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瞄向下一代光刻機EUV方案突破,這家激光智造公司在深圳秀出實力

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2025 年 9 月 10 日,第二十六屆中國國際光電博覽會(CIOE)在深圳國際會展中心盛大開幕。本屆深圳光博會匯聚了來自全球超 30 個國家和地區(qū)的 3800 余家優(yōu)質企業(yè),預計吸引超過 16 萬名專業(yè)觀眾參與。作為中國唯一、全球唯二掌握碟片激光核心技術并實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)的中國企業(yè),蘇州中輝激光科技有限公司攜系列重磅產(chǎn)品精彩亮相本屆展會,以“中輝激光,面向未來”為主題,向全球展示中國激光設備的創(chuàng)新實力與產(chǎn)業(yè)雄心。


中輝激光展位(圖片來源:中輝激光)

聚焦激光智造,碟片技術引關注

當前,我國激光制造產(chǎn)業(yè)正處于規(guī)模擴張與質量提升的雙重轉型期。根據(jù)中國光學學會的數(shù)據(jù),2024年中國激光設備銷售收入占全球市場份額達 56.6%,已經(jīng)成長為全球最大的激光應用市場。隨著新能源汽車、新型光伏、半導體等戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,激光技術在精密加工、先進封裝等領域的需求還將繼續(xù)呈爆發(fā)式增長。

而激光器憑借著在整個激光產(chǎn)業(yè)中的核心光源器件與技術引擎地位,長期在激光設備中占據(jù)著40%以上的價值量。近年來,碟片激光器作為新崛起的技術更是吸引著相關企業(yè)輪番競逐,在一些如下一代光刻機EUV方案等引人關注的“卡脖子”難題上,碟片激光器也在成為強有力的路線競爭者。

中輝激光作為國內首家高功率碟片激光器供應商,此次參展重點展示了其在激光智能制造領域的代表性產(chǎn)品。作為一家成立僅僅四年的公司,中輝激光不僅實現(xiàn)了對國外高端激光器技術壟斷的突破,并走出了一條自主且特色鮮明的企業(yè)發(fā)展路徑。

中輝激光董事長顏永振表示:“在現(xiàn)代制造業(yè)當中,激光是非常重要的存在,被譽為制造業(yè)‘最快的刀’。而我們中輝激光選擇攻關難度最大、國內尚屬空白的碟片激光器,就是堅信其在平均功率和脈沖能量上的天然優(yōu)勢有助于我們在工業(yè)制造領域中做深做廣。”

技術破壁,打開未來想象空間

在本次展會上,中輝激光共展示了4款戰(zhàn)略級產(chǎn)品,其中,國內首款“批量交付”千瓦飛秒超快激光器UFL1000和年底即將發(fā)售的高功率紫外納秒激光器NSL1000持續(xù)引發(fā)行業(yè)廣泛關注。

中輝激光千瓦飛秒超快激光器兼具高平均功率、大單脈沖能量、窄脈寬和高重頻的特征,同時具備脈沖寬度可定制的特點,采用模塊化設計降低系統(tǒng)復雜性和零件成本,并通過智能化閉環(huán)控制系統(tǒng)保障使用穩(wěn)定性,可廣泛應用于特殊金屬和SiC等超硬材料加工。


中輝激光千瓦飛秒超快激光器UFL1000(圖片來源:中輝激光)

而即將發(fā)售的高功率紫外納秒激光器則是中輝激光多年的技術積累和創(chuàng)新成果的集大成者,擁有更高的功率、更優(yōu)異的光束質量以及更穩(wěn)定的性能,將在脈沖激光沉積(PLD)、激光剝離(LLO)、激光退火(LA)等多個工藝場景,為超導材料制備、OLED顯示、乃至半導體晶圓加工等不同行業(yè)提供了更具性價比與加工效率的解決方案。


中輝激光高功率紫外納秒激光器NSL1000(圖片來源:中輝激光)

中輝激光總經(jīng)理章淼介紹:“這些產(chǎn)品的推出,標志著中輝激光已躋身全球超快激光器先行者行列,可以賦能工業(yè)制造的千行百業(yè)。未來,我們中輝激光還將在超導材料制備、國產(chǎn)EUV光源、可控核聚變激光點火等國家世紀性戰(zhàn)略工程中承擔極為重要的任務和使命。”

面向未來,持續(xù)引領激光行業(yè)發(fā)展

當前,我國工業(yè)制造領域正處于“機械加工”向“光加工”升級的關鍵時期,制造業(yè)對自動化、智能化生產(chǎn)模式的需求日益增長。中輝激光憑借技術優(yōu)勢,已參與科技部“十四五”國家重點研發(fā)計劃重點專項中。

著眼未來,中輝激光將繼續(xù)深耕千瓦超快激光器平臺,目標規(guī)劃將產(chǎn)品功率提升至 5 千瓦甚至萬瓦量級,持續(xù)推動激光技術在更多高端制造場景的深度應用。尤其是在國人關心的光刻機EUV領域,中輝激光也不斷夯實技術基本功,有望為國產(chǎn)突破作出新的貢獻。

顏永振董事長強調:“激光技術的終極使命不是制造設備,而是重塑制造業(yè)的底層邏輯。中輝激光目標是讓中國激光技術不僅照亮高端制造的現(xiàn)在,更定義全球產(chǎn)業(yè)變革的未來?!?/p>

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