光刻機(jī)其實(shí)是分前道、后道這兩種的。

前道指芯片制造，后道指芯片封測(cè)，前道相對(duì)而言難度更大，門檻也更高。

數(shù)據(jù)顯示，目前全球僅四家廠商，能夠制造前道光刻機(jī)，這四家分別是荷蘭的ASML、中國的上海微電子，日本的尼康、佳能。

而從技術(shù)上來看，ASML肯定是獨(dú)霸全球的，接著是尼康，再是佳能和上海微電子。

這四大廠商的工藝技術(shù)對(duì)比，大家可以看一下下圖，ASML是第一檔，達(dá)到了EUV的水平，也是唯一有EUV光刻機(jī)的廠商。

而尼康是第二檔，達(dá)到了浸潤式DUV也就是ArFi的水平。至于上海微電子、佳能差不多，屬于第三檔，還沒能進(jìn)入浸潤式DUV ArFi，還只在ArF、KrF等水平上。

當(dāng)然，這只是技術(shù)水平對(duì)比，如果從銷量來對(duì)比，我們會(huì)發(fā)現(xiàn)一個(gè)可能讓大家無法接受的事實(shí)，那就是全球的前道光刻機(jī)市場(chǎng)，幾乎就是ASML、尼康、佳能的天下。

下圖是某機(jī)構(gòu)整理的2024年全球前道光刻機(jī)市場(chǎng)的數(shù)據(jù)。分類型的銷量，分公司的銷量。

大家能夠看到，ASML在EUV方面達(dá)到100%，在ArFi方面也達(dá)到96.99%，在ArF方面也達(dá)到了80%，絕對(duì)的壟斷超高端、高端市場(chǎng)。

而尼康在ArFi上有3%的份額，在ArF上有20%的份額。至于佳能，則只能在更落后的KrF、i線等光刻機(jī)上，有一定的銷量，特別是i線，那佳能占比最高。

但是，大家注意到?jīng)]有，上海微電子在這表上，一臺(tái)都沒有展示出來，完全是另外三家的天下。

那這是怎么回事呢，有人說是國產(chǎn)光刻機(jī)的銷量為0，也有人說是根本就沒有統(tǒng)計(jì)。

事實(shí)上，肯定不是0，而是沒有統(tǒng)計(jì)，因?yàn)樯虾Ｎ㈦娮硬⒉皇巧鲜衅髽I(yè)，也不需要披露數(shù)據(jù)，且對(duì)中國而言，光刻機(jī)的研發(fā)、銷量、進(jìn)展，本來就是保密的，更不會(huì)公開出來。

所以機(jī)構(gòu)根本就獲取不到數(shù)據(jù)，只能忽略掉，不將其統(tǒng)計(jì)在內(nèi)了，所以大家就看不到數(shù)據(jù)，以為是0。

事實(shí)上，目前國產(chǎn)光刻機(jī)還是有很多突破的，之前就曝光了氟化氬光刻機(jī)，分辨率小于等于65nm，套刻小于等于8nm，這臺(tái)明顯是前道光刻機(jī)。

至于這些光刻機(jī)出貨多少，賣給了誰，誰在用，都是機(jī)密數(shù)據(jù)，不會(huì)公開，自然就統(tǒng)計(jì)不到了。

最近有外媒體甚至稱，中國產(chǎn)的光刻機(jī)，其實(shí)已經(jīng)進(jìn)入到了ArFi的水準(zhǔn)，也就是浸潤式，當(dāng)然真假未知，但大家可以放心事，銷量絕不可能是0，且未來突破到EUV，也不是不可能的。