半導(dǎo)體行業(yè)的“生死紅線”

半導(dǎo)體行業(yè)是支撐經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展、保障國(guó)家安全的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，隨著5G通信應(yīng)用的落地、數(shù)字智能化生活的普及、智能網(wǎng)聯(lián)汽車領(lǐng)域的強(qiáng)勁發(fā)展以及工業(yè)領(lǐng)域自動(dòng)化的不斷提高，半導(dǎo)體行業(yè)迎來(lái)持續(xù)增長(zhǎng)，預(yù)計(jì)2025年市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到6,588億美元。

然而，在火熱的市場(chǎng)背后，還有一類“隱形威脅”時(shí)刻潛伏。

半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中使用的特種氣體多達(dá)114種，其中常用的30多種，還可能產(chǎn)生酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣、一般尾氣等氣體。這些氣體存在窒息性、腐蝕性、毒性、易燃易爆性等危險(xiǎn)特性，一旦發(fā)生氣體泄漏，哪怕只是微小的泄漏，也可能引起爆炸、人員窒息或中毒事故。

半導(dǎo)體行業(yè)氣體檢測(cè)解決方案

從20世紀(jì)80年代起，電化學(xué)傳感器就開始應(yīng)用于監(jiān)測(cè)各種各樣的毒性氣體，并顯示出了良好的敏感性和選擇性，被廣泛應(yīng)用在有毒有害氣體監(jiān)測(cè)的各種領(lǐng)域。

早在2005年，煒盛科技自主研發(fā)生產(chǎn)的電化學(xué)系列傳感器就打破國(guó)際壟斷，成功面世�；趯I(yè)技術(shù)優(yōu)勢(shì)，煒盛科技最新推出適用于半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用高精度、低濃度檢測(cè)用FME系列產(chǎn)品，可檢測(cè)磷化氫PH3、氯化氫HCL、氟化氫HF、氯氣CL2、臭氧O3、砷化氫AsH3、一氧化氮NO、氨氣NH3、二氧化氮NO2、二氧化硫SO2、硅烷SiH4、硫化氫H2S等多種氣體。

半導(dǎo)體行業(yè)哪些環(huán)節(jié)涉及氣體檢測(cè)？

半導(dǎo)體行業(yè)的有害廢氣主要來(lái)源于集成電路制造的薄膜沉積、光刻、摻雜及清洗工藝流程，幾乎各個(gè)環(huán)節(jié)中氣體檢測(cè)都必不可少。

薄膜沉積工藝是芯片制造的重要過(guò)程，在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，常用的沉積工藝有熱氧化工藝、化學(xué)氣相沉積工藝、物理氣相沉積工藝。

圖源網(wǎng)絡(luò)

光刻工藝是將圖形復(fù)制呈現(xiàn)于基底上，整個(gè)工藝包含了涂膠、烘培、曝光、顯影、刻蝕、去膠。

圖源網(wǎng)絡(luò)

摻雜工藝是將一定量的雜質(zhì)摻入硅晶體，來(lái)改變其電學(xué)特性。摻雜工藝一般包含熱擴(kuò)散和離子注入。

圖源網(wǎng)絡(luò)

清洗工藝是上述每道工藝進(jìn)行前后的必備工藝，所用的清洗液是根據(jù)去除對(duì)象不同而變化，一般會(huì)產(chǎn)生氟化氫HF、氯化氫HCL、氯氣CL2、二氧化硫SO2等廢氣。

圖源網(wǎng)絡(luò)

在半導(dǎo)體行業(yè)中，氣體檢測(cè)既是守護(hù)生產(chǎn)安全的最后防線，也是突破工藝極限的隱形推手。隨著行業(yè)的不斷發(fā)展，氣體檢測(cè)技術(shù)將成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)可持續(xù)發(fā)展的重要基石。