在半導(dǎo)體與先進(jìn)材料制造的賽道上，真空環(huán)境的純凈度，直接決定薄膜品質(zhì)、器件良率與長期可靠性。分子束外延（MBE）、物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、原子層沉積（ALD）等核心工藝，對微量氣體污染零容忍。RGA殘余氣體分析儀，正是捕捉痕量雜質(zhì)、鎖定污染源頭、完成材料滲透率測試的“火眼金睛”。

RGA殘余氣體分析儀

長期以來，高端殘余氣體分析市場被進(jìn)口品牌占據(jù)，不僅成本高、交付慢，售后響應(yīng)也難以匹配國內(nèi)產(chǎn)線節(jié)奏。隨著國產(chǎn)替代加速，一批深耕質(zhì)譜技術(shù)的企業(yè)迎頭趕上，上海愛柯銳（ACT）便是其中的標(biāo)桿力量。

愛柯銳自成立起，便專注質(zhì)譜技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化落地。核心團(tuán)隊匯聚高校、科研院所及真空行業(yè)資深專家，平均擁有十年以上研發(fā)經(jīng)驗，深諳半導(dǎo)體制程與真空檢測的底層邏輯。從離子源設(shè)計到檢測器優(yōu)化，從算法迭代到系統(tǒng)集成，團(tuán)隊堅持自主創(chuàng)新，打造出適配國內(nèi)科研與量產(chǎn)場景的PGT系列RGA殘余氣體分析儀，以硬核性能打破進(jìn)口依賴，為用戶提供高性價比的完整解決方案。

RGA殘余氣體分析儀

PGT系列覆蓋PGT100F、PGT100M、PGT200F、PGT200M四款機(jī)型，精準(zhǔn)匹配實驗室研發(fā)與規(guī)?；a(chǎn)線的不同需求。100/200amu雙檔質(zhì)量數(shù)范圍，可全面覆蓋工藝氣體、污染物及分解產(chǎn)物檢測；分辨率優(yōu)于1amu，能清晰區(qū)分相近質(zhì)量數(shù)氣體，讓鑒別痕跡污染物更精準(zhǔn)。

儀器采用涂覆氧化釔銥絲雙燈絲/雙鎢燈絲可選配置，兼顧耐用性與抗中毒能力，適配復(fù)雜真空工況。FC與EM兩種檢測器模式靈活切換，F(xiàn)C模式靈敏度達(dá)2.3E-6A/Pa，EM模式更是高達(dá)3.8A/Pa，最小可檢測分壓低至2E-12Pa，輕松捕捉極微量氣體，完美支撐材料滲透率測試等高精度實驗。

嚴(yán)苛工況下的穩(wěn)定性，是RGA的核心價值。PGT系列傳感器最高可耐受200℃工作溫度，支持300℃高溫烘烤，徹底消除腔體放氣干擾；溫度系數(shù)＜1%/℃，長時間運行數(shù)據(jù)漂移極小，2ms高速數(shù)據(jù)采集，可實時追蹤工藝過程氣體變化，最大工作壓強(qiáng)達(dá)6.7E-2Pa，兼容各類真空系統(tǒng)。整機(jī)采用24V直流供電，安裝簡潔、適配性強(qiáng)，無縫對接MBE、PVD、CVD、ALD等設(shè)備。

RGA殘余氣體分析儀

憑借穩(wěn)定可靠的品質(zhì)與完善的服務(wù)體系，愛柯銳PGT系列RGA已進(jìn)入國內(nèi)眾多高校、科研院所及頭部半導(dǎo)體企業(yè)，成為薄膜沉積、真空質(zhì)控、材料分析等場景的首選設(shè)備。公司構(gòu)建穩(wěn)定的國產(chǎn)化供應(yīng)鏈，在保證性能比肩進(jìn)口產(chǎn)品的同時，大幅降低采購與運維成本，交付更快、售后更及時，真正做到“國產(chǎn)高性能、全球競爭力”。

從實驗室前沿研究到工廠量產(chǎn)質(zhì)控，從痕量污染溯源到材料滲透率評估，愛柯銳以技術(shù)初心守護(hù)真空純凈，以國產(chǎn)匠心賦能先進(jìn)制造。未來，愛柯銳將持續(xù)深耕質(zhì)譜與真空檢測領(lǐng)域，不斷迭代升級PGT系列RGA殘余氣體分析儀，為中國半導(dǎo)體及新材料產(chǎn)業(yè)自主可控，貢獻(xiàn)堅實的儀器力量。

PGT系列RGA核心技術(shù)參數(shù)一覽