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央視首次曝光:全球最強光刻機亮相,中國再次打破西方技術(shù)封鎖

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你敢信嗎,一臺機器賣近28億人民幣,全球就一家能造,連最大的客戶都嫌貴買不起單。這玩意兒就是ASML的最新型High-NA EUV光刻機,前不久剛在央視上第一次跟國內(nèi)觀眾見面。本來大家伙都在這臺機器有多夸張?重量150噸,相當于兩架空客A320,大小跟雙層巴士差不多,運的時候要裝250個貨箱,250個工程師花半年才能裝好。它有十萬多個零件,能做2納米甚至更小的芯片,單臺賣快4億美元,比上一代貴了整整一倍。



圍觀全球最牛的精密制造到底長啥樣,沒成想轉(zhuǎn)頭就出了個大反轉(zhuǎn),這事還跟咱們中國芯片產(chǎn)業(yè)的現(xiàn)狀綁得死死的。臺積電是ASML最大的客戶,人家直接放話了,2029年之前都不打算用這臺機器造芯片。理由特別直白,就是太貴,而且沒必要啊,F(xiàn)在的舊設備還能接著用,做2納米成本也不會漲太多,犯不著花這冤枉錢。

西方對咱們的芯片封鎖,現(xiàn)在比之前狠多了。之前只是不讓賣EUV光刻機給咱們,咱們本來也沒拿到過。這次不一樣,美國直接出了新法案,連DUV浸沒式光刻設備都不準賣,還逼著荷蘭日本跟他們中芯國際華為這些咱們的核心半導體企業(yè),都被列進了管制名單。ASML今年一季度來自中國的銷售占比,直接從去年全年的33%掉到了19%,降速快得驚人。不少人都慌了,覺得這一下要遭重對不對?其實咱們早有準備,前幾年就已經(jīng)囤了不少貨,現(xiàn)在進口降了一部分也是在消化庫存,不全是被動卡脖子。



對齊,連之前賣出去的機器都不讓人來修那咱們國產(chǎn)光刻機現(xiàn)在到底走到哪一步了?今年年初上海微電子就在正式行業(yè)峰會上說了,28納米浸沒式DUV光刻機今年就要全面量產(chǎn)。人家計劃去年年底建好5條量產(chǎn)線,一年能出50臺,今年目標市占率做到25%,這可不是自媒體瞎吹的,是官方自己公開說的。



很多人覺得28納米太落后,那真的是誤解了,F(xiàn)在全球七成以上的芯片需求都是成熟制程,汽車家電工業(yè)控制用的芯片,根本用不著2納米,28納米完全夠用。把成熟制程穩(wěn)穩(wěn)握在自己手里,咱們整個電子工業(yè)的基本盤就穩(wěn)住了。

當然差距咱們也得認,不能閉著眼睛瞎吹。跟ASML比,不管是套刻精度還是產(chǎn)能,差距都不小,技術(shù)差大概十年以上,效率差更是明顯,短期內(nèi)確實追不上。但高端領(lǐng)域咱們也沒停下腳步,好多突破都值得說一說。



哈工大已經(jīng)研發(fā)出了13.5納米的極紫外光技術(shù),走的路線跟ASML不一樣,造價低體積小,就是現(xiàn)在功率還不夠,跟ASML商用的600瓦比還有不小差距。中科院上海光機所的團隊更厲害,沒用ASML用了二十年的舊路線,換了固態(tài)激光器方案,轉(zhuǎn)換效率比西方頂尖機構(gòu)還高。帶頭的專家之前還是ASML的光源技術(shù)負責人,早就回國扎根搞研發(fā)了。

現(xiàn)在上海微電子的EUV光刻機已經(jīng)進到試產(chǎn)階段,提交了不少關(guān)鍵技術(shù)專利,計劃今年就能實現(xiàn)小批量交付。不過大家也得拎清楚,從實驗室出成果到能穩(wěn)定商用造芯片,中間還有無數(shù)工藝驗證和產(chǎn)線磨合的坎要過,得一步步磨。ASML前CEO說咱們差十到十五年,這話不好聽,但確實是實話,光刻機十萬個零件,每個環(huán)節(jié)都得過關(guān),急不來。



現(xiàn)在整個國產(chǎn)半導體供應鏈已經(jīng)慢慢成型了,國產(chǎn)設備的市占率已經(jīng)爬到32%了。國內(nèi)只有北京國望光學能實現(xiàn)28納米物鏡國產(chǎn)化,科益虹源能量產(chǎn)193納米準分子激光器,華卓精科更是全球第二個掌握雙工件臺技術(shù)的公司。從清華攻關(guān)工件臺、浙大研發(fā)浸液系統(tǒng)到各個研究所突破核心技術(shù),大家湊在一起協(xié)同攻關(guān),一條完整的國產(chǎn)供應鏈已經(jīng)搭起來了。

其實ASML現(xiàn)在日子也沒那么差,AI芯片需求太火,臺積電三星都在擴產(chǎn),訂單多到接不完,一季度業(yè)績還超了市場預期。就算少了中國一部分市場,別的地方的增長也能補上來,封鎖對兩邊都有損失,哪有什么只有贏家的游戲。

前陣子國內(nèi)半導體圈好多企業(yè)大佬和學界專家集體發(fā)文呼吁,說半導體設備全自主可控是必然趨勢,光刻機是攻關(guān)的重中之重。這種公開表態(tài)放在幾年前真不多見,說明大家都看清楚了,依賴外部供應的窗口正在關(guān),只能自己干,這個方向已經(jīng)變不回去了。



說回那臺近28億的天價光刻機,它確實是現(xiàn)在人類精密制造的天花板,可連最大的潛在客戶都覺得不劃算,暫時不打算用。技術(shù)競爭從來不是比誰的東西更貴更先進,是比誰能用合適的成本造出能用的芯片,賣得出去。



咱們現(xiàn)在的路子走得特別穩(wěn),先把28納米做深做透,把成熟制程的糧倉裝滿,同時在EUV核心技術(shù)上多線推進,不追求一步登天,每一步都踩實了就行。

參考資料:央視新聞 央視首次曝光全球最強光刻機相關(guān)報道

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