以極致凈水工藝，護(hù)航半導(dǎo)體精密制造。

超純水是半導(dǎo)體生產(chǎn)的 “核心血液”，水質(zhì)精度直接決定制程穩(wěn)定性與產(chǎn)品良率。

面對行業(yè)嚴(yán)苛用水標(biāo)準(zhǔn)，恒大興業(yè)憑借成熟技術(shù)積淀與落地經(jīng)驗(yàn)，匠心打造100m3/d 半導(dǎo)體超純水一體化解決方案，用穩(wěn)定可靠的全流程工藝，為高端制造筑牢高純用水根基。

方案采用：預(yù)處理 + 雙級 RO + 脫氣膜 + EDI 精制 + 終端精處理全鏈路凈化工藝，精準(zhǔn)匹配半導(dǎo)體生產(chǎn)用水要求，確保出水電阻率≥18MΩ?cm（25℃），各項(xiàng)水質(zhì)指標(biāo)持續(xù)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)。

預(yù)處理單元以多介質(zhì)過濾、活性炭過濾為核心，高效去除原水中懸浮物、膠體、余氯及有機(jī)物，從源頭保護(hù)后端膜元件與核心設(shè)備，為系統(tǒng)長期穩(wěn)定運(yùn)行筑牢基礎(chǔ)。

雙級反滲透作為核心除鹽單元，搭配精密保安過濾，深度去除水中離子、硅化物、微生物與有機(jī)污染物，實(shí)現(xiàn)高效初級脫鹽，為后續(xù)深度精制提供優(yōu)質(zhì)進(jìn)水。

真空脫氣膜與EDI電去離子協(xié)同作業(yè)，脫除水中溶解CO?、O?以穩(wěn)定水質(zhì)工況，同時(shí)實(shí)現(xiàn)連續(xù)深度脫鹽；工藝無化學(xué)再生、綠色節(jié)能，完美適配半導(dǎo)體連續(xù)化生產(chǎn)需求。

終端精處理環(huán)節(jié)通過 UV-TOC降解、SMB精拋光混床與 0.2μm 精密過濾三重把關(guān)，配合板式換熱器溫控、氮封水箱穩(wěn)壓輸送，精準(zhǔn)把控水質(zhì)與供水參數(shù)，穩(wěn)定滿足車間終端用水標(biāo)準(zhǔn)。

系統(tǒng)配套加藥阻垢、RO在線清洗、PLC全自動控制及全流程在線監(jiān)測模塊，運(yùn)行高效、運(yùn)維簡便，可實(shí)現(xiàn)智能化穩(wěn)定值守。

從方案設(shè)計(jì)、設(shè)備集成到工程實(shí)施、后期運(yùn)維，恒大興業(yè)環(huán)保提供一站式專業(yè)服務(wù)，以技術(shù)實(shí)力與工程經(jīng)驗(yàn)保障項(xiàng)目落地成效。