來自無錫高新區(qū)的

吉佳藍(lán)中國(guó)總部項(xiàng)目

2臺(tái)納米壓印設(shè)備成功出貨！

近日，吉佳藍(lán)中國(guó)總部迎來了具有里程碑意義的時(shí)刻——首批次納米壓印設(shè)備（CITUS系列）已成功通過客戶工藝驗(yàn)證，順利裝箱發(fā)貨。這標(biāo)志著吉佳藍(lán)中國(guó)已完全具備高端半導(dǎo)體設(shè)備的量產(chǎn)及交付能力，從落戶到出貨跑出了令人矚目的“加速度”。

MGM吉佳藍(lán)

2025年3月，吉佳藍(lán)中國(guó)總部在無錫高新區(qū)新港集成電路裝備零部件產(chǎn)業(yè)園啟用，是基于擁有25年以上業(yè)績(jī)的韓國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)GigaLane的技術(shù)實(shí)力成立的國(guó)產(chǎn)化設(shè)備制造企業(yè)。吉佳藍(lán)作為全國(guó)唯一一家同時(shí)擁有刻蝕以及納米壓印設(shè)備生產(chǎn)制造研發(fā)的公司，通過不斷創(chuàng)新，建立起壓印+刻蝕一條龍服務(wù)，為客戶營(yíng)造無比便利的Demo環(huán)境，提供客戶壓印+刻蝕一站式全流程服務(wù)，得到業(yè)內(nèi)一致好評(píng)。

此次成功出貨的MGM壓印設(shè)備是一個(gè)高精度工藝平臺(tái)。MGM提供滾壓RtoP以及真空面壓PtoP等多種工藝方案，壓印精度<20nm，殘余層控制<10nm，高準(zhǔn)對(duì)精度工藝設(shè)備，量產(chǎn)性機(jī)臺(tái)同時(shí)提供軟膜加工以及壓印全自動(dòng)一體化，月產(chǎn)能30pcs，滿足高工藝要求的同時(shí)符合客戶要求的高量產(chǎn)需求。

→ 勻膠模式：旋涂，噴墨，點(diǎn)涂

→ 兼容2~12inch晶圓&300mm*300mm方片

→ 對(duì)準(zhǔn)精度±2um

→ 雙工藝模塊，“軟膜加工+壓印工藝”同步完成

→ 提供壓印代工服務(wù)

吉佳藍(lán)銷售總監(jiān)王琦表示：“壓印設(shè)備的競(jìng)爭(zhēng)力，不單單在于實(shí)現(xiàn)微細(xì)圖案的層面，更在于能否以足夠精密、穩(wěn)定且具備高生產(chǎn)率的方式執(zhí)行工藝。吉佳藍(lán)將以高精度轉(zhuǎn)印技術(shù)、工藝再現(xiàn)性、生產(chǎn)率，以及與壓印樹脂和模具用樹脂相銜接的綜合應(yīng)對(duì)能力為基礎(chǔ)，進(jìn)一步強(qiáng)化在下一代光學(xué)·半導(dǎo)體工藝市場(chǎng)中的競(jìng)爭(zhēng)力?！?/p>

吉佳藍(lán)設(shè)備的競(jìng)爭(zhēng)力并不僅限于精度，在實(shí)際產(chǎn)業(yè)現(xiàn)場(chǎng)，除了高分辨率之外，工藝速度、重復(fù)穩(wěn)定性、維護(hù)運(yùn)行效率等生產(chǎn)率方面的要求也同樣重要。吉佳藍(lán)的壓印設(shè)備基于均勻的加壓控制、穩(wěn)定的工藝條件維持以及在重復(fù)工藝中的高再現(xiàn)性，在確保客戶所需的生產(chǎn)率方面也展現(xiàn)出優(yōu)勢(shì)。這不僅提升了在研發(fā)階段制作試產(chǎn)樣品的價(jià)值，也增強(qiáng)了其作為未來可應(yīng)用于量產(chǎn)的工藝平臺(tái)的價(jià)值。

編輯 | 楊亦哲

來源 | MGM吉佳藍(lán)、集成電路公司

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