深圳市康創(chuàng)股權(quán)投資基金管理有限1月28日消息，一家來自廣東深圳的科技公司成功在科創(chuàng)板上市，為廣東再添一家上市公司。該公司名為深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)股份有限公司（下文簡(jiǎn)稱：恒運(yùn)昌），成立于2013年3月，這是一家國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件供應(yīng)商。

恒運(yùn)昌能夠成功上市，跟它的創(chuàng)始人樂衛(wèi)平關(guān)系密切。

樂衛(wèi)平出生于1973年，湖南常德人。1995年，樂衛(wèi)平成功進(jìn)入湖南省桃源縣郵電局電信設(shè)備廠擔(dān)任技術(shù)員，這份工作在當(dāng)時(shí)肯定是讓人羨慕的。不過那畢竟是在縣城，天花板相對(duì)來說較低。好在這份工作鍛煉了樂衛(wèi)平對(duì)于電子技術(shù)和設(shè)備維護(hù)的基礎(chǔ)。

2003年，樂衛(wèi)平像很多湖南人一樣到了廣東打工，進(jìn)入到了知名外企AE公司擔(dān)任測(cè)試技術(shù)員。樂衛(wèi)平憑借著自己的技術(shù)做到了工程師的位置。2006年，樂衛(wèi)平被公司調(diào)任上海公司，一步步做到了銷售高級(jí)經(jīng)理的位置。

樂衛(wèi)平在這家外企一做就是11年，這段時(shí)間讓他積累了豐富的研發(fā)、應(yīng)用和銷售經(jīng)驗(yàn)，也深知國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體客戶的痛點(diǎn)所在。當(dāng)時(shí)國(guó)內(nèi)的晶圓廠射頻電源主要從AE、MKS巨頭手中購(gòu)買，不僅交付周期長(zhǎng)，而且價(jià)格貴，售后服務(wù)差。

2013年，樂衛(wèi)平在此契機(jī)之下創(chuàng)立恒運(yùn)昌。公司成立前三年一直處于研發(fā)階段，沒有任何自家產(chǎn)品的收入，也遇到過工資發(fā)不出來的尷尬情況。為了活下去，公司也嘗試代理國(guó)外品牌銷售，用來度過危機(jī)。好在公司在2015年推出了CSL系列基礎(chǔ)款射頻電源，公司慢慢有了自營(yíng)產(chǎn)品收入。

2018年是公司的轉(zhuǎn)折點(diǎn)，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體廠商想要可以國(guó)產(chǎn)替代的零部件產(chǎn)品，公司團(tuán)隊(duì)成功攻克了大功率實(shí)時(shí)等離子體阻抗測(cè)量、快速匹配、多通道同步控制等技術(shù)，成功進(jìn)入主流廠商的供應(yīng)鏈，公司開始快速發(fā)展。最終有了今天的恒運(yùn)昌。

資料顯示，深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)股份有限公司位于廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道鐵崗社區(qū)桃花源智創(chuàng)小鎮(zhèn)功能配套區(qū)B棟101,201,301，成立日期2013年3月19日，上市日期2026年1月28日，公司主營(yíng)業(yè)務(wù)涉及主要從事等離子體射頻電源系統(tǒng)、等離子體激發(fā)裝置、等離子體直流電源、各種配件的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù),并引進(jìn)真空獲得和流體控制等相關(guān)的核心零部件,圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案。主營(yíng)業(yè)務(wù)收入構(gòu)成為：自研產(chǎn)品84.81%，引進(jìn)產(chǎn)品14.66%，技術(shù)服務(wù)0.53%。

截至1月28日，恒運(yùn)昌股東戶數(shù)1.64萬，較上期增加71291.30%；人均流通股775股，較上期增加0.00%。2025年1月-9月，恒運(yùn)昌實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入4.01億元，同比減少5.79%；歸母凈利潤(rùn)9157.67萬元，同比減少23.73%。

發(fā)行人股權(quán)結(jié)構(gòu)

截至本招股說明書簽署日，公司股權(quán)結(jié)構(gòu)圖如下：

主營(yíng)業(yè)務(wù)概況

公司是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件供應(yīng)商，主要從事等離子體射頻電源系統(tǒng)、等離子體激發(fā)裝置、等離子體直流電源、各種配件的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù)，并引進(jìn)真空獲得和流體控制等相關(guān)的核心零部件，圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案。

如果我們把芯片制造比喻成版畫藝術(shù)品的高科技復(fù)刻，那么產(chǎn)生及控制等離子體的等離子體射頻電源系統(tǒng)就是這場(chǎng)高科技復(fù)刻的“指揮家”。等離子體射頻電源系統(tǒng)通過精確控制電流頻率和功率，指揮著半導(dǎo)體制造過程中的等離子體變化，確保在晶圓表面精確、均勻地沉積出薄膜層、精細(xì)地刻蝕出復(fù)雜圖形和去除光刻膠等。等離子體由于具有獨(dú)特的光、熱、電物理特性以及高活性、高能量的特點(diǎn)，為半導(dǎo)體精密制造提供了不可替代的工藝基礎(chǔ)。如今等離子體工藝廣泛應(yīng)用于薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗去膠、鍵合等芯片制造的重要環(huán)節(jié)，并隨著先進(jìn)封裝技術(shù)的發(fā)展應(yīng)用于更多工藝環(huán)節(jié)中。隨著芯片結(jié)構(gòu)的不斷復(fù)雜化、半導(dǎo)體工藝制程的持續(xù)演進(jìn)，等離子體工藝的關(guān)鍵作用將愈發(fā)凸顯。

等離子體射頻電源系統(tǒng)是半導(dǎo)體設(shè)備零部件國(guó)產(chǎn)化最難關(guān)卡之一，技術(shù)壁壘高、研發(fā)投入大、研發(fā)周期長(zhǎng)、生產(chǎn)的“精確復(fù)制”要求極高，因而國(guó)產(chǎn)化率極低。根據(jù)弗若斯特沙利文統(tǒng)計(jì)，2024 年中國(guó)大陸半導(dǎo)體領(lǐng)域等離子體射頻電源

系統(tǒng)的國(guó)產(chǎn)化率不足 12%，屬于被“卡脖子”最嚴(yán)重的環(huán)節(jié)之一。公司聚焦于等離子體射頻電源系統(tǒng)的技術(shù)攻關(guān)，歷經(jīng)十年，先后推出 CSL、Bestda、Aspen 三代產(chǎn)品系列，成功打破了美系兩大巨頭 MKS 和 AE 長(zhǎng)達(dá)數(shù)十年在國(guó)內(nèi)的壟斷格

局。公司自主研發(fā)的第二代產(chǎn)品 Bestda 系列可支撐 28 納米制程，第三代產(chǎn)品Aspen 系列可支撐 7-14 納米先進(jìn)制程，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白。與此同時(shí)，國(guó)內(nèi)主要晶圓廠被美國(guó)商務(wù)部列入實(shí)體清單后，無法向原海外設(shè)備供應(yīng)

商采購(gòu)備件或申請(qǐng)維修服務(wù)，公司為此承接了進(jìn)口等離子體射頻電源系統(tǒng)的原位替換及維修的業(yè)務(wù)。

財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)報(bào)表（合并資產(chǎn)負(fù)債表）

恒運(yùn)昌公司的營(yíng)業(yè)收入主要來自于自研產(chǎn)品、引進(jìn)產(chǎn)品及技術(shù)服務(wù)的銷售。2022 年度、2023 年度、2024 年度和 2025 年 1-6 月，恒運(yùn)昌公司的營(yíng)業(yè)收入分別為人民幣 158,158,046.51 元、人民幣 325,268,486.91 元、人民幣 540,790,338.75元和人民幣 304,056,343.03 元。由于營(yíng)業(yè)收入是恒運(yùn)昌公司關(guān)鍵業(yè)績(jī)指標(biāo)之一，可能存在恒運(yùn)昌公司管理層（以下簡(jiǎn)稱管理層）通過不恰當(dāng)?shù)氖杖氪_認(rèn)以達(dá)到特定目標(biāo)或預(yù)期的固有風(fēng)險(xiǎn)，且收入確認(rèn)涉及重大管理層判斷，因此，天健會(huì)計(jì)師將收入確認(rèn)確定為關(guān)鍵審計(jì)事項(xiàng)。

本次募集資金投資項(xiàng)目運(yùn)用概況

根據(jù) 2024 年第二次臨時(shí)股東大會(huì)授權(quán)，并經(jīng) 2025 年第一屆董事會(huì)第十次會(huì)議審議通過調(diào)整方案，本次發(fā)行募集資金扣除發(fā)行費(fèi)用后，凈額擬全部用于以下與公司主營(yíng)業(yè)務(wù)相關(guān)的項(xiàng)目：

上述項(xiàng)目投資總額為 151,816.13 萬元，擬使用募集資金投入金額為146,900.00 萬元。若本次發(fā)行上市募集資金到位時(shí)間與項(xiàng)目進(jìn)度要求不一致，公司將根據(jù)項(xiàng)目實(shí)際進(jìn)度自籌資金先期投入，募集資金到位后置換已預(yù)先投入的自籌資金。募集資金到位后，若本次發(fā)行上市實(shí)際募集資金凈額低于擬投入募集資金金額，公司將根據(jù)實(shí)際募集資金凈額，按照項(xiàng)目的輕重緩急等情況，調(diào)整并最終決定募集資金的具體投資項(xiàng)目、優(yōu)先順序及各項(xiàng)目的具體投資額，募集資金不

足部分由公司以自有資金或通過銀行貸款等融資方式解決。若募集資金超過預(yù)計(jì)資金使用需求的，公司將根據(jù)證監(jiān)會(huì)及上交所的有關(guān)規(guī)定對(duì)募集資金進(jìn)行使用。

（二）募集資金重點(diǎn)投向科技創(chuàng)新領(lǐng)域的具體安排

公司是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體領(lǐng)域首家出貨過億元和首家實(shí)現(xiàn)等離子體射頻電源系統(tǒng)（支持半導(dǎo)體先進(jìn)制程）量產(chǎn)的國(guó)產(chǎn)廠商，并獲得國(guó)內(nèi)頭部晶圓廠的認(rèn)證。公司致力于為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備提供核心零部件產(chǎn)品。隨著半導(dǎo)體先進(jìn)制程的尺寸進(jìn)一步縮小、芯片結(jié)構(gòu)復(fù)雜性進(jìn)一步提升，下游設(shè)備商以及終端晶圓廠都對(duì)公司的產(chǎn)品性能提出了更高的要求。本次募集資金投資項(xiàng)目圍繞公司主營(yíng)業(yè)務(wù)進(jìn)行，按照公司業(yè)務(wù)發(fā)展規(guī)劃對(duì)現(xiàn)有產(chǎn)品提升和拓展，新建全新智能產(chǎn)線及購(gòu)置新設(shè)備，擴(kuò)大公司產(chǎn)能；通過研發(fā)中心項(xiàng)目建設(shè)進(jìn)一步提高產(chǎn)品科技含量，提升公司核心競(jìng)爭(zhēng)力；建設(shè)營(yíng)銷及技術(shù)支持中心項(xiàng)目，提升公司客戶服務(wù)響應(yīng)速度，加強(qiáng)技術(shù)服務(wù)能力，提升公司在半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件等國(guó)家科技創(chuàng)新領(lǐng)域的綜合能力。