能制造系統(tǒng)工程研究中心等機(jī)器人相關(guān)領(lǐng)域的省級(jí)研發(fā)創(chuàng)新平臺(tái)14個(gè)、新型研發(fā)機(jī)構(gòu)3家，區(qū)域內(nèi)幾大頭部高?；径奸_設(shè)相關(guān)專業(yè)。

也正是因?yàn)檫@個(gè)原因，2022年，靠做工業(yè)控制軟件起家的道達(dá)智能科技走出待了5年的昆山，來到江寧設(shè)立總部，并在這里完成產(chǎn)品轉(zhuǎn)型，向價(jià)值鏈更高處攀登，新一代的“麒麟天車”正是在南京原生研發(fā)。

當(dāng)年，道達(dá)智能做出原型機(jī)后，面臨進(jìn)一步的核心技術(shù)攻關(guān)，來南京兩年多，他們和江寧開發(fā)區(qū)內(nèi)的東南大學(xué)、南航、河海等一批理工科院校陸續(xù)建立了聯(lián)合攻關(guān)機(jī)制。

來南京，可以說他們絕對(duì)來對(duì)了。

在半導(dǎo)設(shè)備領(lǐng)域，中國一直在被歐美日等國“卡脖子”，每年需要花上百億美金采購半導(dǎo)體設(shè)備。

一輛南京天車，不僅是一扇窺見中國半導(dǎo)體突圍之路的窗口，更是一堂關(guān)于“技術(shù)革命與商業(yè)落地”的實(shí)戰(zhàn)課程。從潔凈車間里飛馳的天車，到算法中樞中跳動(dòng)的數(shù)據(jù)，我們相信將會(huì)有更多的企業(yè)用硬核實(shí)力證明：自主創(chuàng)新者終將突圍。

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