2024年，國內(nèi)各大晶圓廠從荷蘭ASML手中，豪擲將近九十億歐元，瘋狂掃貨各類前端制造平臺(tái)。那筆錢直接撐起ASML當(dāng)年超過四成的整體營收，中國穩(wěn)坐全球第一大客戶的交椅。

針對上述現(xiàn)象，美國投資銀行的半導(dǎo)體分析師Charles Shi表示：中國正為了自研設(shè)備，從ASML手中囤積了大量進(jìn)口的光刻機(jī)。他們試圖通過構(gòu)建龐大的進(jìn)口設(shè)備儲(chǔ)備庫，為本土核心尖端裝備的孵化換取寶貴緩沖期。

針對國內(nèi)企業(yè)瘋狂吃進(jìn)海外設(shè)備的情況，早幾年就有歐洲資深產(chǎn)業(yè)觀察員看出端倪。荷蘭學(xué)者馬克·海金克在調(diào)研芯片技術(shù)博弈內(nèi)幕后講得很直白。過去很長一段歲月里，本土曝光顯影技術(shù)走得磕磕絆絆。很大程度上，原因歸咎于曾經(jīng)無比絲滑的全球化分工體系。

當(dāng)年買現(xiàn)成海外成熟產(chǎn)品，價(jià)格公道，并且性能穩(wěn)定。站在企業(yè)生存與商業(yè)逐利的視角來看，直接掏錢采購，絕對比把資金砸進(jìn)深不見底的底層技術(shù)研發(fā)要?jiǎng)澦闱О俦丁?/p>

而依靠全球供應(yīng)鏈過舒坦日子的慣性思維，讓整個(gè)行業(yè)在最核心制造工具上，陷入一種溫水煮青蛙的遲鈍中。直到名為“技術(shù)封鎖”的大網(wǎng)轟然落下，瞬間擊碎了虛幻的平衡體系。

萬幸，對方早期的封鎖網(wǎng)留了一道口子。他們最初僅僅鎖死極紫外（EUV）那把“屠龍刀”，對于稍遜一籌的浸潤式深紫外（DUV）設(shè)備，并沒有立刻趕盡殺絕。

國家宏觀戰(zhàn)略引導(dǎo)下，各大本土晶圓大廠心照不宣開啟瘋狂采購模式。無數(shù)臺(tái)尚未被列入禁運(yùn)名單的精密儀器，以及堆積如山的配套耗材，跨越重洋運(yùn)抵國內(nèi)各大無塵車間。

而囤積物資的底氣，很快轉(zhuǎn)化為市場上的王炸。回想2023年下半年，采用七納米工藝的國產(chǎn)麒麟芯毫無征兆在消費(fèi)市場重磅登場。大洋彼岸的震動(dòng)不亞于發(fā)生一場大地震，他們在驚愕之余，立刻察覺到我們通過囤積設(shè)備來實(shí)現(xiàn)技術(shù)爬坡的戰(zhàn)略意圖。

根據(jù)全球半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)最新統(tǒng)計(jì)口徑，曝光顯影設(shè)備在一座現(xiàn)代化晶圓廠的硬件投資中，足足占據(jù)四分之一絕對大頭。就在海外巨頭忙著筑起高墻的時(shí)候，我們?nèi)a(chǎn)業(yè)鏈已經(jīng)借著“囤貨”爭取來的時(shí)間，開啟脫胎換骨的重塑。

看看現(xiàn)在的中芯、長存等制造龍頭，早已在無數(shù)個(gè)工藝節(jié)點(diǎn)上跑通閉環(huán)。再看看本土設(shè)備供應(yīng)商，主攻刻蝕的中微、深耕清洗的盛美，以及平臺(tái)型巨頭北方華創(chuàng)，已經(jīng)在各自細(xì)分賽道上將海外品牌的市場份額一口一口咬了下來。

2024年秋天官方發(fā)布的重大技術(shù)裝備推廣名錄，就是最好的證明。名錄里白紙黑字印著氟化氪與氟化氬設(shè)備，宣告國產(chǎn)深紫外光刻技術(shù)正式落地。官方公布的干式設(shè)備，分辨率達(dá)到六十五納米，套刻精度逼近八納米。通過業(yè)內(nèi)資深人士拆解分析，該機(jī)器完全支持雙重曝光工藝，極限狀態(tài)下，它完全有潛力下探至二十八納米甚至更微觀尺度。

當(dāng)然，真要向更先進(jìn)制程發(fā)起沖鋒，還得靠浸潤式技術(shù)挑大梁。業(yè)內(nèi)頻頻傳出浸潤式設(shè)備已經(jīng)在各大晶圓廠產(chǎn)線上進(jìn)行高強(qiáng)度調(diào)試的喜訊。以水作為折射介質(zhì)，能奇跡般提升數(shù)值孔徑，讓鏡片下的微觀世界瞬間變得清晰無比。當(dāng)設(shè)備分辨率跨入三十八納米門檻時(shí)，一片嶄新天地便豁然開朗。

借助多重曝光那種“繡花針”般的極致工藝，在不依賴極紫外光源的前提下，逼近五納米工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)成為現(xiàn)實(shí)。關(guān)鍵在于，整個(gè)流程從頭到尾流淌著的，是百分之百的純正本土血液。

而芯片工藝極限微縮，很大程度上受制于晶體管物理構(gòu)型。當(dāng)年為了打破二維平面的物理極限，工程師們把晶體管立了起來，搞出FinFET架構(gòu)。如今面對三納米甚至兩納米的物理墻，如果手中沒有極紫外那把屠龍刀，我們完全可以通過大幅修改晶體管的立體結(jié)構(gòu)來進(jìn)行降維打擊。

通過極端精妙的架構(gòu)優(yōu)化，疊加浸潤式設(shè)備與多重曝光，我們完全可以在現(xiàn)有裝備體系下，強(qiáng)行叩開三納米乃至兩納米大門。道路雖然走得極其艱難，良品率也需要漫長時(shí)間來爬坡，但它無疑是一套堅(jiān)不可摧的戰(zhàn)略備胎。

除此之外，極紫外與深紫外可謂是兩個(gè)維度的物種。前者的光波長僅有十三點(diǎn)五納米，并且只能依賴極其復(fù)雜的反射鏡面來傳輸光路?？量痰奈锢硖匦?，對真空作業(yè)環(huán)境與雙工件臺(tái)的機(jī)械精度提出近乎變態(tài)的要求。但最核心命門，依然在于那個(gè)能夠持續(xù)釋放微小波長的光源。

目前，國內(nèi)幾大頂尖機(jī)構(gòu)已經(jīng)在不同技術(shù)路線上多管齊下。第一，當(dāng)前國際主流的激光等離子體（LPP）方案；第二，理論壽命更長、系統(tǒng)相對簡練的混合放電（LDP）方案，我們都有深厚技術(shù)儲(chǔ)備。

據(jù)坊間傳聞，南方某高科技重鎮(zhèn)已經(jīng)在進(jìn)行高強(qiáng)度的光源點(diǎn)亮測試。按照目前的推進(jìn)節(jié)奏，最近兩三年內(nèi)，國產(chǎn)極紫外設(shè)備必然會(huì)迎來震撼世人的驚鴻一瞥。