文 |朝子亥

本文為深度觀點(diǎn)解讀，僅供交流學(xué)習(xí)

今年年初，美國(guó)再次更新了對(duì)華芯片出口管制措施。

而就在美國(guó)忙著協(xié)調(diào)盟友、收緊政策口徑的時(shí)候，塔夫茨大學(xué)教授克里斯·米勒的一個(gè)觀點(diǎn)卻讓讓五角大樓很難接話：中國(guó)人不可怕，可怕的是他們買了光刻機(jī)，卻根本不急著拿來造芯片。

米勒不是那種靠喊口號(hào)刷存在感的“中國(guó)通”，他2022年出版的《芯片戰(zhàn)爭(zhēng)》被白宮直接拿來當(dāng)政策參考，ASML高管去國(guó)會(huì)作證時(shí)，議員們手里翻的書頁(yè)就出自他筆下。

當(dāng)西方大多數(shù)人還在想“只要卡死EUV就能拖住中國(guó)”的時(shí)候，米勒看得更清楚：中方早就調(diào)整了思路，而且這個(gè)思路帶來的壓力比單純追趕產(chǎn)能更大。

米勒警告的“含金量”，咱中國(guó)采購(gòu)光刻機(jī)的方法

克里斯·米勒能在西方產(chǎn)業(yè)界引發(fā)如此大的震動(dòng)，恰恰因?yàn)樗?strong>既不親華也不反華，就是個(gè)拿史料和數(shù)字說話的學(xué)者。

塔夫茨大學(xué)歷史學(xué)教授、美國(guó)外交政策研究所歐亞區(qū)主任，他研究芯片是從地緣、經(jīng)濟(jì)、產(chǎn)業(yè)史三個(gè)維度分析。

2022年《芯片戰(zhàn)爭(zhēng)》出版后，英國(guó)《金融時(shí)報(bào)》和《經(jīng)濟(jì)學(xué)人》都把它評(píng)為年度最佳圖書，白宮后來的協(xié)同管制框架，核心邏輯就是從這本書里扒的。

米勒的觀點(diǎn)過去四年一直在被驗(yàn)證。

2022年他說“中國(guó)買光刻機(jī)可能不是為了擴(kuò)產(chǎn)”，荷蘭官員還覺得這是陰謀論。2023年中國(guó)從ASML進(jìn)口額單季沖到49%，大量設(shè)備被送進(jìn)科研機(jī)構(gòu)而不是晶圓廠。

2024年他在YouTube講座里甩出一張圖，2020到2023年中國(guó)光刻相關(guān)專利注冊(cè)量增長(zhǎng)約150%，彈幕直接炸了。他不是在預(yù)言，他是在翻譯中方已經(jīng)擺出來的事實(shí)。

米勒的邏輯其實(shí)很樸素：一個(gè)能用三四年把高鐵從引進(jìn)變成出口的國(guó)家，不可能在面對(duì)光刻機(jī)這種工業(yè)皇冠時(shí)只想著“買來用”。

西方盯著中國(guó)有沒有造出EUV，中國(guó)盯著的是從光源到鏡頭、從工作臺(tái)到雙工件臺(tái)的全套技術(shù)樹。設(shè)備只是載體，技術(shù)才是獵物。

咱們直接看ASML這幾年的銷售數(shù)字。

2024年ASML全年凈銷售283億歐元，中國(guó)市場(chǎng)貢獻(xiàn)了101.95億歐元，占比36.1%。這個(gè)數(shù)字比2023年的29%又往上竄了一截。

更關(guān)鍵的是，2023年第三、第四季度，中國(guó)市場(chǎng)占比曾連續(xù)飆到46%和49%，十臺(tái)光刻機(jī)有五臺(tái)運(yùn)往中國(guó)。

可問題是，當(dāng)時(shí)中國(guó)在建的晶圓廠根本吃不下這個(gè)量。

美國(guó)情報(bào)部門最早發(fā)現(xiàn)不對(duì)勁。他們對(duì)著衛(wèi)星圖數(shù)產(chǎn)線，再把ASML的發(fā)貨單疊上去，發(fā)現(xiàn)設(shè)備數(shù)量和產(chǎn)能之間明顯對(duì)不上。

一部分光刻機(jī)壓根沒進(jìn)廠房，直接進(jìn)了研究院所。

更讓美國(guó)憤怒的是，從2025年開始，中國(guó)企業(yè)不僅從ASML買新機(jī)，還跑到韓國(guó)、日本掃貨，成批往回搬二手市場(chǎng)的老型號(hào)DUV。舊設(shè)備做不了7納米，但拆起來不心疼。

中芯國(guó)際對(duì)外解釋過，說采購(gòu)DUV是為了維持28納米以上成熟制程，滿足國(guó)內(nèi)汽車、家電的芯片需求。

這話沒毛病，但只解釋了冰山一角。真正的動(dòng)作藏在實(shí)驗(yàn)室里：中芯在北京、上海的研發(fā)中心，這幾年添置了好幾條“研發(fā)專用線”，光刻機(jī)連軸轉(zhuǎn)不是為了出貨，是為了跑工藝參數(shù)。

多重曝光怎么調(diào)，套刻精度怎么壓，光刻膠怎么配比，這些都是在DUV上一遍遍試出來的。

西方半導(dǎo)體協(xié)會(huì)后來發(fā)過一份匿名報(bào)告，說中國(guó)某些研究機(jī)構(gòu)采購(gòu)的DUV光刻機(jī)，年均運(yùn)行小時(shí)數(shù)遠(yuǎn)超正常生產(chǎn)負(fù)荷。生產(chǎn)是八小時(shí)三班倒，研發(fā)是二十四小時(shí)不關(guān)機(jī)。

咱中國(guó)的光刻機(jī)研發(fā)路線，取得的成果

米勒所說的“非生產(chǎn)性用途”，實(shí)際上指向中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正在推進(jìn)的三條并行技術(shù)路線。

其中一條路線是逆向工程與核心技術(shù)解析。

這項(xiàng)工作絕非外界傳聞的“簡(jiǎn)單仿制”，而是由上海微電子、中科院光電所及多家民營(yíng)設(shè)備公司分工協(xié)作。

ASML的設(shè)備之所以難以復(fù)制，恰恰在于它集成了德國(guó)光學(xué)、美國(guó)光源、瑞典精密機(jī)械等多國(guó)技術(shù)結(jié)晶。

咱中國(guó)企業(yè)采取的是分模塊突破、逐個(gè)啃硬骨頭的策略，二手設(shè)備的優(yōu)勢(shì)在于拆解成本低、可反復(fù)試驗(yàn)，一旦某個(gè)子系統(tǒng)被讀懂，就意味著國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的短板被補(bǔ)上一塊。

還有一條路線是工藝研發(fā)與技術(shù)驗(yàn)證。 光刻機(jī)只是工具，真正決定芯片制程水平的，是使用工具的方法。

同樣的DUV設(shè)備，臺(tái)積電能做出7納米，而其他廠商止步于28納米，差距就在于工藝積累的厚度。

中芯國(guó)際近幾年在進(jìn)口DUV上進(jìn)行了大量工藝實(shí)驗(yàn)，涉及浸潤(rùn)式光刻、多重曝光、自對(duì)準(zhǔn)四重圖形等技術(shù)方向。

2025年9月，中芯開始測(cè)試國(guó)產(chǎn)DUV光刻機(jī)，其工藝參數(shù)正是從這批進(jìn)口設(shè)備上反復(fù)調(diào)試而來。

先通過成熟平臺(tái)跑通工藝，再將工藝經(jīng)驗(yàn)反哺給國(guó)產(chǎn)設(shè)備，這是已經(jīng)被高鐵、光伏等產(chǎn)業(yè)驗(yàn)證過的技術(shù)追趕路徑。

最主要的一條路線，就是專利和知識(shí)版權(quán)。 2024年中國(guó)半導(dǎo)體專利申請(qǐng)量占全球約35%至40%，連續(xù)多年位居第一，2018至2023年專利總量增長(zhǎng)150%。

光刻領(lǐng)域尤其密集，從鏡頭設(shè)計(jì)、工件臺(tái)控制到光刻膠配方，幾乎覆蓋了設(shè)備制造的各個(gè)關(guān)節(jié)。

西方企業(yè)過去慣用專利壁壘阻擋后來者，而中國(guó)企業(yè)正在用等量的專利申請(qǐng)量將這些壁壘一一軟化。

一個(gè)更隱蔽但更具長(zhǎng)遠(yuǎn)威懾的局面正在形成：一旦西方未來放松管制，會(huì)發(fā)現(xiàn)幾乎所有可行的技術(shù)替代路徑周邊，都已布滿中國(guó)企業(yè)的專利。

屆時(shí)，不是咱中國(guó)需要向西方購(gòu)買授權(quán)，而是西方需要與中國(guó)進(jìn)行交叉許可。

這些年在實(shí)驗(yàn)室里憋著的那股勁，現(xiàn)在已經(jīng)能看見苗頭了。

上海微電子的后道封裝光刻機(jī)，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率接近九成，全球份額也摸到15%。這塊過去被ASML和尼康把持的市場(chǎng)，硬是被撕開一道口子。

2025年9月，中芯國(guó)際開始測(cè)試上海宇量昇制造的國(guó)產(chǎn)DUV光刻機(jī)，浸沒式技術(shù)，28納米工藝能跑通，通過多重曝光甚至可以試產(chǎn)7納米芯片。

EUV那邊，核心部件的光源、工件臺(tái)都拿到了階段性突破。雖然離量產(chǎn)還遠(yuǎn)，但代差已經(jīng)從“望塵莫及”縮到“能望見尾燈”。

更關(guān)鍵的是配套產(chǎn)業(yè)鏈：2025年國(guó)產(chǎn)KrF光刻膠自給率提到35%，ArF光刻膠超過20%，以前被日本卡著脖子的材料，現(xiàn)在有了自己的備份。

米勒在書里寫過一句話：半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的全球化是被美國(guó)親手拆掉的。

當(dāng)年ASML能成為EUV壟斷者，靠的是臺(tái)積電、三星、英特爾三家共同注資，靠的是德國(guó)蔡司、美國(guó)Cymer的技術(shù)整合。

現(xiàn)在美國(guó)逼著盟友對(duì)華脫鉤，結(jié)果是中國(guó)開始搭建一套完全獨(dú)立于西方的半導(dǎo)體供應(yīng)鏈。這套鏈現(xiàn)在還粗糙，但每封鎖一年，它就完善一分。

西方總愛問“中國(guó)什么時(shí)候能造出EUV”。其實(shí)問錯(cuò)了問題。真正的問法是：當(dāng)中國(guó)不再需要進(jìn)口ASML時(shí)，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)會(huì)變成什么樣子？

那一天當(dāng)然還沒來。EUV量產(chǎn)的難度不亞于造一艘太空飛船，高端光刻膠、精密光學(xué)鏡片、極紫外光源這些硬骨頭，還得啃很多年。

但方向已經(jīng)定了，設(shè)備進(jìn)實(shí)驗(yàn)室，技術(shù)進(jìn)專利庫(kù)，人才進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈。

米勒那句“中國(guó)人不可怕，可怕的是他們買光刻機(jī)不是為了生產(chǎn)”，說的就是這個(gè)方向。

讀者朋友們，你們覺得西方這套“邊封鎖邊做生意”的策略，還能撐幾年？如果中國(guó)真的在五年內(nèi)突破中高端DUV自主量產(chǎn)，全球芯片市場(chǎng)會(huì)迎來怎樣的洗牌？評(píng)論區(qū)聊聊。

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參考資料：
光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化不斷提速，國(guó)產(chǎn)設(shè)備龍頭中標(biāo)1.1億元光刻機(jī)項(xiàng)目
2025-12-26 16:40·紅星新聞