ASML總裁Christophe Fouquet在接受荷蘭《電訊報(bào)》記者采訪時(shí)表示：就EUV技術(shù)來說，沒有看到任何證據(jù)能夠證明中國已經(jīng)在突破封鎖，這是一個(gè)十年以上的大工程，而不是兩三年的小項(xiàng)目。 中國已經(jīng)長達(dá)8年沒有獲得我們的EUV光刻機(jī)，在先進(jìn)芯片制造上落后約8年時(shí)間。 不過中國也在取得一些技術(shù)成果，并且中國還在持續(xù)投入巨資研發(fā)設(shè)備，這必然會影響全球芯片產(chǎn)業(yè)的格局。

PART.01

初見端倪

中國大陸晶圓制造企業(yè)與ASML的合作可以追溯到2000年代初。以中芯國際為代表的晶圓廠，長期采購i-line、KrF以及ArF等DUV光刻設(shè)備，支撐起從90nm到28nm的工藝演進(jìn)。

2018年成為關(guān)鍵轉(zhuǎn)折點(diǎn)。當(dāng)時(shí)中芯國際曾計(jì)劃采購一臺EUV光刻機(jī)，這是中國企業(yè)首次接近先進(jìn)制程核心設(shè)備。但隨后，在美國政府持續(xù)施壓下，荷蘭政府最終未批準(zhǔn)出口許可，這臺設(shè)備未能交付。

同一時(shí)期，華為、中興通訊相繼遭遇制裁，美西方對中國半導(dǎo)體技術(shù)限制越演越烈。

PART.02

全面圍堵

進(jìn)入2019年后，圍繞先進(jìn)制程的封鎖進(jìn)一步加劇。

EUV設(shè)備成為絕對禁區(qū)。由于其涉及超高精度光源（13.5nm波長）、反射鏡系統(tǒng)以及復(fù)雜的系統(tǒng)集成，全球僅ASML具備量產(chǎn)能力。缺失EUV光刻機(jī)中國完全失去先進(jìn)制程的制程能力。

不僅EUV，部分先進(jìn)DUV設(shè)備（如浸沒式ArF）也被納入出口管制，使中國企業(yè)在14nm及以下節(jié)點(diǎn)的擴(kuò)展能力受限。

提出最嚴(yán)限制法案：只要是中國人造不出來的設(shè)備，全部禁止出口。只要是那些中國企業(yè)高度依賴進(jìn)口，并且本土企業(yè)無法制造出來的技術(shù)設(shè)備，美國企業(yè)及盟友企業(yè)均不允許向中國企業(yè)提供。

從Applied Materials、Lam Research到KLA Corporation，再到關(guān)鍵材料與EDA工具，限制逐漸覆蓋設(shè)計(jì)—制造—設(shè)備—材料全鏈條。這一階段的本質(zhì)，不只是卡設(shè)備，不是卡材料，而是試圖維持現(xiàn)狀，讓中國永遠(yuǎn)有技術(shù)代差。

PART.03

真假8年

ASML總裁落后8年說法是否成立？

它的邏輯是：EUV光刻已經(jīng)8年沒有給到中國，而先進(jìn)制程量產(chǎn)節(jié)點(diǎn)（7nm及以下）自2018年前后開始商業(yè)化，恰逢此時(shí)中國企業(yè)沒有高端光刻設(shè)備，缺乏EUV支撐，難以規(guī)?；M(jìn)入5nm/3nm，先進(jìn)邏輯芯片代際演進(jìn)受阻。

從“最先進(jìn)量產(chǎn)節(jié)點(diǎn)”這一單一指標(biāo)來看，這一說法具有一定現(xiàn)實(shí)基礎(chǔ)。

但中國：

在成熟制程（28nm及以上）、功率器件、特色工藝（如BCD、CIS）等領(lǐng)域，中國并未“落后8年”，部分甚至具備競爭優(yōu)勢。

在當(dāng)前全球半導(dǎo)體需求中，汽車電子、工業(yè)控制等大量應(yīng)用仍依賴成熟工藝，中國仍扮演著重要角色。

通過多重曝光（multi-patterning），在DUV條件下仍可逼近更先進(jìn)節(jié)點(diǎn)，盡管成本和復(fù)雜度更高。

PART.04

未來可期

未來中國半導(dǎo)體與世界的差距會擴(kuò)大，還是越來越??？

1. 先進(jìn)制程仍存在差距

EUV及后續(xù)High-NA EUV仍將由ASML主導(dǎo)，中國短期難以追平，這是不得不承認(rèn)的事實(shí)。

2. 成熟制程全面崛起

在28nm及以上領(lǐng)域，中國有望實(shí)現(xiàn)完全自主可控，并形成規(guī)模優(yōu)勢，在全球占據(jù)一席之位。

3. 技術(shù)路徑多元化

Chiplet（小芯片）、先進(jìn)封裝等技術(shù)協(xié)同發(fā)展，將在一定程度上繞開制程瓶頸，重塑競爭規(guī)則。

短期內(nèi)， 中國在最尖端領(lǐng)域可能仍有明顯差距，但在封鎖壓力下，會快速補(bǔ)齊產(chǎn)業(yè)鏈，并在部分環(huán)節(jié)形成反向突破。

小小寰球，有幾個(gè)蒼蠅碰壁。嗡嗡叫，幾聲凄厲，幾聲抽泣。螞蟻緣槐夸大國，蚍蜉撼樹談何易。正西風(fēng)落葉下長安，飛鳴鏑。

多少事，從來急；天地轉(zhuǎn)，光陰迫。一萬年太久，只爭朝夕。四海翻騰云水怒，五洲震蕩風(fēng)雷激。要掃除一切害人蟲，全無敵。

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