中國繼續(xù)自研光刻機(jī)，就會“破壞全球產(chǎn)業(yè)鏈”？

別懷疑了，你沒有聽錯，這是ASML公司總裁對中國的炮轟，就算是不懂芯片、不了解光刻機(jī)的人，看到這句話也一定覺得可笑吧？自研光刻機(jī)竟成“原罪”？

合著ASML自己不賣給我們先進(jìn)設(shè)備，還不準(zhǔn)我們自己研發(fā)？我們自己動手搞技術(shù)，反倒成了“破壞秩序”的人？這邏輯，未免也太雙標(biāo)了吧。

更有意思的是，就在ASML放狠話的前后，咱們中國在光刻機(jī)核心技術(shù)上，接連傳來了好消息，這大概就是ASML急著“發(fā)聲”的真正原因，究竟是誰急了？一目了然了吧。

光刻機(jī)到底有多重要？它就相當(dāng)于芯片制造的“大腦”，芯片的性能、大小、成本，全靠它來決定。尤其是高端芯片，沒有先進(jìn)的光刻機(jī)，根本造不出來。

目前全球范圍內(nèi)，能制造EUV光刻機(jī)的，真沒夸張，只有一家，就是ASML公司，這是真壟斷。它每年也就造四五十臺EUV光刻機(jī)，一臺就賣1.5億美元，還得排隊(duì)搶，但臺積電、三星、英特爾三巨頭就已經(jīng)瓜分了所有產(chǎn)能，其他國家或企業(yè)想要分一杯羹，很難、非常難。關(guān)鍵是，你想要，美國還不讓給。

所以說，ASML公司在中國市場，主要還是以DUV光刻機(jī)為主，甚至一些過時的型號，都可以供應(yīng)給中國企業(yè)。2021到2023那幾年，咱們市場給ASML貢獻(xiàn)了近三成的收入。但在美的施壓下，ASML公司在已經(jīng)收了錢的情況下，并未按期交付EUV光刻機(jī)，甚至對華進(jìn)行了出口封鎖。

ASML一開始也很糾結(jié)，畢竟中國市場這么大，丟了這塊肥肉，誰不心疼？但沒辦法，它的供應(yīng)鏈太依賴美國了。雖然它是唯一能制造EUV光刻機(jī)的企業(yè)，但背后卻需要全球產(chǎn)業(yè)鏈的支持。像它的光源技術(shù)來自美國公司，光學(xué)鏡頭靠德國蔡司，一旦不聽命于美，ASML自己都得停工。

2023年，荷蘭先禁止向中國出口最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)。2024年更過分，連部分中端的DUV光刻機(jī)也不讓賣了，態(tài)度硬得很?？伤麄儧]想到，這一刀砍下去，先疼的是自己。失去中國訂單后，ASML一路震蕩，2024年財(cái)報(bào)顯示，對華營收比巔峰時期少了一大截。

而真正讓ASML坐不住的，是咱們中國在光刻機(jī)技術(shù)上的突破，尤其是EUV光源這個核心難題。

ASML用的是LPP方案，簡單說就是用高能激光轟擊液態(tài)錫，產(chǎn)生極紫外光。這套技術(shù)雖然成熟，但缺點(diǎn)很明顯，能量轉(zhuǎn)換率低，只有5%左右，還特別費(fèi)電，而且液態(tài)錫容易產(chǎn)生碎屑，設(shè)備維護(hù)起來又麻煩又貴。

咱們中國的科研團(tuán)隊(duì)沒走它的老路，而是搞出了自己的LDP方案，簡單講就是用激光點(diǎn)火，靠電場提供主要能量，用氣態(tài)或固態(tài)靶材代替液態(tài)錫。這樣一來，能量轉(zhuǎn)換率翻了兩三倍，能耗降了三成，還不容易產(chǎn)生碎屑，維護(hù)成本也低了很多。

現(xiàn)在中科院已經(jīng)進(jìn)入工程驗(yàn)證階段，雖然離ASML的量產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)還有差距，但推進(jìn)速度已經(jīng)讓外界刮目相看。更關(guān)鍵的是，要是咱們的技術(shù)跑通了，光刻機(jī)的成本能比ASML低三四成，到時候ASML的壟斷地位，就徹底保不住了。除了光源，咱們在光刻機(jī)整機(jī)和零部件上也在穩(wěn)步推進(jìn)。

ASML總裁那句“破壞全球產(chǎn)業(yè)鏈”。說白了，他口中的“全球產(chǎn)業(yè)鏈”，就是以ASML為核心、西方說了算的利益格局。他們負(fù)責(zé)造設(shè)備、賺高額利潤，咱們只能掏錢買單，不能有自己的技術(shù)。一旦咱們搞出了自己的光刻機(jī)，這套格局就被打破了，他們的高額利潤也就沒了。

ASML的焦慮，本質(zhì)上是怕自己的壟斷地位被撼動。但時代在進(jìn)步，沒有任何一家企業(yè)能永遠(yuǎn)壟斷技術(shù)，也沒有任何一個國家能靠封鎖擋住另一個國家的發(fā)展。咱們靠自己的努力突破技術(shù)壁壘，憑本事說話，何錯之有？