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“從0到1 ”:中國(guó)集成電路的破曉時(shí)刻

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導(dǎo)讀:

1964年11月,一塊“比最小的西瓜子還小”的固體電路樣品,在半導(dǎo)體所制成,它集成了6只晶體管、7個(gè)電阻和6個(gè)電容,這就是我國(guó)的第一塊集成電路。和“兩彈一星”工程一樣,時(shí)隔40余年后,王守武、王守覺(jué)等人才被公眾所知。他們數(shù)十年來(lái)隱姓埋名,研制出我國(guó)硅平面晶體管和集成電路,使得國(guó)產(chǎn)電子計(jì)算機(jī)采用集成電路的時(shí)間,僅比國(guó)外晚了兩年,“落后就要挨打”的教訓(xùn)。讓一代又一代有志科學(xué)家,穿越戰(zhàn)火、隱姓埋名,他們用行動(dòng)證明了一件事:只有自力更生才能發(fā)展自己、強(qiáng)大祖國(guó)。

“科學(xué)技術(shù)落后,就要挨打”的道理

中國(guó)科學(xué)家們體會(huì)更深——

王守覺(jué)12歲那年,抗日戰(zhàn)爭(zhēng)全面爆發(fā)

他親眼目睹日本飛機(jī)盤旋在頭頂掃射

沒(méi)有飛機(jī)、高射炮極度短缺

我方只能干著急

“產(chǎn)業(yè)報(bào)國(guó)、自力更生”的抱負(fù)

從此在他心中萌發(fā)

1956年,新中國(guó)吹響“向科學(xué)進(jìn)軍”的號(hào)角

“使我國(guó)最急需的科學(xué)部門接近世界先進(jìn)水平”

發(fā)展半導(dǎo)體技術(shù)

成為“四大緊急措施”之一

而那時(shí),我國(guó)的相關(guān)基礎(chǔ)幾乎為零

承擔(dān)“四大緊急措施”具體任務(wù)的中國(guó)科學(xué)院

率先建設(shè)相應(yīng)研究機(jī)構(gòu)

半導(dǎo)體所的前身——半導(dǎo)體研究室

在應(yīng)用物理研究所(后改為物理研究所)成立

歸國(guó)6年的物理學(xué)博士、

王守覺(jué)的哥哥王守武擔(dān)任室主任

應(yīng)用物理所半導(dǎo)體研究室一角

與王守武的選擇一樣

黃昆、湯定元、洪朝生、謝希德、林蘭英……

一大批海外科學(xué)家陸續(xù)回國(guó)

他們帶來(lái)了我國(guó)半導(dǎo)體科技的“原始積累”

奏響了中國(guó)集成電路事業(yè)自力更生的序曲

同年,31歲的王守覺(jué)

已是一位動(dòng)手能力出色、視野開(kāi)闊的工程師

他也加入半導(dǎo)體研究室

擔(dān)任半導(dǎo)體高頻晶體管課題組組長(zhǎng)

王守覺(jué)在調(diào)試設(shè)備。

當(dāng)時(shí),國(guó)家急需研制晶體管化電子計(jì)算機(jī)

——“109乙機(jī)”

但已有的“鍺合金結(jié)晶體管”性能不足

王守覺(jué)臨危受命

不到半年時(shí)間

我國(guó)第一只鍺合金擴(kuò)散高頻晶體管

就在王守覺(jué)團(tuán)隊(duì)“出爐”

為批量生產(chǎn)這類晶體管

應(yīng)用物理所為此建起“109廠”

技術(shù)工人少、生產(chǎn)設(shè)備缺乏

王守覺(jué)手把手地教授工藝

還研制出用于批量生產(chǎn)設(shè)備

解了燃眉之急

后來(lái),“109乙機(jī)”通過(guò)國(guó)家鑒定

成為我國(guó)首臺(tái)

“全部采用國(guó)產(chǎn)元件的

大型晶體管通用數(shù)字計(jì)算機(jī)”

為我國(guó)國(guó)防事業(yè)提供了計(jì)算工具

1960年初,國(guó)際形勢(shì)風(fēng)云突變

“中蘇交惡”加上“西方禁運(yùn)”

我國(guó)科技、經(jīng)濟(jì)等陷入雙重封鎖和沖擊

科技人員僅能從公開(kāi)論文了解前沿進(jìn)展

這時(shí),消息傳來(lái)

美國(guó)制成“硅平面型晶體管”

“要立即集中力量投入對(duì)硅平面工藝的探索!”

王守覺(jué)果斷舍棄已取得進(jìn)展的“硅臺(tái)面工藝”

帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)轉(zhuǎn)攻硅平面工藝

向高性能、小型化的硅器件發(fā)起沖鋒

彼時(shí),“兩彈一星”工程所需的計(jì)算機(jī)

也正在尋找高性能半導(dǎo)體元器件

王守覺(jué)“揭榜掛帥”

與相關(guān)部門立下“軍令狀”

勢(shì)要啃下這塊“硬骨頭”

研制硅平面型晶體管

成了半導(dǎo)體所“一號(hào)任務(wù)”

研究力量得到補(bǔ)強(qiáng)后

王守覺(jué)等人制定“橫縱結(jié)合”方案

橫向小組主攻工藝問(wèn)題

縱向小組主攻器件設(shè)計(jì)

縱橫交叉、密切配合、團(tuán)結(jié)奮戰(zhàn)

組織形式頗見(jiàn)成效

王守武也經(jīng)常深入研究一線

遇到技術(shù)難關(guān)時(shí)

大家常會(huì)看到“大王小王齊上陣”的場(chǎng)面

這一幕也成為半導(dǎo)體所的“經(jīng)典記憶”

王守武(左)和王守覺(jué)(右),攝于1991年

清華大學(xué)第一批半導(dǎo)體專業(yè)的高材生吳德馨

畢業(yè)后跟隨王守覺(jué)從事高速開(kāi)關(guān)晶體管研制

她回憶當(dāng)年:

“我們一無(wú)資料,二無(wú)圖紙

實(shí)驗(yàn)設(shè)備也是一窮二白

國(guó)家物質(zhì)供應(yīng)極度匱乏

但人們的精神卻非常充實(shí)”

參加光刻膠研究的姜文莆回憶說(shuō):

國(guó)外早有光刻膠技術(shù),但根本不公開(kāi)

團(tuán)隊(duì)?wèi){借國(guó)外文獻(xiàn)的蛛絲馬跡

硬是給試了出來(lái)

有了光刻膠,還要研制光刻機(jī)

王守覺(jué)等人因陋就簡(jiǎn)

巧妙地用兩臺(tái)顯微鏡和一個(gè)紫外曝光燈

搭建了一臺(tái)“土光刻機(jī)”

1963年底

首批“超小型硅平面高速開(kāi)關(guān)管”

和“高頻晶體管”樣管研制成功

體積只有火柴頭大小

加以改進(jìn)后“小如芝麻”

俗稱“芝麻管”

自此,中國(guó)有了自己的硅平面工藝晶體管

半導(dǎo)體室早期研制的硅平面晶體管(芝麻管,左一),右一為普通電子管

硅平面晶體管的成功

振奮了國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)界

硅產(chǎn)業(yè)如雨后春筍般涌現(xiàn)出來(lái)

材料和設(shè)備制造業(yè)隨之興起

還記得那份“軍令狀”嗎?

1964年4月

半導(dǎo)體所5款硅平面器件順利通過(guò)驗(yàn)收

三年后

109廠完成了“109丙機(jī)”

所有硅晶體管的生產(chǎn)任務(wù)

后者正是“兩彈一星”任務(wù)“功勛計(jì)算機(jī)”

1967年“109丙機(jī)”研制成功。

時(shí)任中國(guó)科學(xué)院黨組書(shū)記張勁夫

寫(xiě)下《請(qǐng)歷史記住他們》的文章:

“第二代計(jì)算機(jī)出來(lái)了,晶體管的,

科學(xué)院半導(dǎo)體所搞的,

每秒數(shù)十萬(wàn)次,為氫彈的研制作了貢獻(xiàn)”

《科學(xué)時(shí)報(bào)》頭版刊登《請(qǐng)歷史記住他們》,王守覺(jué)照片在列

硅平面晶體管技術(shù)突破后

集成電路只差“臨門一腳”

美國(guó)人捷足先登

國(guó)內(nèi)也很快掀起研究熱潮

1964年11月

一塊“比最小的西瓜子還小”的固體電路樣品

在半導(dǎo)體所制成

它集成了6只晶體管、7個(gè)電阻和6個(gè)電容

這就是我國(guó)的第一塊集成電路

和“兩彈一星”工程一樣

時(shí)隔40余年后

王守武、王守覺(jué)等人才被公眾所知

他們數(shù)十年來(lái)隱姓埋名

研制出我國(guó)硅平面晶體管和集成電路

使得國(guó)產(chǎn)電子計(jì)算機(jī)采用集成電路的時(shí)間

僅比國(guó)外晚了兩年

“落后就要挨打”的教訓(xùn)

讓一代又一代有志科學(xué)家

穿越戰(zhàn)火、隱姓埋名

他們用行動(dòng)證明了一件事:

只有自力更生才能發(fā)展自己、強(qiáng)大祖國(guó)

文章來(lái)源:中科院之聲綜合中國(guó)科學(xué)報(bào)

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